دستگاه پوشش دهی PVD تانتالیوم، لایههای تانتالیوم رسوبشده توسط کندوپاش مگنترون DC، آبکاری تانتالیوم PVD
تانتالوم به دلیل مقاومت خوب در برابر فرسایش بیشترین کاربرد را در صنایع الکترونیک و به عنوان یک پوشش محافظ در بسیاری از صنایع دارد.
فیلم های تانتالیوم پراکنده به طور گسترده ای در
1. صنعت میکروالکترونیک به عنوان فیلم ها را می توان به صورت واکنشی پراکنده کرد و بنابراین مقاومت و ضریب مقاومت دمایی را می توان کنترل کرد.
2. ابزار پزشکی مانند ایمپلنت بدن به دلیل خاصیت زیست سازگاری بالا.
3. پوشش روی قطعات مقاوم در برابر خوردگی، مانند ترموول ها، بدنه دریچه ها و بست ها.
در صورتی که پوشش پیوسته، معیوب و چسبیده به زیرلایه باشد، می تواند به عنوان یک مانع موثر در برابر خوردگی نیز استفاده شود..
مزایای فنی RTAS1000
1. پلاگین سیستم طراحی یکپارچه برای نصب سریع
2. زیمنس PLC، CPU؛با سخت افزار عملیات و کنترل کامپیوتر صنعتی
3. برای نظارت و تشخیص از راه دور موجود است.
4. انعطاف پذیر، آماده برای ارتقاء
5. کاتدهای متعدد برای سرعت رسوب سریع
مزایای بیشتر دستگاه:
طراحی قوی، کیفیت پایدار، چرخه سریع، زمان چرخه سریع، سرعت رسوب بالا
تنظیمات اصلی | |
مدل | RTAS1000 |
فن آوری | کندوپاش مگنترون DC + آبکاری قوس کاتدی |
مواد اتاقک | فولاد ضد زنگ (S304) |
اندازه اتاق | Φ1000*1000mm (H) |
نوع اتاقک | شکل D، محفظه استوانه ای |
سیستم قفسه چرخشی و جیگ | رانندگی ماهواره ای یا سیستم رانندگی مرکزی |
منابع تغذیه | منبع تغذیه DC Sputtering: 2 ~ 4 مجموعه منبع تغذیه بایاس: 1 مجموعه منبع تغذیه Arc: 11 مجموعه |
مواد رسوبی | Ti/Cr/TiAl، Ta، Au، Ag، Cu و غیره |
منبع رسوب |
کاتدهای کندوپاش مسطح + کاتدهای قوس دایره ای توجه: کندوپاش DC استوانه ای موجود است |
کنترل | PLC (کنترل کننده منطقی قابل برنامه ریزی) + صفحه لمسی (مدل های عملکرد دستی + خودکار + نیمه خودکار) |
سیستم پمپ | پمپ پره دوار: SV300B - 1 مجموعه (Leybold) |
پمپ ریشه: WAU1001 - 1 مجموعه (Leybold) | |
پمپ نگهدارنده: D60C - 1 مجموعه (Leybold) | |
پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی: MAG2200 - 2 سست (Leybold) | |
کنترل کننده جریان جرم گاز | 4 کانال، ساخت چین، مدل دیجیتال هفت ستاره (سری CS، ) (Ar, N2, O2, C2H2) |
گیج خلاء | مدل: ZDF-X-LE، ساخت چین |
سیستم ایمنی | اینترلاک های ایمنی متعدد برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات |
گرمایش | بخاری: 20 کیلو واتحداکثردما: 450 ℃ |
خنک کننده | چیلر صنعتی (آب سرد) |
حداکثر توان | 100 کیلو وات (تقریبا) |
میانگین مصرف برق | 45 کیلو وات (تقریبا) |
وزن ناخالص | T (تقریبا) |
چاپ پا | (L*W*H) 4000*4000 *3600 میلیمتر |
برق برق | AC 380 ولت / 3 فاز / 50 هرتز / 5 خط |
کاتدهای کندوپاش استوانه ای کاتدهای کندوپاش مسطح
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.
بروشور را دانلود کنید، لطفا اینجا کلیک کنید:سیستم رسوب دهی کندوپاش مگنترون.pdf
کاربرد سیستم رسوب دهی کندوپاش مگنترون...