آزمایشگاه نازک فیلم مگنترون اسپری پوشش ماشین / سیستم پخش پوشش اسپری نازک قابل حمل

تکنولوژی سلطنتی طراحی و ارائه انواع سیستم های پوشش فوق العاده باکیفیت برای آموزش کالج و تحقیق و توسعه علمی، برای مطالعه فیلم های مختلف فیلم های مختلف، تولید نوآورانه های نوآورانه نانو را با صنایع تجاری ما اعمال می کند. مشتریان ما مانند: دانشگاه شانگهای چین، دانشگاه ماچستر انگلستان، دانشگاه علمی پکن، نیمه هادی، سلول خورشیدی، سلول سوختی، سازمان های علمی، تحقیقات هوافضا و بخش فیزیک انرژی بالا و غیره

دستگاه پوشش پاشش مگنترون اسپکتروفتوماتیک آزمایشگاهی: DC، MF، RF کاتد های اسپری برای تحقیق و توسعه، می تواند یک لایه، فیلم دی الکتریک، فیلم ترکیبی، نیمه هادی، چند لایه، فیلم کامپوزیتی و فیلم های دی الکتریک و غیره را دریافت کند

آزمایشگاه نازک فیلم مگنترون اسپری پوشش ماشین عملکرد فنی:

1 خلاء نهایی: بهتر از 5.0 × 10-6 Torr.

2. فشار خلاء عامل: 1.0 × 10-4 Torr.

3. زمان پمپاژ: از 1 آمپر به 1.0 × 10-4 Torr≤ 3 دقیقه (دمای اتاق، اتاق خشک و تمیز و خالی)

4. مواد فلزی سازی (اسپری کردن) Al، Cr، Sn، Ti، SS، Cu ... و غیره

5. مدل عامل: تمام اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی

ساختار ماشین آلات پوشش دهنده اسپکترومغناطیسی آزمایشگاهی نازک فیلم

1. اتاق خلاء

2. سیستم پمپ خلاء (پمپ پشت پمپ)

3. سیستم پمپ خلاء بالا (پمپ نفوذ)

4. سیستم کنترل و کنترل الکتریکی

5. سیستم تاسیس Auxiliarry (زیر سیستم)

6. سیستم رسوب

سیستم پوشش دهنده اسپکترومغناطیسی مگنترون فیلم نازک آزمایشگاهی نیز می تواند با کاتد قوسی و منابع تبخیری برای برنامه های کاربردی بیشتر مورد استفاده قرار گیرد.