پیام فرستادن

رسوب خلاء اسپکترومیک

December 11, 2017

آخرین اخبار شرکت رسوب خلاء اسپکترومیک

واکنش اسپکتروم خلاء چیست؟

1. رسوب پاشش، رسوب ذرات تبخیر شده از یک سطح است، که به وسیله فرایند فیزیکی فشرده "هدف تفکیک کننده" نامیده می شود.
2. فشرده سازی فیزیکی یک فرایند تبخیر غیرطبیعی است که در آن اتم های سطحی از لحاظ فیزیکی از طریق یک مولکول بمباران پر انرژی، که معمولا یک یون گاز از یک پلاسما شتاب می گیرند، از طریق جابجایی انتقال می یابند.
3. رسوب اسپری را می توان در خلاء یا گاز کم فشار (<5 متر Torr) که در آن ذرات پراکنده از برخورد فاز گاز در فضای بین هدف و بستر و یا فشار گاز بالاتر (5- 30 m Torr) که در آن ذرات پر انرژی از ذرات پرتاب شده، از طریق برخورد فاز گاز "حرارت داده شده"، قبل از رسیدن به سطح سوبسترا، "حرارت" می شوند.

مزایای رسوب آبیاری

1. عناصر، آلیاژها و ترکیبات می توانند پر شده و سپرده شوند.

2. هدف اسپری، یک منبع تبخیر پایدار و طولانی مدت را فراهم می کند.

3. در برخی از پیکربندی ها، هدف sputtering یک منبع تبخیری منطقه ای بزرگ را فراهم می کند که می تواند هر شکل باشد.

4. در برخی از پیکربندیها منبع اسپری میتواند شکل مشخصی مانند یک خط یا بخش مخروط باشد.

5. در برخی از تنظیمات رسوب واکنش را می توان به راحتی با استفاده از گونه های گازی واکنشی که "فعال" در یک پلاسما (یعنی "رسوب اسپری واکنشی")

معایب انباشت اسپری

1. میزان اسپری شدن نسبت به آنهایی است که می توان در تبخیر حرارتی به دست آورد.

خواص فیلم وابسته به "زاویه بروز" شار از مواد رسوب و در فشار کم مقدار بمباران از نوترونی انرژی بالا منعکس شده از هدف sputtering.

3. در بسیاری از پیکربندی ها، توزیع جریان رسوب غیر یکنواخت است و نیاز به فیکسچر شدن دارد تا موقعیت زیر را به طور تصادفی انتخاب کند تا فیلم های ضخامت و خواص یکنواخت به دست آید.

4. اهداف آبشاری اغلب گران هستند و استفاده از مواد ممکن است ضعیف باشد.

5. در برخی از تنظیمات، آلودگی گازها به راحتی از سیستم حذف نمی شود و آلودگی های گازا در پلاسما فعال می شوند، بنابراین آلودگی فیلم ها بیشتر از یک مشکل در برابر تبخیر خلاء است.

6. در برخی از تنظیمات تابش و بمباران از هدف پلاسما یا اسپری شدن می تواند زیربست را کاهش دهد.

7. رسوبات اسپری به طور گسترده ای برای رسوب فلز شدن ورقه نازک روی مواد نیمه هادی، پوشش روی شیشه های معماری، پوشش های بازتابنده روی دیسک های فشرده، فیلم های مغناطیسی، روان کننده های فیلم خشک و پوشش های تزئینی استفاده می شود.

روشهای اسپری کردن

DC Sputtering / MFSputtering

توازن اسپکتروم / اسپکتروم نامتعادل

سیستم پوشش ضدآب

پوشش دهنده های دسته ای و سیستم پوشش لکه ای درون خط برای Low E، ITO پوشش های فیلم بر روی شیشه، PET و غیره

با ما در تماس باشید
تماس با شخص : Ms. ZHOU XIN
فکس : 86-21-67740022
حرف باقی مانده است(20/3000)