قطعات آلومینیومی دستگاه آبکاری مس PVD Plate Plating Plating Coping oncnc قطعات فرز آلومینیومی
واژه‌های کلیدی: محصولات آلومینیومی با روکش مستقیم ، فرایند PECVD ، فیلم DLC ، فیلم الماس مانند کربن ، فیلم نوری Sputtering ، کاتولوگ اسپلیت گنکوآ مگنترون ، منبع یون ، PA PVD
ویژگی های طراحی RTAC950-SP:
مشخصات فنی
1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 8.0 * 10 - 4 Pa؛
3. زمان پمپاژ: از اتمسفر تا 1.0 × 10 - 3 دقیقه 15-15 (دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)
4- منبع انباشت: کاتد های لکه دار گنکوآ مگنترون ، کاتدهای قوس دار ، منبع یون
5. مدل عملیاتی: کامل به صورت خودکار / نیمه خودکار / دستی
6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 500 ℃ ،
9. منبع یون برای فرآیند PECVD و PA PVD.
دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلید است که در زیر ذکر شده است:
1. اتاق خلاء
1.1 اندازه: عمق داخلی 950 میلی متر
ارتفاع داخلی: 1350 میلی متر
1.2 مواد: اتاق خلاء SUS304
درب و فلنج SUS304
ساختار تقویت اتاق: فولاد خفیف SS41 ، با سطح تصفیه سطح رنگی.
شاسی اتاقک فولاد خفیف SS41 با سطح تصفیه سطح رنگی.
1.3 سپر اتاق: SUS304
1.4 نمایش پنجره: روی درهای اتاق -2
1.5 دریچه تهویه اتاق خلاء (از جمله صدا خفه کن)
1.6 درب: 2 مجموعه ، جلو و عقب ، مواد SUS304
2. سیستم پمپاژ خلاء خشن:
پمپ خلاء وان چرخشی روغن + پمپ نگهدارنده
3. سیستم پمپاژ خلاء بالا:
پمپ مولکولی توربو - 2 مجموعه
4. سیستم کنترل و عملکرد الکتریکی- PLC + سیستم لمسی ScreenOperation:
تهیه کنندگان:
PLC: میتسوبیشی ، مدل: سریال FX-IN60MR-001
قطعات الکترونیکی: SCHNEIDER ، OMRON.
سیستم محافظت از ایمنی: برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات (آب ، گاز فعلی ، دما و غیره) با هم قفل ایمنی بیشماری
سیستم فرآیندهای پوشش : اتوماسیون فرآیند و کنترل. به طور خودکار به مدت 3 ماه در حافظه ذخیره می شود. داده های دستور العمل های پوشش برجسته: جریان / ولتاژ عملکرد هدف ، جریان جرم ، فشار خلا ، دما ، زمان پوشش برای تجزیه و تحلیل برای افزایش کیفیت پوشش ذخیره می شود.
4.1 مدار اصلی: سوئیچ شکن بدون فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T در نوع سری
4.2 منبع تغذیه: منبع تغذیه MF + توان DC Arc + منبع تغذیه Bias
4.3 سیستم کنترل رسوب
سیستم عامل 4.4: صفحه لمسی + PLC ، کنترل دستور العمل و ورود به سیستم داده ها ، خاموش کردن خودکار ، تخلیه خودکار ، پوشش خودکار
4.5 سیستم اندازه گیری
فشار خلا: سنج خلا: پیرانی + سنج سنج + خلاء سنج کامل - برند اروپا
دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل کننده جریان گسترده (4 روش) ،
4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد اشتباه
4.7 شاخص بار توان: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار
5 سیستم انباشت
5.1 منبع انباشت: کاتدهای پراکنده + منابع قوس + منبع یون
5.2 مواد انباشت: ITO ، تیتانیوم ، کروم ، آلومینیوم ، فولاد ضد زنگ ، TiAl و غیره
6. زیر سیستم
6.1 سیستم کنترل فشار دریچه هوا
6.2 سیستم آب خنک کننده: سیستم لوله انتقال آب و شیر سوئیچ
7. محیط کار
هوای فشرده: 8 g 5kg / cm2
آب خنک کننده: دمای دمای آب: 25 20 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار در آب: 3 2 2 kg / cm2 ،
توان: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 130kVA ، متوسط مصرف برق: 60KW
محل نصب: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
اگزوز: برای پمپ های مکانیکی بخاری
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، رویال فناوری مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.
