دستگاه رسوب فیلم محافظ EMI ، سیستم تبخیر حرارتی چند منظوره و سیستم پوشش پاششی DC
خلاصه:
RTEP1616-SPDC دستگاه متالیزاسیون خلاac مخصوصاً برای محافظت در برابر رسوب فیلم نازک EMI ، که به طور گسترده در دستگاه های مخابراتی ، رایانه ها ، نوت بوک ها ، لوازم الکترونیکی مصرفی ، لوازم خانگی ، هوا فضا و اقلام نظامی استفاده می شود ، طراحی شده است.
مشتریان ما عبارتند از: تولیدات الکترونیکی Sumgsung ، Apple ، Lenovo ، Huawei.
اندازه محفظه با قطر 1600 میلی متر و ارتفاع 1600 میلی متر می تواند انواع محصولات را در خود جای دهد.
خصوصیات فیلم محافظ EMI
1) ضخامت فیلم: 1.5 ~ 3 میکرون به نیاز بستگی دارد.
2) مقاومت فیلم: (اهم) بهتر از 0.5Ω
3) چسبندگی: نوار 3M810> 5B
روند پوشش فیلم محافظ EMI
4) فولاد ضد زنگ DC Sputtering
5) رسوب مس توسط تبخیر حرارتی
6) فولاد ضد زنگ DC Sputtering ، پوشش کامل روی لایه فیلم Cu.
ویژگی های محافظ تداخل الکترو مغناطیسی
1) ساختار 2 درب و سرعت پمپاژ سریع برای بهره وری بالا
2) عملکرد پانل صفحه لمسی دوستانه با کنترل PLC
3) طراحی برنامه نرم افزار دوستانه بشریت برای تولید پایدار و کیفیت بالا.
4) بالا بودن میزان استفاده از پراکندگی ، هزینه تولید پایین را تضمین می کند.
5) یکنواختی خوب و چسبندگی عالی
6) مفهوم طراحی پیشرفته برای عملکرد بهتر برای افزایش بهره وری تولید و نرخ واجد شرایط.
7) دستگاه منبع یونی برای تمیز کردن پلاسما و درمان فعالیت سطح برای بهبود چسبندگی.
مزایای فلز سازی خلاac PVD:
پایان با استفاده از یک فرآیند سبز سازگار با محیط زیست ، بدون آلودگی رسوب می کند.
راندمان بالا و یکنواختی عالی.
تولید با حجم بالا ، هزینه کم ، راه حل ایده آل برای تولید انبوه.
عملکرد پوشش EMI
مواد پوشش: مواد Ni ، Cr ، Cu ، فولاد ضد زنگ.
ضخامت فیلم: 1.5 ~ 3 میکرون به نیاز بستگی دارد.
مقاومت فیلم: (اهم) بهتر از 0.5Ω
چسبندگی: نوار 3M810> 5B
نوع:
مشخصات فنی:
1. فشار خلا V نهایی: بهتر از 10 5.0 5 5.0-6 تور
2. فشار خلاuum عملیاتی: 1.0 × 10-4 تور
3. پمپاژ کردن زمان: از 1 اتمسفر به 1.0 × 10-4 Torr≤ 5 دقیقه (دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)
4. مواد فلز دهنده (تبخیر): فولاد ضد زنگ ، مس
5. مدل عملیاتی: کامل بصورت خودکار / نیمه خودکار / دستی
دستگاه پوشش خلاuum شامل سیستم کامل شده کلیدی ذکر شده در زیر است:
1. اتاق خلاuum
1.1 اندازه: قطر داخلی 1600 میلی متر
ارتفاع داخلی: 1600 میلی متر
قد مفید: 1265 میلی متر
ارتفاع کل: 1420 میلی متر
1.2 مواد: اتاق خلاac SUS304
درب و فلنج SUS304
محکم سازی ساختار: فولاد ملایم SS41 ، با رنگ آمیزی سطح
شاسی مجلسی SS41 فولاد ملایم با رنگ آمیزی سطح
1.3 سپر پاشش و تبخیر: SUS304
1.4 View Window: روی درهای اتاق
1.5 دریچه تخلیه محفظه خلا (شامل صدا خفه کن)
1.6 درب: SUS304 قطر مواد 1600 میلی متر ارتفاع داخلی: 1600 میلی متر
1.7 سیستم رانندگی رسوب: حداکثر رانندگی مرکزی.1400 میلی متر * 1265 میلی متر
1.8 موتور رانندگی: 1 / 2HP
1.9 قدرت تبخیر: 1 مجموعه / درب
قدرت پاشش DC: 1 مجموعه
اندازه کاتد پاششی: 125 * 1400 میلی متر
2. سیستم پمپاژ خلاac Rouhging
2.1 پمپ خلاac پره روتاری مهر و موم شده روغن - لیبولد
a: سرعت پمپاژ: 640 متر مربع در ساعت
2.2 پمپ ریشه - لیبولد
a: سرعت پمپاژ: 4400 مترمربع در ساعت
2.3 شیر خلاac خشن: مدل پنوماتیک
2.4 خط لوله خلاac: مواد 6 "و 8" SUS304
دریچه تهویه 2.5 وکیوم: مدل الکترومغناطیسی 3/8 ”
3. سیستم پمپاژ با خلا High بالا
3.1 پمپ پخش روغن: RTDP-36
آ.سرعت پمپاژ: 40000L / S
بفشار خلا V نهایی: بهتر از 10-7 تور
جقدرت گرمایش: 3 فاز ، 21 کیلو وات.
دمصرف روغن: 9 لیتر
3.2 دام سرد: 36 اینچ ، خنک کننده آب در مقابل جریان روغن است
3.3 شیر خلاve بالا: پنوماتیک
3.4 سوپاپ خط جلو: پنوماتیک
4. سیستم کنترل و بهره برداری الکتریکی
4.1 مدار اصلی: سوئیچ قطع کننده فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ،
C / T در نوع سری
4.2 قدرت تبخیر
4.3 سیستم کنترل تبخیر
4.4 Sputtering Power ، مدل DC
سیستم کنترل 4.5: PLC + صفحه لمسی به صورت خودکار / دستی
سیستم عامل 4.6: صفحه لمسی + نمایشگر
4.7 سیستم اندازه گیری فشار خلاac
Vacuum Gauge: Leybold Center Two - 1 ست
سنج کامل: 760 تور 10 پوند-7 تور - 1 مجموعه
سیستم هشدار 4.8:
فشار هوای فشرده کمتر است: صدای زنگ خطر
جریان آب خنک کننده کمتر است: صدای زنگ خطر
عملکرد نادرست: صدای زنگ خطر
4.9 نشانگر بار برق: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار
5. سیستم فرعی
5.1 سیستم کنترل شیر فشرده هوا
5.2 سیستم آب خنک کننده: لوله جریان آب و سیستم شیر سوئیچ
5.3 Cryopump Polycold (-120 ~ -145 ℃) - 1 مجموعه
مدل: MaxCool- 2500L
حداکثر بار :: 2500W
سرعت پمپاژ: 14000L / S.
6. سیستم رسوب گذاری
6.1 منبع پاشش
آ.هدف Sputtering ”125 میلی متر * 1400 میلی متر * 12 ~ 14 میلی متر - 1 مجموعه
بشاتر - 1 ست
جکنترل کننده جریان انبوه: گاز Ar - 1 ست
دمنبع تغذیه Sputtering: DC 60KW - 1 مجموعه
6.2 منابع تبخیر
آ.منابع تبخیر تنگستن
بمنبع تغذیه تبخیر: 20kVA
جمنبع و منبع تغذیه یون منبع
هوای فشرده: 5 ~ 8 کیلوگرم در سانتی متر2
آب خنک کننده: دمای آب: 20 ~ 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار آب: 2 ~ 3 کیلوگرم در سانتی متر2
قدرت: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 160kVA
منطقه نصب: (L * W * H) 6500 * 5500 * 2700 میلی متر
اگزوز: دریچه ای برای پمپ های مکانیکی است
ما سعی در طراحی و توسعه مناسبترین فرایندهای پوشش دهی برای قطعات مختلف 3D داریم که مطابق با نیازهای تولید مشتری ما هستند.بنابراین ما کل راه حل های پوشش را برای پوشش EMI ارائه می دهیم.
اگر سیستم پوشش سفارشی مورد نیاز است ، لطفاً نظرات و ایده های خود را با تیم ما در میان بگذارید و مشخصات محصولات خود را ارائه دهید ، ما برای حل بهترین راه حل ها با هم کار خواهیم کرد.
خدمات پوشش EMI ، دستگاه پوشش EMI در دسترس است
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، Royal Technology مفتخر است که راه حل های کامل پوشش را به شما ارائه دهد.