|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RTAS1215 |
| مقدار تولیدی: | ۱ عدد |
| قیمت: | قابل مذاکره |
| شرایط پرداخت: | اعتبارات اسنادی، D/A، D/P T/T |
| توانایی عرضه: | 6 مجموعه در هر ماه |
AlN تراشه ها سیستم پاشش مس، آلومینیوم نیترید PVD ماشین پاشش مس
عملکرد
1فشار خلاء نهایی: بهتر از 5.0×10-6تور
2فشار خلاء کار: 1.0×10-4تور
3زمان پمپاژ: از 1 اتم تا 1.0×10-4Torr≤ 3 دقیقه (در دمای اتاق، اتاق خشک، تمیز و خالی)
4مواد فلزی (پست کردن + تبخیر قوس): Ni، Cu، Ag، Au، Ti، Zr، Cr و غیره
5مدل کار: کامل اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی
ساختار
دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم کلیدی تکمیل شده است که در زیر ذکر شده است:
1اتاق خلاء
2. سیستم پمپاژ خلاء خروجی (پاکت پمپ پشتیبان)
3. سیستم پمپاژ خلاء بالا (پمپ مولکولی معلق مغناطیسی)
4سیستم کنترل و کاربری الکتریکی
5سیستم امکانات کمکی (نظام فرعی)
6. سیستم سپرده گذاری
ویژگی های اصلی ماشین پوشش اسپوتینگ مس
1مجهز به 8 کاتود قوس هدایت و کاتودهای SPUTTER DC، کاتودهای SPUTTER MF، واحد منبع یون.
2پوشش چند لایه و هم پاشی در دسترس است
3. منبع یون برای پیش درمان تمیز کردن پلاسما و رسوب کمک شده توسط پرتوی یون برای افزایش چسبندگی فیلم
4- واحد گرم کردن سراسرهای سرامیکی/ Al2O3/AlN
5سیستم چرخش و انقلاب بستر، برای پوشش یک طرفه و پوشش دو طرفه.
کارخانه پوشش اسپوتینگ مغناطیس کوپر بر روی زیربنای تابش سرامیکی
فرآیند DPC- Direct Plating Copper یک فناوری پوشش پیشرفته است که در صنایع LED / نیمه هادی / الکترونیکی استفاده می شود.
رسوب فیلم رسانای کوپر بر روی زیربناهای Al2O3، AlN با استفاده از فناوری اسپتر کردن خلاء PVD، در مقایسه با روش های تولید سنتی: DBC LTCC HTCC،هزینه تولید بسیار پایین تر از ویژگی بالا آن است.
تیم تکنولوژی سلطنتی به مشتری ما کمک کرد تا فرآیند DPC را با موفقیت با تکنولوژی PVD توسعه دهد.
دستگاه RTAC1215-SP که به طور انحصاری برای پوشش فیلم رسانای مس بر روی تراشه های سرامیکی، صفحه مدار سرامیکی طراحی شده است.
لطفا برای اطلاعات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار می کند که راه حل های پوشش کامل را برای شما فراهم کند.
