مزایای طراحی

1. طراحی قابل حمل با رد پای جمع و جور
2. سیستم خنک کننده بدون آب ، محیط کار مورد نیاز فقط برق است: 1Ph ، 220V 50Hz ، 60A ؛
3. درگاه دید بزرگ برای بازرسی از روند تبخیر ، با پنجره کوارتز تا 400 میلی متر
4. سیستم پمپاژ خلا vac قدرتمند برای فرآیند پوشش سریع چرخه: پمپ مولکولی توربو بالا ، قابل جمع شدن در هر جهت.مجهز به یک حجم بزرگ پمپ پره دوار دو مرحله ای.
   5. کم هزینه در حال اجرا و هزینه نگهداری کم.
   6. عملکرد انعطاف پذیر مبتنی بر دستگاه HMI: صفحه پردازش ، صفحه ثبت منحنی ، صفحه زنگ هشدار ، صفحات تعمیر و نگهداری و غیره. ورود اطلاعات و پورت اتصال USB برای بارگیری داده های پردازش.
   
   
    

   مشخصات فنی

   کارایی

   1. فشار خلا V نهایی: بهتر از 9.0 * 10-5 پا
   2. فشار خلاuum عملیاتی: 6.0 * 10-3 Pa ~ 9.0 * 10-3 Pa؛

   3. فشار خلا V پایه: 3.0 * 10-4 Pa

5. زمان پمپاژ: از 1 اتمسفر تا 9.0 × 10-3 Pa≤15 دقیقه (دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)
6. منبع رسوب: تبخیر رشته تخته تنگستن
7. مدل عملیاتی: کامل بصورت خودکار / نیمه خودکار / دستی
8. مواد رسوب: روی ، نقره ، طلا ، آلومینیوم و غیره

9. ساختار

   دستگاه پوشش خلاuum شامل سیستم کامل شده کلیدی ذکر شده در زیر است:

10. اتاق خلاuum
    1.1 اندازه: عرض داخلی: 450 میلی متر ، عمق: 450 میلی متر

11. ارتفاع داخلی: 500 میلی متر

    1.2 ماده: اتاق خلا SUS304

    درب و فلنج SUS304

    محفظه تقویت ساختار: SUS304

    شاسی مجلسی SS41 فولاد ملایم با رنگ آمیزی سطح

    1.3 سپر تبخیر: SUS304

    1.4 نمای پنجره: روی درب محفظه ، مواد کوارتز.

    1.5 دریچه تخلیه محفظه خلا (شامل صدا خفه کن)

12. سیستم پمپاژ خلاuum

13. سیستم پمپاژ خلاac خشن: پمپ پره دوتایی 2 مرحله ای - 1 مجموعه

    سیستم پمپاژ با خلا High بالا: مجموعه پمپ مولکولی Turbo-1

    3. سیستم کنترل و بهره برداری الکتریکی - PLC + صفحه لمسی

    مدار اصلی: سوئیچ قطع کننده فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T از نوع سری

14. قدرت تبخیر - 1 مجموعه
15. سیستم کنترل تبخیر

16. 5.1 سیستم عملیاتی: صفحه لمسی + PLC ، کنترل دستور و ثبت اطلاعات ، خاموش شدن خودکار ، تخلیه خودکار ، پوشش خودکار

17. سیستم اندازه گیری

18. 6.1 فشار خلاuum: سنج خلاuum: Pirani + سنج پننج + سنج خلاuum کامل

    7. سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد نادرست ؛

    شاخص بار برق: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار

19. سیستم رسوب گذاری

20. 8.1 منبع رسوب: تخته تنگستن

    8.2 مواد رسوب: روی ، آلومینیوم ، نقره ، طلا

21. محیط کار

22. 9.1 تک فاز ، 220 ولت 50 هرتز (60 هرتز) ، 5 کیلو وات

    9.2 منطقه نصب: (L * W * H) 2000 * 1000 * 2300 میلی متر

    9.3 اگزوز: دریچه پمپ های مکانیکی

    چیدمان -دستگاه تبخیر حرارتی قابل حمل

     

اگر علاقه مند به این موضوع هستید لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید.

Insite