PVD نازک سیستم رسوب سیستم اسپری و تبخیر حرارتی تجهیزات پوشش
سیستم رسوب پلاستیک نازک PVD، تجهیزات اسپکترومیک و تجهیزات پوشش خلاء تبخیری حرارتی
سیستم رسوب نازک PVD شامل منابع رسوب شده از منبع تبخیر رشته تنگستن و منابع اسپات مگنترون DC (کاتدهای RF sputtering برای گزینه). این تجهیزات عمدتا برای تهیه فیلم های نازک روی قطعات پلاستیکی، شیشه ای، فلزی یا فویل با مواد رسوب مانند: فلز خالص Al، Cr، Cu، Ag، Au، Ti و غیره به طور کلی برای به دست آوردن فیلم های نازک بازتابنده بر روی محصولات سطوح و یا فیلم های هدایت شده، و یا تصویر چشم انداز فلزی. به جز این که منابع اشباع شده طیف وسیعی از مواد نیمه هادی و دی الکتریک را شامل اکسید های رسانای شفاف و غیره را با هم تلفیق می کنند.
تنظیمات سیستم رسوب پلاستیک PVD:
کارایی
1. خلاء نهایی: بهتر از 5.0 × 10 -6 Torr.
2. فشار خلاء عامل: 1.0 × 10 -4 Torr.
3. پمپاژ زمان از 1 اتم به 1.0 × 10 -4 Torr≤3 دقیقه (درجه حرارت اتاق، خشک، تمیز و خالی محفظه)
4. مواد فلزی سازی (تبخیر): آل، Cr، Sn، Ti، SS، Cu ... و غیره
5. مدل عامل: تمام اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی
ساختار
ماشین آلات بسته بندی خلاء شامل کلید کامل سیستم ذکر شده در زیر است:
1. اتاق خلاء
1.1 ابعاد: قطر داخلی 1600 میلی متر
ارتفاع داخلی 1600 میلیمتر
1.2 ماده: اتاق خلاء SUS304 (SS41 فولاد ملایم برای گزینه)
درب و فلنج SUS304 (SS41 فولاد ملایم برای گزینه)
اتاق تقویت ساختار: SS41 فولاد ملایم، با رنگ پایان درمان سطح.
شاسی SS41 فولاد خفیف با رنگ آمیزی سطوح درمان.
1.3 سپر: SUS304
1.4 نمایش پنجره: در درب محفظه
1.5 دریچه خروجی خلاء، از جمله ژنراتور
1.6 درب مواد SUS304
2. سیستم پمپ خلاء
3. سیستم پمپ خلاء بالا
4. سیستم کنترل و کنترل برق - PLC + صفحه لمسی
4.1 مدار اصلی: هیچ سوئیچ سوئیچ سوئیچ، سوئیچ الکترومغناطیسی، C / T در سری نوع
4.2 قدرت تخلیه: 35 کیلو وات
4.3 سیستم کنترل تبخیر
4.4 سیستم عامل: صفحه لمسی + PLC، کنترل دستورالعمل و ثبت اطلاعات، خاموش شدن اتوماتیک، تخلیه اتوماتیک، پوشش اتوماتیک
4.5 سیستم اندازه گیری فشار خلاء
خلاء سنج: Pirani + Penning سنج
اندازه ترموکوپل: 760 توره ~ 5 * 10 -4 تور
4.6 سیستم هشدار: فشار هوا فشرده، جریان آب خنک کننده، عملیات غیرمستقیم
4.7 شاخص قدرت بار: شاخص ولتاژ و نشانگر جریان بار
5. سیستم رسوب
5.1 منبع تبخیر رشته تنگستن
5.2 مواد تبخیری حرارتی: سیم، حلقه، میله ها و غیره
5.3 منابع خام (DC / MF power driven)
6. زیر سیستم
6.1 سیستم کنترل فشرده هوای فشرده
6.2 سیستم خنک کننده آب - لوله جریان آب و شیر سوپاپ سیستم
در مورد دستگاه و برنامه های موجود بیشتر بدانید، لطفا با ما تماس بگیرید.