PVD نازک سیستم انعقاد فیلم فیلم Sputtering و Heap Heapapapating Vacuum Covering PVD

PVD نازک سیستم رسوب سیستم اسپری و تبخیر حرارتی تجهیزات پوشش

سیستم رسوب پلاستیک نازک PVD، تجهیزات اسپکترومیک و تجهیزات پوشش خلاء تبخیری حرارتی

سیستم رسوب نازک PVD شامل منابع رسوب شده از منبع تبخیر رشته تنگستن و منابع اسپات مگنترون DC (کاتدهای RF sputtering برای گزینه). این تجهیزات عمدتا برای تهیه فیلم های نازک روی قطعات پلاستیکی، شیشه ای، فلزی یا فویل با مواد رسوب مانند: فلز خالص Al، Cr، Cu، Ag، Au، Ti و غیره به طور کلی برای به دست آوردن فیلم های نازک بازتابنده بر روی محصولات سطوح و یا فیلم های هدایت شده، و یا تصویر چشم انداز فلزی. به جز این که منابع اشباع شده طیف وسیعی از مواد نیمه هادی و دی الکتریک را شامل اکسید های رسانای شفاف و غیره را با هم تلفیق می کنند.

تنظیمات سیستم رسوب پلاستیک PVD:

کارایی

1. خلاء نهایی: بهتر از 5.0 × 10 ^-6 Torr.

2. فشار خلاء عامل: 1.0 × 10 ^-4 Torr.

3. پمپاژ زمان از 1 اتم به 1.0 × 10 ^-4 Torr≤3 دقیقه (درجه حرارت اتاق، خشک، تمیز و خالی محفظه)

4. مواد فلزی سازی (تبخیر): آل، Cr، Sn، Ti، SS، Cu ... و غیره

5. مدل عامل: تمام اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی

ساختار

ماشین آلات بسته بندی خلاء شامل کلید کامل سیستم ذکر شده در زیر است:

1. اتاق خلاء
1.1 ابعاد: قطر داخلی 1600 میلی متر

ارتفاع داخلی 1600 میلیمتر

1.2 ماده: اتاق خلاء SUS304 (SS41 فولاد ملایم برای گزینه)

درب و فلنج SUS304 (SS41 فولاد ملایم برای گزینه)

اتاق تقویت ساختار: SS41 فولاد ملایم، با رنگ پایان درمان سطح.

شاسی SS41 فولاد خفیف با رنگ آمیزی سطوح درمان.

1.3 سپر: SUS304

  1.4 نمایش پنجره: در درب محفظه

1.5 دریچه خروجی خلاء، از جمله ژنراتور

1.6 درب مواد SUS304

2. سیستم پمپ خلاء

3. سیستم پمپ خلاء بالا

4. سیستم کنترل و کنترل برق - PLC + صفحه لمسی

4.1 مدار اصلی: هیچ سوئیچ سوئیچ سوئیچ، سوئیچ الکترومغناطیسی، C / T در سری نوع

4.2 قدرت تخلیه: 35 کیلو وات

4.3 سیستم کنترل تبخیر

4.4 سیستم عامل: صفحه لمسی + PLC، کنترل دستورالعمل و ثبت اطلاعات، خاموش شدن اتوماتیک، تخلیه اتوماتیک، پوشش اتوماتیک

4.5 سیستم اندازه گیری فشار خلاء

خلاء سنج: Pirani + Penning سنج

اندازه ترموکوپل: 760 توره ~ 5 * 10 ^-4 تور

4.6 سیستم هشدار: فشار هوا فشرده، جریان آب خنک کننده، عملیات غیرمستقیم

4.7 شاخص قدرت بار: شاخص ولتاژ و نشانگر جریان بار

5. سیستم رسوب

5.1 منبع تبخیر رشته تنگستن

5.2 مواد تبخیری حرارتی: سیم، حلقه، میله ها و غیره

5.3 منابع خام (DC / MF power driven)

6. زیر سیستم

6.1 سیستم کنترل فشرده هوای فشرده

6.2 سیستم خنک کننده آب - لوله جریان آب و شیر سوپاپ سیستم

در مورد دستگاه و برنامه های موجود بیشتر بدانید، لطفا با ما تماس بگیرید.