این دستگاه با سیستم پوشش خلاء تولید صنعتی مناسب است . این یک منبع تبخیر یونی ساده قوس با اندازه بزرگ را مجهز کرده و می تواند با استفاده از فناوری تبخیر قوس مانند TiN ، TiCN ، AlTiN و انواع فیلم ویژه دیگر با توجه به نیاز مشتری ، فیلم فلزی سخت با کارایی بالا را در خود جای دهد.
این دستگاه می تواند برای ساخت پلاستیک پر کردن پلاستیک TITANIUM ابزارهای دست دندان استفاده شود
مشخصات دستگاه پوشش فیلم نازک
| مدل | RTSP1010 | |||||||
| فن آوری | فرآیند PECVD- پاشش مگنترون + منبع یون | |||||||
| ماده اتاق | فولاد ضد زنگ (S304) | |||||||
| اندازه اتاق | Φ1000 * 1000mm (H) | |||||||
| نوع اتاق | اتاق هشت ضلعی معمولی ، دو درب | |||||||
| ROTATION RACK & JIG SYSTEM | ماهواره 6 (8) ، حداکثر. وزن: 400 کیلوگرم | |||||||
| منابع تغذیه | کمیت از Sputtering: 2 * 24 KW Bias Supply of Power: 1 * 24W AE منبع تغذیه برای گزینه منبع تغذیه یون منبع تغذیه 2 مجموعه ، منبع تغذیه AE برای گزینه | |||||||
| ماده نمایشی | CR / C | |||||||
| منبع تقسیم | 2 جفت (4 قطعه) کاتدی های اسپوتینگ + 2 منطقه پوشش منبع یون: Dia800mm * H550mm؛ مساحت یکنواختی: ~ 10 ~ 15٪ | |||||||
| کنترل | PLC (کنترل کننده منطق قابل برنامه ریزی) + صفحه لمسی (دستی + خودکار + مدل های عملکرد نیمه خودکار) | |||||||
| سیستم PUMP | پمپ روتاری Vane: SV300B - 1 مجموعه (Leybold) | |||||||
| پمپ ریشه: WAU1001 - 1 مجموعه (Leybold) | ||||||||
| پمپ نگهدارنده: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| پمپ مولکولی تعلیق روتور مغناطیسی: MAG2200 - 2 مجموعه (Leybold) | ||||||||
| کنترل جریان گاز GAS MASS | 3 کانال ، ساخته شده در آمریکا (مارک MKS) | |||||||
| اندازه گیری خلأ | مدل: ZDF-X-LE، ساخت کشور چین | |||||||
| منبع یون خطی | 2 قطعه قبل از درمان ، تمیز کردن پلاسما + رسوب کمکی | |||||||
| سیستم ایمنی | برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات ، ایمنی بیشماری به هم وصل شده است | |||||||
| گرم کردن | بخاری ها: 20KW. حداکثر دما: 400 | |||||||
| آشپزی | چیلر صنعتی (آب سرد) | |||||||
| POWER MAX. | 100 کیلو وات (تقریباً) | |||||||
| مصرف برق نیرو | 45 کیلو وات (تقریباً) | |||||||
| وزن ناخالص | T (تقریباً) | |||||||
| چاپ FOOT | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
| برق برق | AC 380V / 3 مرحله / 50HZ | |||||||
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، رویال فناوری مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.
