دستگاه پوشش لایه نازک مس، کارخانه رسوب دهی لایه نازک رسانا طلا، سیستم پوشش دهی نقره ای
فلز مسروکش خلاء کندوپاش مگنترون
1) قابلیت کنترل ضخامت فیلم و تکرارپذیری خوب، می تواند یک سیستم قابل اعتماد از ضخامت از پیش روکش شده فیلم ها و کندوپاش در یک سطح بزرگتر از فیلم یکنواخت باشد.
2) چسبندگی فیلم و بستر بسیار خوب است.برخی از انرژی بالای اتم های پراکنده برای تولید سطوح مختلف پدیده تزریق، لایه شبه انتشار بر روی لایه زیرلایه اتم های پراکنده تشکیل شده و اتم های بستر با یکدیگر ذوب شده اند.
3) تهیه مواد ویژه فیلم، می توانید از مواد مختلف استفاده کنید و فیلم هیبریدی، فیلم ترکیبی، همچنین می تواند در فیلم طلای تقلیدی پراکنده شود.
فلز مسمشخصات روکش خلاء کندوپاش مگنترون
| دستگاه پوشش دهی مگنترون | ||||||
| کارایی | RTSP-700 | RTSP-900 | RTSP-1000 | RTSP-1250 | RTSP-1400 | RTSP-1600 |
| اندازه محفظه پوشش | 700 * H900 میلی متر | 900*H1100mm | 1000*H1200mm | 1250*H1350mm | 1400*H1600mm | 1600*H1800mm |
| نوع منبع تغذیه | منبع تغذیه رشته، منبع تغذیه بایاس پالس، منبع تغذیه مگنترون DC، منبع تغذیه مگنترون فرکانس متوسط، منبع تغذیه مگنترون فرکانس رادیویی، منبع یونیزاسیون خطی | |||||
| ساختار محفظه خلاء | درب دوبل عمودی، ساختار درب جلو عمودی، سیستم اگزوز هوای عقب | |||||
| مواد محفظه خلاء | حفره فولادی ضد زنگ با کیفیت بالا | |||||
| خلاء را محدود کنید | 6.0 * 10-4Pa | |||||
| زمان تخلیه پمپ (بدون بار) | اتمسفر را به 8.0*10 پمپ کنید-3>Pa ≤15 دقیقه | |||||
| سیستم جذب خلاء | پمپ انتشار یا پمپ مولکولی + پمپ ریشه + پمپ مکانیکی + پمپ پره دوار (مدل خاص را می توان با توجه به نیاز مشتری پیکربندی کرد) | |||||
| حالت پوشش | پوشش کندوپاش مگنترونی | |||||
| نوع فیلم | فیلم فلزی، فیلم واکنشی، فیلم ترکیبی، فیلم چند لایه و فیلم نیمه هادی | |||||
| نوع هدف مگنترون | هدف مگنترون مستطیلی، هدف مگنترون استوانه ای و اهداف مگنترون دوقلو | |||||
| منبع تغذیه مگنترون و تعداد اهداف مگنترون | با توجه به فرآیند پوشش های مختلف و نیازهای مشتری انتخاب کنید | |||||
| منبع تغذیه بایاس | 10 کیلووات / 1 واحد | 20KW/1 واحد | 20KW/1 واحد | 30KW/1 واحد | 40KW/1 واحد | 50 کیلووات / 1 واحد |
| حالت چرخشی میز گردان قطعه کار | چرخش سیاره ای و چرخش خودکار، تنظیم سرعت فرکانس متغیر (قابل کنترل و تنظیم) | |||||
| گاز فرآیندی | سیستم کنترل و نمایش جریان گاز فرآیند 3 یا 4 مسیره، سیستم گازگیری خودکار انتخابی | |||||
| حالت خنک کننده | حالت خنک کننده گردش آب، برج آب خنک کننده یا کولر آبی صنعتی یا سیستم خنک کننده عمیق.(ارائه شده توسط مشتریان) | |||||
| حالت کنترل | حالت ادغام دستی / خودکار، عملکرد صفحه نمایش لمسی، کنترل PLC یا کامپیوتر | |||||
| حداکثر قدرت | 30 کیلو وات | 35 کیلو وات | 40 کیلو وات | 50 کیلو وات | 65 کیلو وات | 80 کیلو وات |
| زنگ هشدار و حفاظت | هشدار کمبود آب، اضافه جریان و اضافه ولتاژ، مدار باز و سایر شرایط غیرعادی پمپ ها، اهداف و غیره و اجرای اقدامات حفاظتی مربوطه و عملکرد اینترلاک الکتریکی | |||||
| منطقه تجهیزات | W2m*L3m | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5 متر * L6 متر | W5m*L7m |
| سایر پارامترهای فنی | فشار آب ≥0.2MPa، دمای آب ≤25°C، فشار هوا: 0.5-0.8MPa | |||||
| ملاحظات | پیکربندی خاص تجهیزات پوشش را می توان با توجه به نیازهای فرآیند محصولات پوشش طراحی کرد | |||||
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.
