دستگاه پوششی خلاء PVD / دستگاه پوششی مایع مغناطیسی ، دستگاه روکش PVP متالورژی
این دستگاه با سیستم پوشش خلاء تولید صنعتی مناسب است . این یک منبع تبخیر یونی ساده قوس با اندازه بزرگ را مجهز کرده و می تواند با استفاده از فناوری تبخیر قوس مانند TiN ، TiCN ، AlTiN و انواع فیلم ویژه دیگر با توجه به نیاز مشتری ، فیلم فلزی سخت با کارایی بالا را در خود جای دهد.
پوشش DLC (کربن شبیه الماس) ترکیبی از الماس (SP3) و گرافیت (SP2) است. خصوصیات فیزیکی و شیمیایی DLC واسطه ای از الماس و گرافیت است
مشخصات فنی
| مدل | RTAS1000 | |||||||
| فن آوری | آبکاری قوس + پاشیدن مگنترون + منبع یون | |||||||
| ماده اتاق | فولاد ضد زنگ (S304) | |||||||
| اندازه اتاق | Φ1000 * 1000mm (H) | |||||||
| نوع اتاق | اتاق هشت ضلعی معمولی ، دو درب | |||||||
| ROTATION RACK & JIG SYSTEM | ماهواره 6 (8) ، حداکثر. وزن: 400 کیلوگرم | |||||||
| منابع تغذیه | کمیت از Sputtering: 2 * 24 KW Bias Supply of Power: 1 * 24W AE منبع تغذیه برای گزینه منبع تغذیه یون منبع تغذیه 2 مجموعه ، منبع تغذیه AE برای گزینه | |||||||
| ماده نمایشی | Ti ، Zr ، TiAl ، مس ، طلا | |||||||
| منبع تقسیم | 2 جفت (4 قطعه) کاتدی اسپوتینگ + 6 قوس سطح پوشش: Dia800mm * H550mm؛ | |||||||
| کنترل | PLC (کنترل کننده منطق قابل برنامه ریزی) + صفحه لمسی (دستی + خودکار + مدل های عملکرد نیمه خودکار) | |||||||
| سیستم PUMP | پمپ روتاری Vane: SV300B - 1 مجموعه (Leybold) | |||||||
| پمپ ریشه: WAU1001 - 1 مجموعه (Leybold) | ||||||||
| پمپ نگهدارنده: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| پمپ مولکولی تعلیق روتور مغناطیسی: MAG2200 - 2 مجموعه (Leybold) | ||||||||
| کنترل جریان گاز GAS MASS | 3 کانال ، ساخته شده در آمریکا (مارک MKS) | |||||||
| اندازه گیری خلأ | مدل: ZDF-X-LE، ساخت کشور چین | |||||||
| منبع یون خطی | 2 قطعه قبل از درمان ، تمیز کردن پلاسما + رسوب کمکی | |||||||
| سیستم ایمنی | برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات ، ایمنی بیشماری به هم وصل شده است | |||||||
| گرم کردن | بخاری ها: 20KW. حداکثر دما: 400 | |||||||
| آشپزی | چیلر صنعتی (آب سرد) | |||||||
| POWER MAX. | 100 کیلو وات (تقریباً) | |||||||
| مصرف برق نیرو | 45 کیلو وات (تقریباً) | |||||||
| وزن ناخالص | T (تقریباً) | |||||||
| چاپ FOOT | (L * W * H) 4000 * 4000 * 4000 MM | |||||||
| برق برق | AC 380V / 3 مرحله / 50HZ | |||||||
