R&D Multiple - توابع تجهیزات پوششی خلاء MF / DC کاتدی های پراکنده ، با دستگاه منبع خطی یون
۱ عدد
MOQ
negotiable
قیمت
R & D Multiple - Functions Vacuum Coating Equipment MF / DC Sputtering Cathodes, with Linear Ion source device
امکانات گالری توضیحات محصول درخواست نقل قول
امکانات
اطلاعات اولیه
محل منبع: ساخته شده در چین
نام تجاری: ROYAL
گواهی: ISO, CE, UL standard
شماره مدل: RTAS950
برجسته:

,

,

vacuum deposition equipment

پرداخت
جزئیات بسته بندی: استاندارد صادراتی که در موارد جدید / کارتن بسته بندی می شود، مناسب برای حمل و نقل اقیانوس / هوا و حم
زمان تحویل: 8 تا 12 هفته
شرایط پرداخت: اعتبارات اسنادی، D/A، D/P T/T
قابلیت ارائه: مجموعه 10 در هر ماه
مشخصات
منابع سپرده گذاری: Mut / sputtering MF / DC کاتدهای کد
فیلم های سپرده گذاری: پوشش های سخت ، DLC ، پوشش فیلم نوری ، روکش های تزئینی
برنامه های کاربردی: فرآیند PECVD ، فیلم DLC ، فیلم الماس مانند کربن ، فیلم نوری Sputtering ،
ویژگی های فیلم: بازتاب بالا ، خوردگی عالی و مقاومت در برابر لباس
رنگ پوشش: رنگ مشکی و رز طلای ، رنگ آبی
ساختار تجهیزات: ساختار 2 درب جلو و عقب
محل کارخانه: شهر شانگهای، چین
محل کارخانه: شهر شانگهای، چین
محل کارخانه: شهر شانگهای، چین
خدمات در سراسر جهان: Poland - Europe; لهستان - اروپا؛ Iran- West Asia & Middle East, Turkey, India,
خدمات آموزشی: عملیات ماشین، تعمیر و نگهداری، فرآیند پوشش دستور العمل ها، برنامه
ضمانتنامه: گارانتی محدود 1 سال به صورت رایگان، تمام عمر برای دستگاه
OEM و ODM: در دسترس است، ما از طراحی و ساخت سفارشی پشتیبانی می کنیم
OEM و ODM: در دسترس است، ما از طراحی و ساخت سفارشی پشتیبانی می کنیم
توضیحات محصول

تحقیق و توسعه چندگانه توابع تجهیزات پوشش مکانیکی MF / DC کاتالیست های اسپری

تحقیقات و توسعه چند منظوره تجهیزات پوشش خلاء

کليدواژگان: پوشش هاي PVD سخت، فرآيند PECVD، فيلم DLC، فيلم الماس مانند كربن، فيلتر نوری اسپكتروم، ژنوتيپ Magnetron Sputtering Cathode، Ion Source، PA PVD

ویژگی های طراحی RTAC950-SP:

  • انعطاف پذیری: منابع قوس و اشباع، اتصالات یون منبع خطی نصب فلنج برای تبادل انعطاف پذیر استاندارد شده است
  • چند منظوره: در دسترس برای انواع سپرده از فلزات و آلیاژهای پایه، پوشش های نوری و پوشش های سخت، پوشش های نرم. فیلم های ترکیبی و فیلم های روانکاری جامد بر روی مواد فلزی و مواد غیر فلزی
  • طراحی رو به جلو: ساختار دو درب، جلو و عقب برای تعمیر و نگهداری آسان.

مشخصات فنی

  • کارایی

1. خلاء نهایی: بهتر از 8.0 * 10-4 Pa؛

  • پایه فشار خلاء: 3.0 * 10 - 2 Pa

3. پمپاژ زمان: از atm به 1.0 × 10-3 Pa≤15 دقیقه (درجه حرارت اتاق، خشک، تمیز و خالی محفظه)

4. منبع رسوب: کاتد اسپکترومغناطیسی مگنترون جنتو، کاتد کمان هدایت شده، منبع یون

5. مدل عامل: تمام اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی

6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 500 ℃،

9. منبع یون برای فرایند PECVD و PA PVD.

  • ساختار

ماشین آلات بسته بندی خلاء شامل کلید کامل سیستم ذکر شده در زیر است:

1. اتاق خلاء
1.1 ابعاد: عمق داخلی 950 میلی متر

ارتفاع داخلی: 1350 میلی متر

1.2 ماده: اتاق خلاء SUS304

درب و فلنج SUS304

اتاق تقویت ساختار: SS41 فولاد ملایم، با رنگ پایان درمان سطح.

شاسی SS41 فولاد خفیف با رنگ آمیزی سطوح درمان.

1.3 اتاق محافظ: SUS304

1.4 نمایش پنجره: در درب های محفظه -2

1.5 لوله سوپاپ خلاء (از جمله صدا خفه کن)

1.6 درب: 2 مجموعه، جلو و عقب، مواد SUS304

2. سیستم پمپ خلاء جوش:
پمپ خلاء پره ای روغن + نگهدارنده پمپ

3. سیستم پمپ خلاء بالا:

پمپ مولکولی توربو - 2 مجموعه

4. کنترل و کنترل سیستم الکتریکی PLC + سیستم ScreenOperation لمسی:

تهیه کنندگان:

PLC: میتسوبیشی، مدل: FX-IN60MR-001 SERIES

قطعات الکترونیکی: SCHNEIDER، OMRON.

سیستم ایمنی حفاظت: شمارنده ایمنی متعدد برای حفاظت از اپراتورها و تجهیزات (آب، گاز فعلی، درجه حرارت و غیره)

سیستم های فرآیند پوشش : سیستم اتوماسیون و کنترل فرآیند. به طور خودکار در حافظه به مدت 3 ماه ذخیره شده است. داده های دستورالعمل های ویژه: عملیات هدف فعلی / ولتاژ، جریان جرم، فشار خلاء، درجه حرارت، زمان پوشش برای تجزیه و تحلیل برای بهبود کیفیت پوشش ذخیره می شود.

4.1 مدار اصلی: هیچ سوئیچ سوئیچ سوئیچ، سوئیچ الکترومغناطیسی، C / T در سری نوع

4.2 منبع تغذیه: قدرت تفکیک MF + DC قدرت قوس + اختلال منبع تغذیه

4.3 سیستم کنترل رسوب

4.4 سیستم عامل: صفحه لمسی + PLC، کنترل دستورالعمل و ثبت اطلاعات، خاموش شدن اتوماتیک، تخلیه اتوماتیک، پوشش اتوماتیک

4.5 سیستم اندازه گیری

فشار خلاء: خلاء سنج: Pirani + Penning سنج + کامل محدوده خلاء سنج - نام تجاری اروپا

دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل جریان جرم (4 راه)،

4.6 سیستم هشدار: فشار هوا فشرده، جریان آب خنک کننده، عملیات غیرمستقیم

4.7 شاخص قدرت بار: شاخص ولتاژ و نشانگر جریان بار

5 سیستم رسوب

5.1 منبع رسوب: کاتیدهای اسپری + منابع قوس + منبع یون

5.2 رسوب مواد: ITO، تیتانیوم، کروم، آلومینیوم، فولاد ضد زنگ، TiAl و غیره

6. زیر سیستم

6.1 سیستم کنترل فشرده هوای فشرده

6.2 سیستم خنک کننده آب: لوله جریان آب و سوپاپ سیستم

7. محیط کاری

فشرده هوا: 5 ~ 8kg / cm2

آب خنک کننده: آب در دمای: 20 ~ 25 ℃، 200 لیتر / دقیقه،
فشار آب: 2 ~ 3 کیلوگرم / cm2

قدرت: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz)، 130kVA، متوسط ​​مصرف برق: 60KW

منطقه نصب: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

اگزوز: دریچه ای برای پمپ های مکانیکی

برنامه های کاربردی

لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار دارد که به شما راه حل های پوشش کامل ارائه دهد.

با ما در تماس باشید
فکس : 86-21-67740022
حرف باقی مانده است(20/3000)