| محفظه - اتاق | جهت عمودی، 1 در |
|---|---|
| مواد | فولاد ضد زنگ 316 |
| فناوری خلاء | پوشش سخت PVD، پوشش CrN، آبکاری pvd، تبخیر قوس کاتدی |
| منابع رسوب گذاری | منابع قوس |
| فیلم های پوششی | Cr، CrN، CrC و غیره. آبکاری فیلم فلزی، نیترید تیتانیوم، کاربید تیتانیوم، نیترید زیرکونیوم، نیترید کر |
