طلا، نقره و مس ماشین پاشی PVD سرامیکی

تجهیزات سپتینگ طلا Au Gold Sputtering Deposition Equipment، ماشین سپتینگ PVD Silver/Gold، سیستم اسپتینگ PVD فیلم رسانا 

خلاصه:فرآیند DPC- Direct Plating Copper یک فناوری پوشش پیشرفته است که در صنایع LED / نیمه هادی / الکترونیکی استفاده می شود.رسوب فیلم رسانای کوپر بر روی اکسید آلومینیوم (Al2O3)، زیربناهای AlN با تکنولوژی اسپتر کردن خلاء PVD، در مقایسه با تولید سنتی

روش ها: DBC LTCC HTCC، هزینه تولید بسیار پایین تر ویژگی بالایی است.

تیم تکنولوژی سلطنتی به مشتری ما کمک کرد تا فرآیند DPC را با موفقیت با تکنولوژی PVD توسعه دهد.

کلمات کلیدی:قطعات مهر و موم سرامیکی، فرآیند DPC، سیستم اسپوتینگ PVD مس، تراشه های سرامیکی LED با پوشش کوپر، Al₂اوه₃, AlN مدار سرامیکی, Al2O3 صفحه بر روی LED, نیمه هادی

برنامه های کاربردیDPC:

· HBLED

· زیربناهای سلول های متمرکز خورشیدی

· بسته بندی نیمه هادی قدرت شامل کنترل موتور خودرو

· الکترونیک مدیریت انرژی خودروهای هیبریدی و الکتریکی

· بسته های RF

· دستگاه های مایکروویو

عملکرد تکنولوژی DPC

مواد مختلف زیربنایی: سرامیک (Al3O2، AlN) ، شیشه و Si

• هزینه تولید خیلی پایین تر.
• عملکرد فوق العاده مدیریت حرارتی و انتقال گرما
• تراز دقیق و طراحی الگوی
• چسبندگی متالیزاسیون قوی

ویژگی ها:

• تولید بالا تا 2.2 m2 زیربنای سرامیکی در هر چرخه؛
• چسبندگی قوی با دستگاه گرم کننده قدرتمند و تمیز کردن منبع پلاسما
• طراحی جمع و جور و دسترسی آسان برای ارتقاء و تعمیرات.
• کاملاً اتوماتيك، PLC + صفحه لمسي، سيستم کنترل يک لمسي.
• بهره وری بالا با مصرف انرژی کمتر، حداکثر 50٪ صرفه جویی در هزینه های تولید.

مشخصات فنی

• عملکرد

1فشار خلاء نهایی: بهتر از 9.0*10^-5پدر

• فشار خلاء پایه: 3.0*10^-2بابا

3. پمپ کردن زمان: از atm به 1.0×10^-3Pa≤15 دقیقه (در دمای اتاق، اتاق خشک، تمیز و خالی)

4منبع رسوب: کاتود های اسپتر کردن ماگنترون Gencoa، کاتود های قوس هدایت شده، منبع یون

5مدل کار: کامل اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی

6گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر 500 درجه سانتیگراد

9منبع یون برای فرآیند PECVD و PA PVD

• ساختار

دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم کلیدی تکمیل شده است که در زیر ذکر شده است:

1اتاق خلاء

1.1 اندازه: قطر داخلی: 1200mm

ارتفاع داخلی: 1500mm

1.2 ماده: اتاق خلاء SUS304

درب و فلنج SUS304

ساختار تقویت اتاق: فولاد نرم SS41، با درمان سطحی نقاشی شده.

شاسی اتاق SS41 فولاد نرم با درمان سطحی رنگ آمیزی.

1.3 محافظ اتاق: SUS304

1.4 منظره پنجره: 2 در

1.5 دریچه تهویه اتاق خلاء (از جمله خاموش کننده)

1.6 درب: مواد SUS304

2. روگنگسیستم پمپاژ خلاء:

پمپ خلاء زیتون چرخدار + پمپ نگهدارنده
 

3. سیستم پمپاژ با خلاء بالا: پمپ مولکولی معلق مغناطیسی - 2 مجموعه

4سیستم کنترل و عملیات الکتریکی- PLC + سیستم عملکرد صفحه لمسی:

تامین کنندگان:

PLC: Mitsubishi + صفحه لمسی (تولید شده در چین)

قطعات الکترونيکي:

سیستم حفاظت از ایمنی:تعداد زیادی از قفل های ایمنی برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات (آب، گاز جریان، دمای و غیره)

سیستم فرایندهای پوشش: اتوماسیون فرآیند و کنترل.

4.1 مدار اصلی: سوئیچ قطع کننده بدون فیوز، سوئیچ الکترومغناطیسی، C/T در نوع سری

4.2 منبع برق: قدرت SPUTTER DC/MF + قدرت DC Arc + منبع برق Bias

4.3 سیستم کنترل رسوب

4.4 سیستم عملیاتی: صفحه لمسی + PLC، کنترل دستور العمل و ثبت اطلاعات، خاموش شدن خودکار، تخلیه خودکار، پوشش خودکار

4.5 سیستم اندازه گیری

فشار خلاء: اندازه گیری خلاء: پیرانی + اندازه گیری Penning + اندازه گیری خلاء طیف کامل - مارک اروپا

دستگاه اندازه گیری دما: ترموپول
MFC: کنترل کننده جریان جرم (۴ راه)

4.6 سیستم هشدار: فشار هوا فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد نادرست

4.7 شاخص بار قدرت: شاخص ولتاژ و شاخص جریان بار

5. سیستم سپرده گذاری

5.1 منبع رسوب: کاتود های اسپتر + منابع قوس + منبع یون

5.2 مواد رسوب کننده: مس، آلومینیوم، کروم، نقره، طلا، SS، تیتانیوم و غیره
 

6.زیرسیستم

6.1 سیستم کنترل شیر فشار هوا

6.2 سیستم آب خنک کننده: لوله جریان آب و سیستم شیر سوئیچ

7محیط کار

هوا فشرده: 5 ~ 8kg / cm2

آب خنک کننده: دمای آب: 20 تا 25 درجه سانتیگراد، 200 لیتر/ دقیقه
فشار آب: 2 تا 3 کیلوگرم در سانتی متر

قدرت: 3 فاز 380V 50Hz ((60Hz) ، 130kVA، متوسط مصرف برق: 60KW

منطقه نصب: (L*W*H) 4400*3200*2950mm

خروجی: تهویه مطبوع پمپ های مکانیکی

لطفا برای اطلاعات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار می کند که راه حل های پوشش کامل را برای شما فراهم کند.