PVD Direct Plating Silver روی فیلترهای دی الکتریک سرامیکی یک فناوری پوشش پیشرفته است که با ایستگاه پایه 5G و سایر نیمه هادی ها برای صنایع الکترونیک اعمال می شود.یکی از کاربردهای معمول، بستر تابشی سرامیکی است.رسوب فیلم رسانای نقره/مس بر روی اکسید آلومینیوم (Al2O3)، بسترهای AlN توسط فناوری کندوپاش خلاء PVD، بیش از همه یک مزیت بزرگ در مقایسه با روش‌های تولید سنتی دارد: DBC LTCC HTCC که هزینه‌های تولید بسیار پایین‌تری دارد.تیم رویال فناوری با مشتری ما برای توسعه فرآیند آبکاری نقره PVD با موفقیت با استفاده از فناوری کندوپاش که می تواند جایگزین فرآیند برس زدن نقره مایع معمولی شود، همکاری کرد.

برنامه های کاربردی نمونه

• HBLED
• بسترهای سلول های متمرکز کننده خورشیدی
• بسته بندی نیمه هادی قدرت شامل کنترل موتور خودرو
• الکترونیک مدیریت توان خودروهای هیبریدی و الکتریکی
• بسته های RF
• دستگاه های مایکروویو
• فیلترهای دی الکتریک سرامیکی برایایستگاه پایه 5G

فقط برای نام بردن چند مورد، برای برنامه های بیشتر، لطفا با رویال تک تماس بگیرید.

مزایای فنی

ظرفیت بزرگ
طراحی ماژول های انعطاف پذیر
ساخت دقیق

سیستم Sputtering دسته ای RTAS1215 نسخه ارتقا یافته است، جدیدترین سیستم چندین مزیت دارد:

فرآیند کارآمدتر
1. پوشش دو طرفه با طراحی ثابت گردش در دسترس است
2. حداکثر 8 فلنج کاتد مسطح استاندارد برای چندین منبع
3. ظرفیت بزرگ تا 2.2 ㎡ تراشه های سرامیکی در هر چرخه
4. کاملاً اتوماسیون، PLC + صفحه لمسی، سیستم کنترل تک لمسی

هزینه تولید پایین تر
1. مجهز به 2 مجموعه پمپ های مولکولی تعلیق مغناطیسی، زمان شروع سریع، تعمیر و نگهداری رایگان
2. حداکثر قدرت گرمایش
3. شکل هشت ضلعی محفظه برای استفاده از فضای بهینه، تا 8 منبع قوس و 4 کاتد کندوپاش برای رسوب سریع پوشش ها

مشخصات فنی

مدل: RTSP-Ag1215

ارتفاع محفظه (mm): 1500

قطر محفظه (mm): φ1200

فلنج نصب کاتدهای کندوپاش: 4

فلنج نصب منبع یون: 1

فلنج نصب کاتد قوس: 8

ماهواره ها (mm): 16 x Φ150

توان بایاس پالس (KW): 36

قدرت کندوپاش (KW): DC36 + MF36

قدرت قوس (KW): 8 x 5

قدرت منبع یون (KW): 5

قدرت گرمایش (KW): 36

ارتفاع پوشش موثر (mm): 1020

پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی: 2 x 3300 L/S

پمپ ریشه: 1 x 1000 m³/h

پمپ پره دوار: 1 x 300 m³/h

پمپ نگهدارنده: 1 x 60 m³/h

ظرفیت: 2.2 ㎡

مساحت نصب (طول x عرض x) میلی‌متر: 4200*6000*3500

داخل سایت

زمان ساخت: از سال 2016

تعداد: 3 ست

مکان: چین

در مقایسه با تقاضای زیاد بازار، بهره وری سیستم دسته ای کم است.ما به توسعه سیستم کندوپاش درون خطی (خط رسوب کندوپاش ادامه می دهد) با دستگاه های بارگیری/تخلیه خودکار ربات اختصاص داده ایم.هر کسی که به این سیستم علاقه مند است، لطفا برای مشخصات بیشتر با تکنسین ما تماس بگیرد.