ویژگی های تجهیزات پوشش PVD سرامیک:
1. محفظه خلاء عمودی یک در باز است، 304 فولاد ضد زنگ تولید می کند، قطر داخلی محفظه خلاء از φ1400mm-Φ2000mm;
2. سیستم خلاء توسط پمپ پره روتاری، پمپ ریشه و پمپ های انتشار روغن یا ساختار پمپ مولکولی.
3. سیستم پوشش از مغناطیس 1-2 فرکانس متوسط برای کنترل منبع قدرت کندوپاش استفاده می کند، دارای 1-2 جفت مغناطیس غیر متعادل برای کنترل هدف و دارای 14-40 منبع قوس است.
4. منبع تغذیه بایاس پالس با کارایی بالا.
5. سیستم گازسازی از دبی سنج جرمی گازی وارداتی یا تولید داخل، کنترول مقدار جریان گاز (نمایش) استفاده می کند.
6. استقرار سیستم کنترل الکتریکی مدار الکتریکی بیش از حد بارگذاری می شود، منبع آب را قطع می کند، دستگاه هشدار آکوستو اپتیک را می میرد.
7. سیستم کنترل (صفحه لمسی +PLC)، پارامتر دقیق نمایش زمان واقعی، کنترل کامل فرآیند تولید به طور کامل و پارامتر تکنولوژیکی حافظه خودکار.
تجهیزات پوشش PVD - مشخصات RTAC1618
| مدل | RTAC1618 | ||
| مواد | فولاد ضد زنگ (S304) | ||
| اندازه اتاق | Φ1600*1800mm (H) | ||
| سیستم پمپ | پمپ خلاء پیستونی دوار (مکانیکی) | ||
| پمپ خلاء پره دوار (هولدینگ) | |||
| پمپ وکیوم ریشه | |||
| پمپ انتشار | |||
| فن آوری | آبکاری یونی (منابع چند قوس) | ||
| اهداف معمولی | کروم، تیتانیوم، زیرکونیوم، TiAl | ||
| گاز | جریان سنج گاز (Ar، N2،) آرگون، نیتروژن | ||
| کنترل | PLC (کنترل کننده منطقی قابل برنامه ریزی) | ||
| سیستم ایمنی | اینترلاک های ایمنی متعدد برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات | ||
| خنک کننده | آب خنک کننده را بازیافت کنید | ||
| گرمایش | بخاری، تا 300 ℃ | ||
| حداکثر توان | 150 کیلو وات (تقریبا) | ||
| میانگین مصرف برق | 70 کیلو وات (تقریبا) | ||
تجهیزات پوشش PVD سرامیکفناوری آبکاری یونی را برای تبخیر فلزات جامد مانند تیتانیوم، کروم توسط منبع قوس کاتدی و متراکم کردن فلزات یونیزه شده روی سطح محصول برای تولید لایه نازک نانو در محیط خلاء بالا استفاده می کند.با گاز راکتیو مانند: نیتروژن برای تولید رنگ های مختلف.
سایر اندازه های ماشین سفارشی بر اساس ابعاد محصول مشخص شده و تقاضای ظرفیت در دسترس هستند.
مدل | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| اندازه داخلی اتاقک | 1000x800 میلی متر | 1000x1200mm | 1200x1500mm | 1400x1600mm | 1600x1600 میلی متر | ||||||
| نوع منبع تغذیه | منبع تغذیه قوس الکتریکی، منبع تغذیه رشته ای، منبع تغذیه بایاس پالس | ||||||||||
| ساختار محفظه خلاء | ساختار درب جلو عمودی، سیستم اگزوز هوای عقب و محفظه خنک کننده آب دو لایه | ||||||||||
| مواد محفظه خلاء | فولاد ضد زنگ 304/316L | ||||||||||
| خلاء نهایی | 6.0x10-4Pa (محفظه تخلیه، تمیز کردن، خشک کردن) | ||||||||||
| سرعت پمپاژ خلاء | از اتمسفر تا 8.0*10-3Pa ≤15 دقیقه | ||||||||||
| سیستم پمپاژ خلاء | پمپ انتشار یا پمپ مولکولی + پمپ ریشه + پمپ مکانیکی + پمپ نگهدارنده (مدل خاص را می توان با توجه به نیاز مشتری انتخاب کرد) | ||||||||||
| منبع قوس | 6 واحد یا 8 واحد | 8 واحد یا 10 واحد | 10 واحد یا 12 واحد | 14 واحد یا 16 واحد | 16 واحد یا 18 واحد | ||||||
| منبع تغذیه بایاس | 20 کیلووات / مجموعه | 20 کیلووات / مجموعه | 30 کیلووات / مجموعه | 40 کیلووات / مجموعه | 50 کیلووات / مجموعه | ||||||
| مدل رانندگی | چرخش و چرخش سیاره ای، تنظیم سرعت فرکانس متغیر (قابل کنترل و تنظیم) | ||||||||||
| سیستم گرمایش | قابل کنترل و تنظیم از دمای اتاق تا 450 درجه سانتیگراد (کنترل دمای PID) | ||||||||||
| MFC | سیستم کنترل و نمایش جریان گاز فرآیند 3 یا 4 مسیره، سیستم گازگیری خودکار انتخابی | ||||||||||
| سیستم خنک کننده | حالت خنک کننده گردش آب، برج آب خنک کننده یا کولر آبی صنعتی یا سیستم خنک کننده عمیق.(ارائه شده توسط مشتریان) | ||||||||||
| حالت کنترل | حالت ادغام دستی / خودکار، عملکرد صفحه نمایش لمسی، کنترل PLC یا کامپیوتر | ||||||||||
| حداکثر قدرت | 30 کیلو وات | 35 کیلو وات | 45 کیلو وات | 60 کیلو وات | 75 کیلو وات | ||||||
| زنگ هشدار و حفاظت | هشدار کمبود آب، بیش از حد جریان و اضافه ولتاژ، مدار باز و سایر شرایط غیرعادی پمپ ها، اهداف و غیره و اجرای اقدامات حفاظتی مربوطه و عملکرد اینترلاک الکتریکی | ||||||||||
| منطقه تجهیزات | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5 متر * L6 متر | W5m*L7m | ||||||
| سایر پارامترهای فنی | فشار آب ≥0.2MPa، دمای آب ≤25°C، فشار هوا 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| ملاحظات | پیکربندی خاص تجهیزات پوشش را می توان با توجه به نیازهای فرآیند محصولات پوشش طراحی کرد | ||||||||||
فایل های سرامیکی نمونه پوشش PVD
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.
