Au طلا مگنترون Sputtering ماشین پوشش بر روی ویفر سیلیکون، شیشه ای اسلاید، ورق های سرامیکی
Au Magnetron Gold Sputtering on Waffles Silicon
خلاصه:
لایه لایه طلایی ویژگی های:
1. لایه اتصال برای افزایش چسبندگی بستر و فیلم فلزی ضروری است. شرکت سلطنتی طیف وسیعی از دستور العمل های پوشش داده شده بر اساس برنامه های مختلف را توسعه داده است، از مشتریان ما با مشاوره حرفه ای پشتیبانی می کند.
2. زبری (RMS - میانگین مربع ریشه) <40Å در بیشتر برنامه ها انتظار می رود. برای برخی برنامه های کاربردی پروب اسکن، ممکن است نیاز به زبری پایین باشد، به طور کلی 1.5 ~ 4 نانومتر.
4. خلوص سطح لایه پراکنده: برای برنامه های کاربردی که از تغییرات سطح طلا استفاده می کنند، سطح تمیز مورد نیاز است. بسته به فرایند PVD مورد استفاده، سطح خلاء در سیستم، خلوص اصلی منبع طلا (بیش از 99.99٪ به طور کلی)
کليدواژگان: رسوب نازك نانو ساختار طلاي Au، اسپكترومغناطيس مگنترون نازك طلاي طلا، اسپكتروم طلاي PVD طلا، سيستم متاليزاسيون طلاي طلا
برنامه های کاربردی:
آزمایشگاه دانشگاه ها، بخش تحقیق و توسعه تولید کننده مواد فلزی، مراکز خدمات PVD Vacuum Coating، اغلب در صنایع الکترونیک به عنوان لایه رسانا و علوم برای نمونه های میکروسکوپ و غیره استفاده می شود.
مشخصات فنی:
مدل | RTAC0808-SP |
فن آوری | DC Sputtering + منبع یون (برای گزینه) |
مواد | فولاد ضد زنگ (S304) |
اندازه اتاق | Φ800 * H800mm |
نوع اتاق | سیلندر، عمودی، 1 درب |
سیستم ROTARY RACK | سیاره ای / رانندگی مرکزی |
مواد دفع شده | طلا، آلومینیوم، نقره، مس، کروم، فولاد ضد زنگ، نیکل، تیتانیوم |
منبع ذخیره سازی | کاتالیست های اسپیلت سیلندر / پلانار: 2 یا 3 برای گزینه. + 3 منابع قوس |
کنترل گاز واکنش پذیر | MFC، 2/4 راه |
کنترل | PLC (کنترل منطقی قابل برنامه ریزی) + صفحه لمسی |
سیستم پمپ | SV300B - 1 مجموعه (Leybold) 300m³ / hr |
پمپ ریشه - 1 مجموعه، 150L / S | |
نگهدارنده پمپ - 1 مجموعه، 60m³ / hr | |
پمپ مولکولی توربو: - 1 مجموعه 3500L / S | |
تامین برق | منبع تغذیه اختلال: 1 * 24 کیلو وات قدرت تفکیک DC: 2 * 24 کیلو وات |
سیستم ایمنی | قفل ایمنی متعدد برای حفاظت از اپراتورها و تجهیزات |
خنک کردن | بازیافت آب خنک کن |
گرم کردن | بخاری، 9 کیلو وات |
برق برق | 480V / 3 فاز / 60HZ (سازگار با ایالات متحده) |
460V / 3 فاز / 50HZ (سازگار با آسیا) | |
380V / 3 فاز / 50HZ (سازگار با EU-CE) | |
فتوتراپی | L3200 * W2600 * H2000mm |
وزن مجموع | 3.0 T |
زمان چرخه | 30 ~ 40 دقیقه (بسته به ماده سوبسترا هندسه بستر و شرایط محیطی) |
POWER MAX .. | 50 کیلو وات |
مصرف برق متوسط (APPROX.) | 20 کیلو وات |
PVD Gold Plating Wafers
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار دارد که به شما راه حل های پوشش کامل ارائه دهد.