|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RT1000-Ta |
| مقدار تولیدی: | 1 مجموعه |
| قیمت: | قابل مذاکره |
| شرایط پرداخت: | L/C، T/T |
| توانایی عرضه: | 5 ست در ماه |
Sputtering مغناطیس به طور گسترده ای برای سپرده گذاری فلزات آتش شکن مانند تانتالوم، تیتانیوم، وولفستم استفاده می شود,نیوبیوم که نیاز به دمای بسیار بالا برای رسوب دارد، و فلزات گرانبها: طلا و نقره و همچنین برای سپرده گذاری فلزات با نقطه ذوب پایین مانند مس ، آلومینیوم ، نیکل ، کروم و غیره استفاده می شود.
تانتالوم بیشتر در الکترونیک استفاده می شودصنعتبه عنوان یک پوشش محافظ به دلیل مقاومت خوب در برابر فرسایش.
کاربردهای فیلم نازک تانتالوم اسپتر شده:
1صنعت میکروالکترونیک به عنوان فیلم می تواند به صورت واکنش sputtered و در نتیجه مقاومت و ضریب دمای مقاومت می تواند کنترل شود؛
مزیت های فنی
سیستم استاندارد تاندالوم اسپوترینگ رویال تکنولوژی:
| تنظیمات اصلی | |
| مدل | RT۱۰۰۰-تا |
| تکنولوژی |
اسپتر کردن ماگنترون DC پالس شده پوشش قوس کاتدیک (برای گزینه، با روش پوشش مشخص شده) |
| مواد اتاق | فولاد ضد زنگ (S304) |
| اندازه اتاق | Φ1000*1000mm (H) |
| نوع اتاق | شکل D، اتاق استوانه ای |
| راک چرخش و سیستم JIG | سیستم هدایت ماهواره ای یا سیستم هدایت مرکزی |
| منبع برق |
منبع برق اسپوتینگ DC: 2 ~ 4 مجموعه منبع یون: 1 مجموعه |
| مواد سپرده گذاری | Ta، Ti/Cr/TiAl، Au، Ag، Cu و غیره |
| منبع سپرده گذاری | کاتود های اسپوتینگ مسطح + کاتود های قوس دایره ای |
| کنترل | PLC ((کنترلر منطق قابل برنامه ریزی) + IPC (مدل های کار دستی + اتوماتیک + نیمه اتوماتیک) |
| سیستم پمپ | پمپ فان روتاری: SV300B 1 مجموعه (Leybold) |
| پمپ ریشه: WAU1001 1 مجموعه (Leybold) | |
| پمپ نگهدارنده: D60C 1 مجموعه (Leybold) | |
| پمپ مولکولی معلق مغناطیسی: MAG2200 2 sest (Leybold) |
|
| کنترل کننده جریان جرم گاز | 2 کانال: Ar و N2 |
| اندازه گیری خلاء | Inficon یا Leybold |
| سیستم ایمنی | تعداد زیادی از قفل های ایمنی برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات |
| گرمایش | بخاری: 20KW حداکثر دمای: 450°C |
| خنک کننده | کولر صنعتی (آب سرد) |
| "پاور مکس". | 100KW (تقریبا.) |
| مصرف متوسط برق | 45 KW (تقریباً) |
| وزن ناخالص | T (تقریباً) |
| اثر پا | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| برق |
خط AC 380V/3 فاز/50HZ / 5 |
داخل سایت:
زمان ساخت: 2018
مکان: چین
لطفا برای درخواست ها و مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید.
