Electronics Cooper Sputtering System / Chips الکترونیک نظامی به طور مستقیم آبکاری تجهیزات پاشش مس
Cooper Magnetron Sputtering Coating Factory در لوازم الکترونیکی نظامی
فرآیند DPC- Direct Plating Cop یک فناوری پوشش پیشرفته است که با صنایع LED / نیمه هادی / الکترونیک اعمال می شود.یکی از کاربردهای معمولی ، لایه تابشی سرامیکی است.
رسوب فیلم رسانای کوپر بر روی بسترهای Al2O3 ، AlN ، Si ، Glass با تکنولوژی پاشش خلا PVD ، در مقایسه با روشهای سنتی تولید: DBC LTCC HTCC ، ویژگی ها:
1. هزینه تولید بسیار پایین تر.
2. مدیریت حرارتی برجسته و عملکرد انتقال حرارت
3. تراز بندی دقیق و طراحی الگو ،
4. تراکم مدار بالا
5. چسبندگی خوب و قابلیت لحیم کاری
تیم فناوری سلطنتی به مشتری ما کمک کرد تا فرآیند DPC را با فناوری پاشش PVD با موفقیت توسعه دهد.
به دلیل عملکرد پیشرفته ، بسترهای DPC به طور گسترده ای در برنامه های مختلف استفاده می شود:
چراغ روشنایی بالا برای افزایش طول عمر به دلیل عملکرد تابش حرارتی بالا ، تجهیزات نیمه هادی ، ارتباطات بی سیم مایکروویو ، وسایل الکترونیکی نظامی ، بسترهای مختلف حسگر ، هوافضا ، حمل و نقل ریلی ، برق و غیره
تجهیزات RTAC1215-SP منحصراً برای فرآیند DPC طراحی شده است که لایه کوپر را روی لایه ها می گیرد.این تجهیزات از اصل رسوب گذاری فیزیکی بخار PVD با روش آبکاری یونی چند قوس و روشهای پاشش مگنترون برای بدست آوردن فیلم ایده آل با چگالی بالا ، مقاومت در برابر سایش بالا ، سختی بالا و اتصال قوی در محیط با خلاء بالا استفاده می کند.این مرحله مهمی برای فرایند DPC استراحت است.
ویژگی های کلیدی دستگاه پوشش دهی مس
1. مجهز به 8 کاتد قوس هدایت کننده و کاتدهای پخش کننده DC ، کاتدهای پاششی MF ، واحد منبع یون.
2. پوشش چند لایه و پوشش همزمان در دسترس است
3. منبع یونی برای تمیز کردن پلاسما قبل از تصفیه و قرار دادن پرتو یون برای افزایش چسبندگی فیلم.
4. واحد گرمایش بسترهای سرامیکی/ Al2O3/ AlN.
5. سیستم چرخش و چرخش بستر ، برای پوشش 1 طرف و پوشش 2 طرف.
مشخصات دستگاه پوشش پاشش مس
کارایی
1. فشار نهایی خلاء: بهتر از 10 5. 5.0-6 تور
2. فشار خلاء عامل: 1.0 × 10-4 تور
3. زمان پمپاژ: از 1 اتمسفر تا 1.0 1.0 1.0-4 Torr≤ 3 دقیقه (دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)
4. فلز کردن مواد (پاشیدن + تبخیر قوس): Ni ، Cu ، Ag ، Au ، Ti ، Zr ، Cr و غیره
5. مدل عملیاتی: کامل به صورت خودکار / نیمه خودکار / دستی
ساختار
دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلیدی است که در زیر ذکر شده است:
1. محفظه خلاء
2. سیستم پمپ خلاء Rouhging (بسته پمپ پشتیبان)
3. سیستم پمپاژ خلاء بالا (پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی)
4. سیستم کنترل و کارکرد برق
5. سیستم تسهیلات کمکی (سیستم فرعی)
6. سیستم رسوب گذاری
نمونه های روکش مس
لطفاً برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، Royal Technology مفتخر است که راه حل های کل پوشش را به شما ارائه می دهد.
جزوه را بارگیری کنید ، لطفا اینجا را کلیک کنید:روکش مستقیم دستگاه مس- DC و MF magnetro ...
