|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RTAS950 |
| مقدار تولیدی: | ۱ عدد |
| قیمت: | قابل مذاکره |
| شرایط پرداخت: | اعتبارات اسنادی، D/A، D/P T/T |
| توانایی عرضه: | مجموعه 10 در هر ماه |
تحقیق و توسعه چندگانه توابع تجهیزات پوشش مکانیکی MF / DC کاتالیست های اسپری
تحقیقات و توسعه چند منظوره تجهیزات پوشش خلاء
کليدواژگان: پوشش هاي PVD سخت، فرآيند PECVD، فيلم DLC، فيلم الماس مانند كربن، فيلتر نوری اسپكتروم، ژنوتيپ Magnetron Sputtering Cathode، Ion Source، PA PVD
ویژگی های طراحی RTAC950-SP:
مشخصات فنی
1. خلاء نهایی: بهتر از 8.0 * 10-4 Pa؛
3. پمپاژ زمان: از atm به 1.0 × 10-3 Pa≤15 دقیقه (درجه حرارت اتاق، خشک، تمیز و خالی محفظه)
4. منبع رسوب: کاتد اسپکترومغناطیسی مگنترون جنتو، کاتد کمان هدایت شده، منبع یون
5. مدل عامل: تمام اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی
6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 500 ℃،
9. منبع یون برای فرایند PECVD و PA PVD.
ماشین آلات بسته بندی خلاء شامل کلید کامل سیستم ذکر شده در زیر است:
1. اتاق خلاء
1.1 ابعاد: عمق داخلی 950 میلی متر
ارتفاع داخلی: 1350 میلی متر
1.2 ماده: اتاق خلاء SUS304
درب و فلنج SUS304
اتاق تقویت ساختار: SS41 فولاد ملایم، با رنگ پایان درمان سطح.
شاسی SS41 فولاد خفیف با رنگ آمیزی سطوح درمان.
1.3 اتاق محافظ: SUS304
1.4 نمایش پنجره: در درب های محفظه -2
1.5 لوله سوپاپ خلاء (از جمله صدا خفه کن)
1.6 درب: 2 مجموعه، جلو و عقب، مواد SUS304
2. سیستم پمپ خلاء جوش:
پمپ خلاء پره ای روغن + نگهدارنده پمپ
3. سیستم پمپ خلاء بالا:
پمپ مولکولی توربو - 2 مجموعه
4. کنترل و کنترل سیستم الکتریکی PLC + سیستم ScreenOperation لمسی:
تهیه کنندگان:
PLC: میتسوبیشی، مدل: FX-IN60MR-001 SERIES
قطعات الکترونیکی: SCHNEIDER، OMRON.
سیستم ایمنی حفاظت: شمارنده ایمنی متعدد برای حفاظت از اپراتورها و تجهیزات (آب، گاز فعلی، درجه حرارت و غیره)
سیستم های فرآیند پوشش : سیستم اتوماسیون و کنترل فرآیند. به طور خودکار در حافظه به مدت 3 ماه ذخیره شده است. داده های دستورالعمل های ویژه: عملیات هدف فعلی / ولتاژ، جریان جرم، فشار خلاء، درجه حرارت، زمان پوشش برای تجزیه و تحلیل برای بهبود کیفیت پوشش ذخیره می شود.
4.1 مدار اصلی: هیچ سوئیچ سوئیچ سوئیچ، سوئیچ الکترومغناطیسی، C / T در سری نوع
4.2 منبع تغذیه: قدرت تفکیک MF + DC قدرت قوس + اختلال منبع تغذیه
4.3 سیستم کنترل رسوب
4.4 سیستم عامل: صفحه لمسی + PLC، کنترل دستورالعمل و ثبت اطلاعات، خاموش شدن اتوماتیک، تخلیه اتوماتیک، پوشش اتوماتیک
4.5 سیستم اندازه گیری
فشار خلاء: خلاء سنج: Pirani + Penning سنج + کامل محدوده خلاء سنج - نام تجاری اروپا
دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل جریان جرم (4 راه)،
4.6 سیستم هشدار: فشار هوا فشرده، جریان آب خنک کننده، عملیات غیرمستقیم
4.7 شاخص قدرت بار: شاخص ولتاژ و نشانگر جریان بار
5 سیستم رسوب
5.1 منبع رسوب: کاتیدهای اسپری + منابع قوس + منبع یون
5.2 رسوب مواد: ITO، تیتانیوم، کروم، آلومینیوم، فولاد ضد زنگ، TiAl و غیره
6. زیر سیستم
6.1 سیستم کنترل فشرده هوای فشرده
6.2 سیستم خنک کننده آب: لوله جریان آب و سوپاپ سیستم
7. محیط کاری
فشرده هوا: 5 ~ 8kg / cm2
آب خنک کننده: آب در دمای: 20 ~ 25 ℃، 200 لیتر / دقیقه،
فشار آب: 2 ~ 3 کیلوگرم / cm2
قدرت: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz)، 130kVA، متوسط مصرف برق: 60KW
منطقه نصب: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
اگزوز: دریچه ای برای پمپ های مکانیکی
برنامه های کاربردی
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار دارد که به شما راه حل های پوشش کامل ارائه دهد.
