August 10, 2018
شانگهای سلطنتی فوکس در ارائه راه حل خلاء PVD، PECVD و PAPVD در زیر subtitles های مختلف برای دریافت خواص مورد انتظار فیلم: مانند
1. PVD فرایند کروم سخت سخت، پوشش PVD کروم برای جایگزینی محلول آبکاری الکتریکی Cr6 +
2. مسطح DPC مستقیم روی ورقه های سرامیکی (Al2O3، AlN)،
3. فیلم های فیلم هیدروژن سوخت خودرو با استفاده از روش PECVD،
4. CsI خلاء بالا فلزی شدن با فرایند تبخیر حرارتی برای تصویربرداری با اشعه ایکس؛
5. پوشش های تزئینی مانند ZrN طلا، TiN طلا TiAlN، TiAlC، ZrCN، CrC، CrCN در فولاد ضد زنگ، شیشه، سرامیک، برنج، آلیاژ روی، آلیاژ آلومینیوم، مواد ABS محصولات.
6. رسوب C60 Fullerene در محصولات.
ما در حال تلاش برای همکاری با سازمان های تحقیق و توسعه بیشتر برای توسعه برنامه های کاربردی بیشتر.
معرفی
خلاء محیطی است که فشار گاز آن کمتر از محیط است. پلاسما یک محیط گازی است که در آن یونها و الکترونها به اندازه کافی برای هدایت الکتریکی قابل توجهی وجود دارد. پوشش خلاء رسوب یک فیلم یا یک پوشش در یک محیط خلاء (یا پلاسمای کم فشار) است. به طور کلی این اصطلاح به فرآیندهای است که رسوبات اتم (یا مولکول ها) را در یک زمان مانند رسوب بخار فیزیکی (PVD) یا فرآیند تخلیه بخار شیمیایی کم (LP-CVD) یا CVD (PECVD) افزایش می دهد. در فرایندهای PVD، ماده ای که سپرده می شود از تبخیر یک سطح جامد یا مایع می آید. در فرایندهای CVD، ماده ای که سپرده می شود، از یک ماده پیش ماده شیمیایی بخار گرفته می شود که با کاهش یا تجزیه حرارتی، بیشتر در یک سطح گرم تجزیه می شود.
در بعضی موارد مواد ذخیره شده با محیط زیست گازی یا گونه های کدگذاری شده واکنش می دهند تا یک فیلم از مواد ترکیبی مانند اکسید، نیترید، کاربید یا کربناتید را تشکیل دهند. در پردازش CVD، استفاده از پلاسما برای تجزیه پیش ماده شیمیایی بخار در فاز بخار اجازه می دهد فرایندهای تجزیه یا کاهش در دمای پایین تر از فعال شدن حرارتی به تنهایی. PECVD را می توان در فشار هایی که در پردازش PVD (کم فشار PECVD، LP-PECVD) استفاده می شود، انجام می دهد، جایی که بخار پیش تر به طور عمده در پلاسما تجزیه می شود. در برخی موارد، فرایند رسوب ترکیبی PVD و LP-PECVD برای سپردن آلیاژ، کامپوزیت یا ترکیبات استفاده می شود. یک مثال کربنتراید فلزات است که کربن از یک پیش ماده شیمیایی بخار مانند استیلن می آید؛ نیتروژن از یک گاز می آید؛ و فلز از تبخیر، اسپری شدن، یا تبخیر قوس یک سطح جامد یا مایع.
فیلم های هدایت الکتریکی
فیلم های فلزی شایع ترین فیلم های هادی برق هستند. فیلم های فلزی ممکن است به عنوان متالیزاسیون "پتو" مورد استفاده قرار گیرند یا می توانند به خطوط هادی گسسته ("نوارها") با ماسک کردن بستر در طول رسوب یا با فرایندهای اچینگ فتولیتوگرافی تشکیل شوند. خطوط هدایت در تکنولوژی میکروسیستم های ترکیبی و در تولید دستگاه های نیمه هادی استفاده می شود. اغلب، هادی های الکتریکی فیلم های چند لایه هستند (پشته ها) که هر لایه دارای یک عملکرد است. به عنوان مثال، فیلم پلاستیکی هادی ممکن است ترکیب داشته باشد: شیشه-Ti-Pd-Cu-Au. تیتانیم (Ti) لایه "چسب" است، پالادیوم (Pd) باعث مقاومت در برابر خوردگی می شود، مس (Cu) یک هادی الکتریکی است و طلا (Au) محافظت از خوردگی را فراهم می کند. هادی های فلز رسوب شده در "vias" در ایجاد ارتباط الکتریکی بین لایه های مختلف در تولید دستگاه نیمه هادی استفاده می شود. فلزی کردن قالب برای تداخل الکترومغناطیسی (EMI) و تداخل فرکانس رادیویی (RFI) بر روی ساختارها مانند موارد پلاستیکی تلفنهای همراه، الکترودهای الکترودهای خازنی سفت و سخت و سطوح برای «رادیاتور» استفاده می شود.
فلز نیترید، کاربید و سیلیسید به طور کلی از نظر الکتریکی هدایت می شوند (استثناء مهم مهم در مورد Si 3 N 4 و AlN). در برخی از برنامه های کاربردی، فیلم هایی از این مواد نسوز به منظور ارائه موانع انتشار بین مواد استفاده می شود. به عنوان مثال، در فلزی سازی نیمه هادی، مواد الکترود آلومینیوم یا طلا در طول پردازش حرارت بالا به سیلیسون نفوذ می کنند. یک پلیمر نیترید تیتانیوم هدایت الکتریکی که روی سطح سیلیکون قرار گرفته است قبل از اینکه الکتریسیته فلزی سپرده شود، انتشار را جلوگیری خواهد کرد. تولید نانوساختارهای پایدار، الکتریکی، غیر قابل اشتعال، فلز، فلزات و سیلیسید های فلزی یکی از جنبه های مهم تولید دستگاه نیمه هادی است. نیتریت های فلزی مانند نیترید تانتال (TaN) به عنوان مواد مقاوم در برابر فیلم مقاومت استفاده می شود. اکسید های رسانایی الکتریکی غیر اشباع مانند کروم تریاکسید (Cr 2 O 3 )، اکسید سرب (PbO) و اکسیژن روتنیم (RuO) به عنوان الکترودها در اتمسفر اکسید کننده با دمای بالا استفاده می شوند.
ابررساناها مواد هستند که مقاومت الکتریکی نزدیک به صفر کمتر از دمای بحرانی (T c ) دارند. کم T C (کمتر از [<10] کلوین [K]) ابررساناها اغلب فلزات هستند. یک ماده ابررسانایی بالای T> C (بیش از 50 کیلوگرم) مخلوطی از اکسید (اتیل یتریم بیسموت مس (Y-Bi-Cu)، YBCO) است. فیلمهای نازک ابررسانا High-T c اغلب با خلاء لیزر در خلاء قرار می گیرند.
الکتریکی شفاف
فیلم های اکسید کننده رسانای شفاف (TCO) مانند تری اکسید ایندیوم (In 2 O 3 )، دی اکسید قلع (SnO 2 )، اکسید روی (ZnO) و آلیاژ اکسید و اکسید قلع (ITO) دارای کاربردهای فراوانی مانند بخاری روی پنجره ها برای یخ زدگی، پوشش های ضد انفجاری روی صفحه نمایش صفحه نمایش، الکترودهای روی صفحه نمایش تخت و دستگاه های الکتروکرومیک و الکترودهای روی صفحه نمایش لمسی (صفحه نمایش مقاومتی) و صفحه نمایش لمسی (صفحه نمایش خازنی). مقاومت الکتریکی برای فیلم TCO می تواند از بیش از 1000 اهم در هر مربع به کمتر از 10 اهم در هر مربع با انتقال نوری خوب متفاوت باشد.
عایق برق
فیلم های عایق الکتریکی برای جدا کردن اجزای هدایت الکتریکی در دستگاه های نیمه هادی و به عنوان دی الکتریک در خازن ها استفاده می شود. مواد پلیمری عادی عبارتند از سیلیکون دی اکسید (SiO 2 )، تری اکسید آلومینیوم (Al 2 O 3 )، پنتوکسی تانتالم (Ta 2 O 5 )، نیترید سیلیکون (Si 3 N 4 ) و نیترید آلومینیوم (AlN). قرار دادن یک فیلم اکسید نازک بین یک فیلم فلزی و یک نیمه هادی باعث می شود که دستگاه نیمه هادی فلزی-فلزات سنگین (MOS) تشکیل شود. پوشش های ضخیم SiO 2 ، با ضریب ضریب انبساط حرارتی آن، می تواند به صورت رسوب ردیف RF باشد. لایه های عایق SiO 2 ، نیترید سیلیکون (Si 2 N 3 ) و شیشه ها توسط PECVD برای پوشش و لایه های عایق در پردازش نیمه هادی ذخیره می شوند.
فیلمهای نوری
فیلم های نوری، معمولا فیلم های چند لایه ("ستون ها")، فیلم هایی هستند که بر روی انتقال نوری یا انعکاس یک سطح تاثیر می گذارند. آنها معمولا لایه های متناوب مواد با بالا (ژرمانیوم [Ge]، Si، TiO 2 ، دی اکسید زیرکونیوم [ZrO 2 ]، SiO، دی اکسید سریم [CeO 2 ]) و پایین (شاخص های فلوراید منیزیم [MgF 2 ]، SiO 2 ) انکسار یک برنامه کاربردی بزرگ، پوشش های ضد انعکاس (AR) روی لنزها است. پشته های فیلم نوری می تواند به عنوان فیلتر نوری استفاده شود. تراکم خنثی یا فیلترهای خاکستری شدت نور را به طور مساوی برای هر طول موج کاهش می دهد؛ فیلترهای باند پهن بر روی انتقال تابش در طول طیف وسیعی از طول موج ها تاثیر می گذارند، در حالی که فیلترهای باریک یا تک رنگ تاثیر گذار را بر روی یک منطقه با طول موج بسیار محدود می گذارند. یک نمونه از یک فیلتر پهن باند یک فیلتر لبه است که "ماکروویو" (UV) منتشر شده توسط یک لامپ بخار جیوه را خاموش می کند. نمونه هایی از فیلترهای باند باریک فیلترهای رنگی مورد استفاده در عکاسی و پروژکتور ها هستند.
بعضی از فیلم های پشته نوع خاصی از فیلم نوری است که رنگی دارد که مربوط به زاویه دید (OVID ها) است. این فیلم ها تصویربرداری مانند تصویربرداری هولوگرافی را امکان پذیر می سازد. این فیلمهای OVID به عنوان ابزارهای امنیتی برای جلوگیری از تقلبی استفاده می شوند. این فیلم ها یک رشد از فیلم های دخالت رنگی است که برای فیلم های تزئینی مورد استفاده قرار می گیرد و زمانی که به عنوان رنگدانه های پودر شده است.
پوشش های کنترل حرارتی
ترکیب پوشش های حرارتی روی پنجره ها با نتیجه ی مورد نظر مورد نظر متفاوت است. اگر هدف این است که تابش خورشید را از طریق پنجره وارد کنید، یک فیلم چند لایه از شیشه TiO 2 -Cr-TiO 2 می تواند استفاده شود (پوشش کنترل خورشیدی). اگر جسم نگه داشتن گرما در اتاق باشد، یک فیلم نازک نقره ای می تواند برای انعکاس 85 تا 95 درصد از اشعه مادون قرمز کم دمای اتاق (پوشش کم E) مورد استفاده قرار گیرد. یکی از این دو "E-Coating" شیشه ZnO-Ag- (Ti) -ZnO-Ag- (Ti) -ZnO-TiO 2 است . ZnO پوشش ضد انعطاف پذیری را فراهم می کند.
دیگر انواع پوشش های کنترل حرارتی برای جذب تابش خورشیدی (جذب کننده های خورشیدی) استفاده می شوند، جذب تابش خورشیدی را انتخاب می کنند و از اشعه مادون قرمز (جذب کننده های انتخابی خورشیدی) استفاده نمی کنند و یا به میزان اشباع بالا برای افزایش خنک کننده تابش می دهند. پوشش های مانع از حرارتی برای کاهش انتقال حرارتی از یک محیط گرم به بستر استفاده می شود. اکسید زیرکونیوم (ZrO 2 ) تثبیت شده با اکسید کلسیم (CaO)، MgO یا Y 2 O 3 به عنوان پوشش مانع حرارتی در تیغه توربین موتور هواپیما استفاده می شود.
پوشش های بازتابنده
فیلم های فلزی به طور گسترده ای برای سطوح بازتابنده استفاده می شود. نقره اغلب مورد استفاده قرار می گیرد زمانی که خوردگی مشکل نیست، مانند آینه های عقب سطح. آلومینیوم را می توان به عنوان بازتابنده سطح جلویی یا عقبی استفاده کرد. اغلب بازتابنده های سطح جلوی آلومینیوم، مانند بازتابنده های چراغ، بیش از یک پوشش پلیمری محافظ (پوشش بالا) پوشش داده می شوند. کروم در بازتابنده های سطح جلویی استفاده می شود که خوردگی یک مشکل است حتی اگر بازتابندگی آن در 60٪ (کمتر از آلومینیوم) (> 90٪) قابل مشاهده باشد. فیلم های بازتابنده در برنامه های متعددی که معمولا در معرض دید قرار می گیرند، مانند دیسک های فشرده برای ذخیره سازی ویدیو و ذخیره موسیقی، بازتابنده های لامپ و آینه های بصری مانند آینه های عقب اتومبیل برای اتومبیل ها استفاده می شود. در بعضی موارد، فیلمهای چند لایه مانند شبیه به فیلمهای نوری چند لایه، به طور انتخابی منعکس کننده طول موج های خاص و نه دیگران هستند. مثالها "آینه های سرد" هستند که منعکس کننده اشعه قابل رویت هستند اما نه طول موج های مادون قرمز و "آینه های گرما" که منبعی مادون قرمز را نشان می دهند اما نه قابل مشاهده است. آینه های حرارتی برای بالا بردن دمای داخلی لامپ های هالوژن استفاده می شود. آینه های سرد برای کاهش گرمای نورپردازی صحنه بر روی بازیگران استفاده می شود.
بسته بندی
پوشش های سطحی در فیلم های پلیمری قابل انعطاف و کاغذ برای بسته بندی مواد غذایی برای کاهش میزان انتقال بخار آب (WVTR) و میزان انتقال اکسیژن (OTR) از طریق کاغذ یا پلیمر استفاده می شود. شایع ترین مواد پوشش دهنده مانع آلومینیوم است که روی رول های پلیمری (وب) پوشیده شده و سپس به "مبدل ها" منتقل می شود که بسته بندی را تولید می کنند. در برخی موارد پوششهای فلزی بر روی یک سطح قرار داده شده و سپس به فیلم بسته بندی منتقل می شوند. پوشش های مانع شفاف در بسیاری موارد مطلوب است. لایه های SiO 2-x ، با تبخیر واکنش و PECVD و پوشش کامپوزیت SiO 2 : 30٪ Al 2 O 3 به وسیله E-beam co-evaporation برای ایجاد لایه های مانع شفاف استفاده می شود. مواد پوشش کامپوزیتی نسبت به مواد مانده شده SiO 2 یا Al 2 O 3 به تنهایی متراکم تر و قابل انعطاف تر است. فیلم های آلومینیومی در بالن پر شده با هلیوم پلیمری برای کاهش هلیوم استفاده می شود.
پوشش های تزئینی و تزئینی / پوشیدنی
Metallization برای اهداف به شدت تزئینی یک بازار بزرگ است. برنامه های کاربردی از پوشش های پلیمری پوشش استفاده می شود که پس از آن به استفاده های تزئینی از قبیل بادکنک ها و برچسب ها تبدیل می شود تا فلزیزاسیون مقالات سه بعدی، مانند غرفه های ورزشی، قالب ریخته گری روی سرامیک و قالب های تزئینی پلیمر، و ظروف لوازم آرایشی. اغلب این پوشش ها شامل یک پوشش آلومینیومی بازتابنده است که روی یک پوشش پایه ی پایدار قرار می گیرد، سپس با یک پوشش رنگ شده با لاک رنگی پوشش داده می شود تا پوشش رنگ و بافت مورد نظر و همچنین مقاومت در برابر خوردگی و سایش باشد.
در برخی از کاربردها، علاوه بر جنبه های تزئینی پوشش، پوشش لازم برای مقاومت در برابر سایش است. به عنوان مثال، نیترید تیتانیوم (TiN) طلایی رنگ است و کربناتیدید تیتانیوم (TiC x N y ) می تواند از رنگ طلایی تا بنفش به سیاه بسته به ترکیب باشد. نیترید زیرکونیوم (ZrN) دارای رنگ برنج است و بسیار مقاوم در برابر سایش و خراش از برنج است. پوشش های تزئینی / پوششی در سخت افزار درب، لوازم بهداشتی، اقلام مد، سخت افزار دریایی و سایر برنامه های کاربردی استفاده می شود.
پوشش های مقاوم و مقاوم در برابر سایش
پوشش های سخت اغلب به عنوان پوشش های متالورژی نامیده می شوند و نوع پوشش تریبولوژیکی هستند. پوشش های سخت برای افزایش بهره وری برش و عمر ابزار برش استفاده می شود و برای تحمل تحمل ابعاد اجزای مورد استفاده در کاربردهایی که ممکن است از جمله سایش رخ می دهد، مانند قالب های تزریق استفاده شود. علاوه بر این، پوشش ها می توانند به عنوان مانع نفوذی عمل کنند که در آن دمای بالا توسط حرکت بین سطوح یا محافظت در برابر خوردگی در محیط های پرخاشگر ایجاد می شود. کلاس های مختلفی از مواد پوشش سخت وجود دارد. آنها عبارتند از: اکسید فلزی متصل به یونهای (Al 2 O 3 ، ZrO 2 و TiO 2 )، مواد کوانتومی (SiC، کربن بور [B4C]، الماس، الماس مانند کربن [DLC]، TiC، AlN، CrC، آلیاژهای ترکیبی کاربید مخلوط، نیترید و کربن رد، و نیترید بور بور) و برخی از فلزات (کبالت کروم آلومینیوم یتیم [CoCrAlY]، NiAl، NiCrBSi). در بعضی موارد پوشش ها ممکن است لایه ای برای ترکیب خواص داشته باشند.
پوشش های سخت نیز برای خنثی کردن خستگی استفاده می شود، مانند که در یاتاقان های توپ یافت می شود. پوشش های مقاوم در برابر سایش همچنین ممکن است به سطوح که در آن بار نور و یا دوره ای وجود دارد. برای مثال، پوشش های سخت روی پلاستیک ها برای بهبود مقاومت خراش پوشیده شده اند. برنامه های کاربردی بر روی لنزهای پلاستیکی قالب و سایبان هواپیمای پلاستیکی هستند. در بعضی موارد پوشش های پوششی مانند SiO 2 یا Al 2 O 3 ممکن است به سطوح سخت مانند شیشه ای اعمال شوند تا مقاومت خراشیده را افزایش دهند.
فیلم های الکتریکی فعال
فیلم های سیلیکونی دوتایی در دستگاه های نیمه هادی استفاده می شود و این فیلم ها اغلب توسط یک روش تبخیر PVD بسیار پیچیده ای به نام epitaixy beam molecular beam (MBE) یا یک تکنیک CVD epitaxy (VPE) بخار سپرده می شود. سیلیکون آمورف برای سلول های خورشیدی توسط PECVD در شبکه ها و زیربناهای سخت قرار داده می شود. فیلم های الکتروکرومیک که تغییر نوری را با استفاده از یک ولتاژ تغییر می دهند، وابسته به انتشار یک جنبۀ متحرک در فیلم در میدان الکتریکی است. فیلم هایی از مواد مانند سلنیوم می توانند در هنگام نور در معرض برق قرار بگیرند. این فیلم ها برای نگهداری تونر در دستگاه های فتوکپی استفاده می شود.
رسانه ذخیره سازی مغناطیسی
مواد مغناطیسی به عنوان "سخت" یا "نرم" طبقه بندی می شوند بسته به اینکه چقدر سخت است که مغناطیسی مغناطیسی را مغناطیسی مگنتیزه کرده یا آن را تغییر دهیم. مواد مغناطیسی نرم مانند Permalloys (آهن: Fe: 40 تا 80 درصد نیکل) و Y 2 Fe 5 O 12 (گارنت) در دستگاه های ذخیره سازی حافظه ای که اطلاعات اغلب تغییر می کنند استفاده می شود. مواد مغناطیسی سخت مانند Fe 3 O 4 ، Co: Ni: تنگستن [W]، Co: رنیوم [Re]، گادولینیم [Gd]: Co و Gd: terbium [Tb]: Fe در رسانه های ضبط کننده دائمی مانند به عنوان نوار صوتی تکنیک های مختلف برای تعریف دامنه های مغناطیسی استفاده می شود که به عنوان سایت های ذخیره سازی عمل می کنند.
پوشش های محافظ خوردگی
حفاظت از محیط شیمیایی تهاجمی می تواند به روش های مختلفی انجام شود. سطح را می توان با مواد بی اثر و یا با مواد تشکیل داد که پس از واکنش با محیط زیست و یا با موادی که برای محافظت از مواد زیرزمینی از بین می رود، محافظت می شود. تانتالم، پلاتین و کربن در بسیاری از محیط های شیمیایی بی اثر هستند. به عنوان مثال، پوشش های کربنی برای فلزات مورد استفاده در بدن انسان برای ارائه سازگاری استفاده می شود. در بخش صنعت هوافضا آلومینیوم با فرآیند PVD از رسوب بخار یونی (IVD) پوشش داده می شود تا از خوردگی گالوانیزه مواد متفاوتی در تماس جلوگیری شود.
کروم، آلومینیوم، سیلیکون و MCrAlY (که در آن M Ni، Co، Fe) آلیاژها با اکسیژن واکنش نشان می دهند تا یک لایه اکسید محافظتی منسجم روی سطح ایجاد کنند. اگر یونهای فلزی (Fe، Cu) سریعتر از اکسیژن از طریق اکسید منتشر شوند، اکسید ضخیم روی سطح ایجاد می شود. اگر اکسیژن از طریق اکسید به سرعت از طریق یونهای فلزی (Al، Si، Ti، Zr - فلزات "شیر") انتشار پیدا کند، اکسیداسیون در محل رخ می دهد و اکسید نازک تشکیل می شود. پوشش های آلی MCrAlY به عنوان پوشش های محافظتی در تیغه توربین موتور هواپیما استفاده می شود. آلیاژهای کادمیوم، آلومینیوم و آل: آلومینیم به عنوان پوشش های محافظتی گالوانیکی روی فولاد استفاده می شود. کادمیوم خلاء ("Vaccad") دارای مزیت بیش از کادمیم آبکاری شده است، زیرا در هنگام استفاده از فرایند رسوب خلاء امکان هراس هیدروژن فولاد با مقاومت بالا وجود ندارد.
روان کننده های فیلم جامد / پوشش های اصطکاک پایین
ناسا پیشگام استفاده از روان کننده های جامد نازک پوسته خلاء شده است. روان کننده ها دارای دو نوع هستند: روان کننده های فلزی با برش کم - مانند نقره و سرب - و مواد ترکیبی لمینار - برشی - مانند دی سولفید مولیبدن (MoS 2 ). روان کننده های فلزی کم برشی در کاربردهای بالاتری از گشتاور مانند آئینه چرخش در لوله های اشعه ایکس استفاده می شود. مواد ترکیبی کم برشی در کاربردهای مکانیکی در خلاء استفاده می شود و در صورتی که "خزش" روان کننده می تواند یک مشکل باشد. از آنجا که تنها یک فیلم بسیار نازک برای روانکاری مورد نیاز است، کاربرد فیلم روان کننده منجر به تغییر قابل توجه ابعاد نمی شود. پوشش های کم اصطکاک کربن حاوی فلز (Me-C) برای کاهش مصرف در کاربردهای مکانیکی استفاده می شود
سازه های جداگانه
ساختارهای جداگانه را می توان با قرار دادن یک پوشش بر روی یک سطح (mandrel)، سپس جدا کردن پوشش از سطح مرولب یا حل کردن حلقه انجام داد. این تکنیک برای ساخت سازه های بسیار نازک، سطوح پیچیده یا فویل یا ورق های مواد مفید است که با نورد شدن دشوار است. به عنوان مثال پنجره های بریلیوم برای انتقال اشعه ایکس، مخروط های نازک دیوار بور برای بلندگوهای فرکانس های فرکانس بالا و ورق های آلومینیومی فلزی Ti-V-Al استفاده می شود. یک برنامه نسبتا جدید تولید دستگاه های میکرو الکترومکانیکی (MEMS) است که ساختارهای بسیار کوچک با استفاده از فرایندهای رسوب و اچ کردن ساخته می شوند.
کتهای پایه برای گالینگازی
مواد تشکیل دهنده اکسید سريع به علت آبکاری بسیار دشوار است، می تواند یک پوشش پایه پایدار توسط فرایندهای PVD و سپس پوشش بوجود آمده توسط الکترواستاتیک ایجاد شود. برای مثال نمونه هایی از تیتانیوم، اورانیوم و زیرکونیم که در آن یک پوشش پایه یک ماده مانند نیکل یا مس با استفاده از یک فرایند PVD قبل از ساخت پوشش آبکاری استفاده می شود، پوشش داده می شود.
پلیمرهای فیلم
علاقه زیادی به ذخیره سازی فیلم های پلیمری آلی و غیر آلی در خلاء وجود دارد. این فیلم ها می توانند توسط تراکم یک مونومر به دنبال E-beam یا UV درمان شوند تا پلیمریزاسیون مونومر یا پلیمریزاسیون پلاسمای مونومر را انجام دهند. پیش ماده مونومر می تواند یک ماده پلیمری با کربن، سیلیکون یا بور داشته باشد که اغلب دارای هیدروژن، کلر یا فلوئور است. فلوئور حاوی فیلم ها برای تشکیل سطوح هیدروفوب استفاده می شود.
------------------------------------------- مقاله از دونالد م Mattox، مدیریت پلاس، Inc.
