دستگاه پوشش فیلم ITO، پوشش حمام فیلم ITO Magnetron Sputtering Coater / Glass ITO Deposition Machine
دستگاه پوشش فیلم ITOبرنامه های استاندارد: PET، شیشه، برای تولید لایه های پوشش ITO.
زمان ساخت ماشین: 2012، چین.
کاربرد: فیلم AR، فیلم ITO.
قطعات کار:
اندازه: 300mm*100mm
ضخامت PET: 0.175mm+/-0.05mm
*ضخامت فیلم ITO: 185 نانومتر +/-5 نانومتر
مقاومت ورق: 6 ~ 8 اهم بر مربع
دستگاه پوشش فیلم ITOتنظیمات فنی:
1) منابع کندوپاش DC: Cu، Al، ITO
2) منابع کندوپاش MF
3) پمپ مولکولی توربو + گروه پمپ پشتیبان
4) میدان مغناطیسی با شدت بالا برای بهبود کیفیت فیلم ITO، نرخ استفاده هدف > 30٪
5) نرخ استفاده از اهداف مس، Al، Si > 35٪
6) نرخ رسوب: 30 نانومتر متر در دقیقه ~ 40 نانومتر متر در دقیقه
7) منطقه یکنواخت کندوپاش: 350 میلی متر
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.