تجهیزات انباشت پاشش طلا طلا ، دستگاه انباشت پیلو / طلا PVD ، رسانای سیستم پخش کننده PVD فیلم هادی

خلاصه: فرآیند DPC- مستقیم آبکاری مس یک فناوری پیشرفته پوشش است که با صنایع LED / نیمه هادی / الکترونیکی کاربرد دارد. یک کاربرد معمولی بستر تابشی سرامیکی است. کوپن رسوب فیلم رسانا بر روی اکسید آلومینیوم (Al2O3) ، بسترهای AlN با استفاده از فن آوری پاشش خلاء PVD ، در مقایسه با تولید سنتی

روش ها: DBC LTCC HTCC ، هزینه تولید بسیار پایین تر ویژگی برجسته آن است.

تیم فناوری سلطنتی به مشتری ما کمک کرد تا فرآیند DPC را با موفقیت و با استفاده از فن آوری پاشش PVD توسعه دهد.

واژه‌های کلیدی: قطعات مهر و موم سرامیکی ، فرآیند DPC ، سیستم پاشش مس PVD مس ، تراشه های سرامیکی LED با آبکاری کوپر ، Al ₂ O ₃ ، تخته های مدار سرامیکی AlN ، صفحات Al2O3 روی LED ، نیمه هادی

برنامه های کاربردی DPC:

· HBLED

· بسترهای سلولهای متمرکز كننده خورشیدی

بسته بندی نیمه هادی قدرت از جمله کنترل موتور خودرو

· الکترونیک مدیریت انرژی هیبریدی و برقی

· بسته های RF

دستگاههای مایکروویو

عملکرد فناوری DPC

مواد مختلف بستر: سرامیک (Al3O2 ، AlN) ، شیشه و Si

• هزینه تولید بسیار پایین تر است.
• عملکرد حرارتی برجسته و عملکرد انتقال حرارت
• تراز و طراحی دقیق
• چسبندگی متالیزاسیون قوی

امکانات:

• توان بالا تا 2/2 بستر سرامیکی در هر چرخه.
• چسبندگی شدید با دستگاه گرمایش قوی و تمیز کردن منبع پلاسما.
• طراحی جمع و جور و با دسترسی آسان برای کارهای به روز و تعمیر و نگهداری.
• کاملاً اتوماسیون ، صفحه لمسی PLC + ، سیستم کنترل تک لمسی.
• راندمان بالا با مصرف انرژی کمتر ، حداکثر. 50٪ صرفه جویی در هزینه تولید

مشخصات فنی

• کارایی

1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 9.0 * 10 ^{- 5} Pa؛

• فشار خلاء پایه: 3.0 * 10 ^{- 2} Pa

3. زمان پمپاژ: از اتمسفر تا 1.0 × 10 ^{- 3} دقیقه 15≤ ((دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)

4- منبع انباشت: کاتد های لکه دار گنکوآ مگنترون ، کاتدهای هدایت قوس ، منبع یون

5. مدل عملیاتی: کامل به صورت خودکار / نیمه خودکار / دستی

6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 500 ℃ ،

9. منبع یون برای فرآیند PECVD و PA PVD.

• ساختار

دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلید است که در زیر ذکر شده است:

1. اتاق خلاء

1.1 اندازه: قطر داخلی: 1200 میلی متر

ارتفاع داخلی: 1500 میلی متر

1.2 مواد: اتاق خلاء SUS304

درب و فلنج SUS304

ساختار تقویت اتاق: فولاد خفیف SS41 ، با سطح تصفیه سطح رنگی.

شاسی اتاقک فولاد خفیف SS41 با سطح تصفیه سطح رنگ شده.

1.3 سپر اتاق: SUS304

1.4 نمایش پنجره: 2 در درب

دریچه تهویه اتاق خلاء 1.5 (از جمله صدا خفه کن)

1.6 درب: مواد SUS304

2. سیستم پمپاژ خلاء Rou ghing :

پمپ خلاء وان چرخشی روغن + پمپ نگهدارنده

3. سیستم پمپاژ خلاء بالا : پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی - 2 مجموعه

4. سیستم کنترل و بهره برداری الکتریکی- PLC + سیستم عامل صفحه نمایش لمسی:

تهیه کنندگان:

PLC: صفحه نمایش لمسی میتسوبیشی + (ساخته شده در چین)

قطعات الکترونیکی: SCHNEIDER ، OMRON.

سیستم محافظت از ایمنی: برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات (آب ، گاز فعلی ، دما و غیره) ، به هم پیوسته ایمنی بی شماری

سیستم فرآیندهای پوشش : اتوماسیون فرآیند و کنترل.

4.1 مدار اصلی: سوئیچ شکن بدون فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T در نوع سری

4.2 منبع تغذیه: منبع تغذیه DC / MF + توان قوس DC + منبع تغذیه بایاس

4.3 سیستم کنترل رسوب

سیستم عامل 4.4: صفحه لمسی + PLC ، کنترل دستور العمل و ورود به سیستم داده ها ، خاموش کردن خودکار ، تخلیه خودکار ، پوشش خودکار

سیستم اندازه گیری 4.5

فشار خلا: سنج خلا: پیرانی + سنج سنج + خلاء اندازه گیری کامل - برند اروپا

دستگاه اندازه گیری دما: ترمو زوج
MFC: کنترل کننده جریان گسترده (4 روش) ،

4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد اشتباه

4.7 شاخص بار توان: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار

5 سیستم انباشت

5.1 منبع انباشت: کاتدهای پراکنده + منابع قوس + منبع یون

5.2 مواد انباشت: مس ، آلومینیوم ، کروم ، نقره ، طلا ، SS ، تیتانیوم و غیره

6. زیر سیستم

6.1 سیستم کنترل فشار دریچه هوا

6.2 سیستم آب خنک کننده: سیستم لوله انتقال آب و شیر سوئیچ

7. محیط کار

هوای فشرده: 8 g 5kg / cm2

آب خنک کننده: درجه حرارت آب: 20 20 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار در آب: 3 2 2 kg / cm2 ،

توان: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 130kVA ، متوسط ​​مصرف برق: 60KW

محل نصب: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

اگزوز: برای پمپ های مکانیکی بخاری

لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، Royal Technology مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.