دستگاه پوشش فیلم نازک PECVD ، سیستم رسوب PVD پیشرفته پلاسمای منبع یونی
چرا ما؟
ماشین آلات تولید پیشرفته (فرز ، جوشکاری ، برش ، آزمایش نشت خلاuum) همراه با روش های تولید استاندارد و آزمایش های سخت Royal Technology را قادر می سازد تا سیستم های پوشش دهی با کیفیت بالا ، قابل اعتماد و کم هزینه را تولید کند.
کیفیت ، خدمات و تحویل به موقع از اصول اصلی تجارت رویال فناوری است.یک استراتژی با برون سپاری مستقیم اجزای ساده به تولیدات حرفه ای به ما امکان می دهد تا توجه خود را به بخشهای اصلی و اجزای تحقیق و توسعه ، تولید متمرکز کنیم.
سیاست های دقیق کنترل کیفیت و انتخاب دقیق تأمین کنندگان واجد شرایط ، مشتریان Royal Technology را مطمئن می کند که پیشرفته ترین و پیشرفته ترین تجهیزات با کیفیت و مقرون به صرفه را دریافت می کنند.
فن آوری اصلی نحوه تولید انرژی الکتریکی با ماژول قدرت پیل سوختی از طریق واکنش الکتروشیمیایی بین هیدروژن به عنوان سوخت و اکسیژن است.
پیل سوختی هیدروژن به عنوان مهمترین قسمت مهم ماژول نیرو ، دانشمندان ، مهندسان ، اساتید سازمانهای حمل و نقل و تولیدکننده وسایل نقلیه در سراسر جهان هزاران آزمایش انجام داده و در نهایت پردازش مناسب را یافته اند.
این 100 friendly فن آوری دوستانه محیط زیست و vechiles است.
مدل RTSP1200 دستگاه ما منحصراً برای این کاربرد طراحی و توسعه یافته است.ما با شانگهای Jiaotong Unversity و SAIC Motor Corporation Company Limited همکاری کردیم.
سیستم پاشش ماژول سلول سوختی هیدروژنی با فناوری PECVD (رسوب بخار شیمیایی پیشرفته پلاسما) برای رسوب یکنواختی و چسبندگی قوی فیلم های نازک SiC.
دستگاه پاشش سلول سوختی هیدروژن حاوی منبع یونی ، کاتدهای پراکنده متعادل / بدون تعادل است.با سیستم پمپاژ خلا vac با ثبات و حجم زیاد.
مشخصات سیستم پاشش ماژول سلول سوختی هیدروژنی
| مدل | RTSP1200 | |||||||||
| مواد | فولاد ضد زنگ (S304) | |||||||||
| اندازه اتاق | Φ1200 * 1300 میلی متر (H) | |||||||||
| نوع اتاق | ساختار دو درب جلو و عقب ، عمودی | |||||||||
| بسته تنها پمپ | پمپ خلاac پیستونی روتاری | |||||||||
| ریشه پمپ خلاuum | ||||||||||
| پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی | ||||||||||
| پمپ پره روتاری (پمپ نگهدارنده) | ||||||||||
| فن آوری | پاشش مگنترون ، منبع یونی PECVD | |||||||||
| منبع تغذیه | منبع تغذیه پاششی + منبع تغذیه بایاس + منبع یونی | |||||||||
| منبع انباشت | 2 جفت کاتد پراکنده DC / RF + (استفاده از 2 جفت اضافی) + منبع یونی | |||||||||
| کنترل | صفحه لمسی PLC + | |||||||||
| گاز | متر جریان توده گاز (Ar ، N2 ، C2H2 ، O2) آرگون ، نیتروژن و اتین ، اکسیژن | |||||||||
| سیستم ایمنی | قفل های ایمنی متعدد برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات | |||||||||
| خنک کردن | آب خنک کننده | |||||||||
| تمیز کردن | درخشش تخلیه / منبع یونی | |||||||||
| POWER MAX. | 150 کیلو وات | |||||||||
| مصرف متوسط برق | 75 کیلو وات |
|||||||||
سیستم دندانه دار کردن و جک مخصوص طراحی شده می تواند برای بارگذاری و تخلیه راحت لایه ها کاملاً حرکت کند.
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، Royal Technology مفتخر است که راه حل های کامل پوشش را به شما ارائه دهد.
