دستگاه پوشش وب خلاء رول به رول ITO / دستگاه کندوپاش PVD فیلم PET
ما خوشحالیم که برای برآورده کردن نیازهای رسوب چند لایه شما، روکش رول به رول خلاء وکیوم رول به رول سری MultiWeb را پیشنهاد می کنیم.
پوشش MultiWeb ویژگی های کلیدی زیر را ارائه می دهد:
الف. یک محفظه که به مناطق چند فشاری تقسیم شده است تا منابع رسوبی مختلف را در خود جای دهد.
ب. قابلیت رسوب همزمان چند منبع در یک وب گذر، برای پوشش چند لایه.
ج. جهت سیم پیچ برگشت پذیر وب، رسوب لایه های نامحدود را بدون شکستن خلاء امکان پذیر می کند.
د. مکانیسمهای مدیریت وب دقیق با راهنمای لبهای که امکان عبور چندگانه را بدون از دست دادن تراز میدهد.(اختیاری)
E. سیستم درایو وب AC Invert برای کنترل دقیق سرعت های مختلف وب.
F. سیستم های نظارت بر ضخامت نوری و/یا مقاومت در خط، برای کنترل ضخامت و یکنواختی رسوب گذاری دقیق.(اختیاری)
G. Chamber از SUS304L Stainless ساخته شده است که دارای اجزای گازرسانی کم برای تضمین خلاء عمیق تر است.
H. پمپاژ خلاء با ترکیبی از پمپ مولکولی توربو و برودتی با دمای پایین، برای ایجاد خلاء تمیز بدون رطوبت یا آلودگی روغن.
ITO Roll to Roll Sputtering Vacuum Web Coating Machine FILMS REPOSITION
1. مواد بستر: PET، PEN، PES، PI، PC، PA،... فیلم
2. ضخامت بستر: 15 ~ 300μm
3. روش های رسوب: AC واکنش پذیر برای SiO2 (دی الکتریک).DC پالسی برای ITO (فلز و هادی)
4. هادی اکسید TCO: ITO، AZO، IZO...
5. هادی فلزی: Al, Cu, Mo, Ag...
6. فیلم نوری: Ta2O5، Nb2O5، SiO2، TiO2...
7. نیمه هادی: ZnO، InGaZnO...
8. عایق: SiO2، SiNx، AlOx، AlNx...
9. یکنواختی: ± 5٪ در سراسر وب
ITO Roll to Roll Sputtering Vacuum Coating Machine توضیحات
مشخصات کلی | |||||||
بدنه محفظه خلاء: مناطق تک محفظه چند فشار | |||||||
کالسکه های متحرک: کالسکه وب | |||||||
منطقه رسوب: 2 X منطقه کندوپاش (اختیاری: 3 منطقه کندوپاش) | |||||||
منبع کندوپاش: 2 X منبع کندوپاش کاتدی دوگانه (اختیاری: 3 منبع کندوپاش کاتدی دوگانه) | |||||||
پیش تصفیه کننده بستر: منبع یون خطی | |||||||
عرض وب: 1300 میلی متر | |||||||
قطر سیم پیچ: Φ600 میلی متر حداکثر | |||||||
جهت سیم پیچ: دو جهته | |||||||
ضخامت بستر: 15~300μm | |||||||
سرعت خط وب: 0.5 ~ 10M/min | |||||||
تنش وب: 5.0PLI حداکثر 0.5PLI حداقل | |||||||
تراز وب: ± 3 میلی متر (یک پاس) | |||||||
پمپ خلاء سلام: پمپ توربو | |||||||
پمپ خلاء خشن: ترکیب پمپ خشک و دمنده | |||||||
پمپ رطوبت: Polycold Cryogenic | |||||||
کنترل ضخامت رسوب: نظارت (اختیاری) | |||||||
الف: انتقال نوری؛ب: مقاومت جریان گردابی | |||||||
عملیات سیستم: عملیات سیستم کامپیوتری مبتنی بر PLC |
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.