دستگاه پوششی تبخیری القایی
خلاصه:
Induction heating is widely used in different fields due to high process productivity and universality, cleanness and possibility of full automation. گرمایش القایی به دلیل بهره وری بالا در فرآیند و جهانی بودن ، نظافت و امکان اتوماسیون کامل ، در زمینه های مختلف به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرد. As one method of PVD thermal evaporation technology, the process is friendly for environment. به عنوان یکی از روشهای فناوری تبخیر حرارتی PVD ، این فرایند برای محیط زیست سازگار است. Since the induction allows reaching temperature of 2000℃ and more, this method is very suitable for industrial production and scientific researches. از آنجا که این القایی امکان رسیدن به دمای 2000 ℃ و بیشتر را فراهم می کند ، این روش برای تولید صنعتی و تحقیقات علمی بسیار مناسب است.
The RTEP0404 Induction Evaporation Coating Machine is designed for C60 evaporating deposition on varies of materials. دستگاه پوششی تبخیری القایی RTEP0404 برای رسوب تبخیر C60 بر روی انواع مواد طراحی شده است. C60 manufactures provides R&D and testing results for prospective. تولیدات C60 نتایج تحقیق و توسعه و آزمایش را برای آینده نگر فراهم می کند. A strong tool assisting them to expand new applied industries. ابزاری قوی برای کمک به آنها برای گسترش صنایع جدید کاربردی.
The first set is produced for Shanghai University. اولین مجموعه برای دانشگاه شانگهای تولید می شود. Industrial production model is under processing. مدل تولید صنعتی در حال پردازش است.
برنامه های اصلی:
برای سپردن لایه ها و روکش های فیلم نازک
نوع:
جهت گیری عمودی ، مدل Bell Jar ، Top Opening
طرح امکانات:
مشخصات فنی:
1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 9.0 * 10-5 پا؛
فشار خلاء پایه: 3.0 * 10-4 بله
3. زمان پمپاژ: از 1 اتمسفر تا 10 2.0 2.0-3 25 دقیقه Pa≤ (دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)
4- منبع انباشت: اواپراتور القایی ، تراشنده
5. مدل عملیاتی: دستی
6. Heating: from room temperature up to max. 6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 1000℃, 1000 ℃ ،
7. قدرت تبخیر: فرکانس رادیویی RF و منبع تغذیه
8. گاز کار: Ar
دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلید است که در زیر ذکر شده است:
1. اتاق خلاء
1.1 اندازه: قطر داخلی 400 میلی متر
ارتفاع داخلی: 400 میلی متر
1.2 مواد: اتاق خلاء SUS304
ساختار تقویت اتاق: فولاد خفیف SS41 ، با سطح تصفیه سطح رنگی.
شاسی اتاقک فولاد خفیف SS41 با سطح تصفیه سطح رنگی.
1.3 سپر تبخیر: SUS304
1.4 نمایش پنجره: روی درب محفظه
دریچه تهویه اتاق خلاء 1.5 (از جمله صدا خفه کن)
2. سیستم پمپاژ خلاء خشن:
پمپ وان دوار روغن دو مرحله ای
3. سیستم پمپاژ خلاء بالا: پمپ مولکولی توربو
4- سیستم کنترل و بهره برداری برقی- واحد بهره برداری HMI
4.1 مدار اصلی: سوئیچ شکن بدون فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T در نوع سری
4.2 قدرت تبخیر
4.3 سیستم کنترل تبخیر
سیستم عامل 4.4: PLC
4.5 سیستم اندازه گیری
فشار خلا: سنج خلا: پیرانی + سنجش فشار
4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد اشتباه
4.7 شاخص بار توان: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار
5. . Deposition System سیستم انباشت
5.1 منبع انباشت: اواپراتور حرارتی القایی
5.2 مواد انباشت: C60
6 زیر سیستم
6.1 سیستم کنترل فشار دریچه هوا
6.2 سیستم آب خنک کننده: سیستم لوله انتقال آب و شیر سوئیچ
6.3 بنزین: Ar (> 99.99٪)
7. محیط کار
هوای فشرده: 8 g 5kg / cm2
آب خنک کننده: دمای دمای آب: 25 20 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار در آب: 3 2 2 kg / cm2 ،
توان: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 8kVA ، متوسط مصرف برق: 3kVA
محل نصب: (L * W * H) 2000 * 200 * 2000mm
اگزوز: برای پمپ های مکانیکی بخاری
برای باز یا بسته کردن محفظه ، به صورت خودکار واحد بالا و پایین را بکشید
سیستم محفظه برقی:
نکات امنیتی:
محافظت در برابر اشعه RF
ما در تلاش بوده ایم که مناسب ترین سیستم پوشش را طراحی کنیم و مناسب ترین محصول پوشش دهی و درخواست های با کیفیت از پوشش مشتری را برآورده کنیم.
اگر سیستم پوششی سفارشی مورد نیاز شرکت شما باشد ، لطفا افکار ، ایده های خود را با تیم ما در میان بگذارید و مشخصات محصولات خود را ارسال کنید ، ما با هم کار می کنیم تا بهترین راه حل ها را مرتب کنیم.
