تجهیزات رسوب فلز خلاء با کارایی بالا، متالایزر خلاء CsI توسط بوته حرارتی

کلید واژه ها: وضوح بالا، CsI: T1;فیلم های نازک سوسوزن؛تصویربرداری اشعه ایکس؛روش رسوب در خلاء، لایه کربن پس از رسوب

رسوب لایه نازک CsI برای دستگاه های تصویربرداری اشعه ایکس یک تکنیک پیشرفته برای تبخیر CsI روی صفحه نمایش است تا کیفیت تصویربرداری بالایی داشته باشد.با عملکرد وضوح بالا، همچنین به طور گسترده در بررسی و بازرسی امنیتی، موضوعات فیزیک انرژی بالا، فیزیک مناطق انرژی هسته ای و غیره استفاده می شود.

سیستم پوشش تبخیر حرارتی RTEP0913 برای رسوب فیلم CsI در تصویربرداری اشعه ایکس در محیط با فشار خلاء بالا توسعه داده شد.سوسوزن های CsI T1 با ضخامت 2 میکرومتر تا 14 میکرومتر.فیلم لایه کربنی را می توان به عنوان پس رسوب گذاری برای بهبود وضوح بالا در نظر گرفت.

یدید سزیم (CsI T1) وکیوم گواهی کارایی و شخصیت پردازی ها

• وضوح فضایی فوق العاده بالا تصویربرداری.
• پاسخ سریع برای تصویربرداری واضح تر؛
• نواحی تصویر لبه به لبه کلاس.
• لایه های جذب نوری یا لایه های بازتابنده؛
• دوز کم اشعه ایکس بیمار؛
• مناسب برای دستگاه های CCD و CMOS به ویژه در صنایع پزشکی.

نوع:

لجهت عمودی، سیلندر، 1 در، بازشو جلو.

طرحامکانات:

لفشار خلاء نهایی فوق العاده بالا: تا 9.0 * 10^-5Pa;

لگرم کردن سریع دستگاه ها برای چسبندگی خوب؛

ل انتخاب پمپ خلاء بالا و سیستم پمپاژ مناسب برای جلوگیری از مواد خطرناک  در معرض هوا؛

لسیستم پوشش قوی، فشرده و جامد؛

لپایداری بالا، کار 960 ساعت بدون توقف.

لدستگاه Inficon Film Thickness Controller برای نظارت بر ضخامت فیلم به صورت خطی.

لطراحی و انتخاب انحصاری بوته برای رسوب CsI.

لپوشش بستر، حداکثر.اندازه: 500 * 500 میلی متر

لمفاهیم پیشرفته طراحی قفسه می تواند 2 قطعه زیرلایه را در هر دسته بارگیری کند و خروجی تولید را بسیار افزایش دهد.

مشخصات فنی:

لکارایی

1.نهایی وکیوم فشار: بهتر از 9.0 * 10^-5Pa;

2.فشار خلاء عملیاتی: 60.0*10^-4پا~90.0*10^-4Pa; 

فشار خلاء پایه: 30.0*10^-4پا

3. پمپاژ زمان خاموشی: از 1 اتمسفر تا 20.0×10^-3 پا≤25دقیقه (دمای اتاق، اتاق خشک، تمیز و خالی)

4. منبع رسوب: تبخیر حرارتی بوته کوارتز

5. مدل عملیاتی:تمام خودکاربه صورت ماتیکی /نیمه خودکار/ دستی 

6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر.1000 ℃،
زمان گرم شدن زیرلایه شیشه TFT: از 0~250℃<40mins.

7. نرخ رسوب CsI:  0 تا 100 نانومتر بر ثانیه

8. CsI: ضخامت فیلم T1: تا 600μm

لساختار

دستگاه پوشش خلاء حاوی سیستم تکمیل شده کلیدی است که در زیر ذکر شده است:

1. محفظه خلاء
1.1 اندازه: قطر داخلی 900میلی متر

ارتفاع داخلی: 1300 میلی متر

1.2جنس: محفظه خلاء SUS304

درب و فلنج SUS304

ساختار تقویت محفظه: فولاد ملایم SS41، با عملیات سطح نهایی رنگ شده.

شاسی محفظه ای SS41 فولادی ملایم با عملیات سطح نهایی رنگ شده.

1.3 تبخیر شبازده: SUS304

1.4 مشاهده پنجره: بردرب اتاق

1.5 دریچه تهویه محفظه خلاء (شامل صدا خفه کن)

1.6 درب: مواد SUS304

2. روghing سیستم پمپاژ خلاء:
پمپ خلاء پره دوار روغن + پمپ ریشه (آلمان فایفر)

 

3.سیستم پمپاژ خلاء بالا:

پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی (آلمان فایفر)

4. سیستم کنترل و عملیات برق- صفحه نمایش لمسی PLC +

4.1 Mمدار ain: کلید قطع کننده بدون فیوز، الکترومغناطیسیتعویض، C/T در نوع سری

4.2  قدرت تبخیر

4.3 سیستم کنترل تبخیر

4.4سیستم عامل: صفحه لمسی +PLC، کنترل دستور العمل و ثبت اطلاعات، خاموش شدن خودکار، تخلیه خودکار، پوشش خودکار

4.5  اندازه گیری سیستم

     فشار خلاء : گیج خلاء: پیرانی + گیج پنینگ + وکیوم گیج برد کامل

دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل

کنترل کننده ضخامت فیلم: برند Inficon SQC-310   
 

4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده، خانم-عمل 

4.7 نشانگر بار قدرت: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار

5.سیستم رسوب گذاری

5.1 منبع رسوب: بوته کوارتز

5.2 مواد رسوب: CsI، کربن

6. زیر سیستم

6.1 سیستم کنترل دریچه فشرده هوا

6.2 سیستم آب خنک کننده: لوله جریان آب و سیستم شیر سوئیچ

 محیط کار

هوای فشرده: 5 تا 8 کیلوگرم بر سانتی متر مربع

آب خنک کننده: دمای آب: 20 تا 25 درجه سانتیگراد، 200 لیتر در دقیقه،
           فشار آب: 2 تا 3 کیلوگرم بر سانتی متر مربع،

برق: 3 فاز 380 ولت 50 هرتز (60 هرتز) 65kVA، میانگین مصرف برق: 30 کیلو وات 

منطقه نصب: (L*W*H) 3000*200*2300 میلی متر

اگزوز: دریچه برای پمپ مکانیکیس

لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.