سیستم انباشت قوس بزرگ کاتدیک برای مصالح ساختمانی معماری ، ورق های SS دستگاه پوشش رنگ طلایی چند قوس TiN
دستگاه روکش خلاء اندازه بزرگ ، برای مبلمان های بزرگ اندازه ، مصالح ساختمانی معماری ، ورق های SS ، صفحات SS ، لوله های SS ، سرامیک و شیشه ، صنایع دستی کریستال و غیره به طور گسترده ای مورد استفاده قرار می گیرد.
برای چنین سری از روکش های خلاء اندازه بزرگ ، ما کل طراحی گیاهان و دستورالعمل های حرفه ای خدمات پوشش PVD را ارائه می دهیم.
دستگاه پوشش خلاء سایز بزرگ ، مدلهای استاندارد را به شرح زیر تولید کرده ایم
| حالت | RTAC2140 | RTAC1836 | RTAC2040 | RTAC2270 | RTAC2080 |
| محفظه خلاء اندازه داخلی | Φ2100 × H4000mm | Φ1800 × H3600mm | Φ2000 H4000mm | Φ2200 × L7000mm | Φ2000 L8000mm |
| حداکثر قدرت | 125-360KW | 120-300KW | 120-350KW | 200 کیلووات | 200 کیلووات |
| منبع قوس | 40-60 واحد | 24-36 واحد | 40-60 واحد | 50 ~ 60 واحد | 50 ~ 60 واحد |
| منبع تغذیه بایاس | مجموعه 60KW / 1 | مجموعه 50KW / 1 | مجموعه 60KW / 1 | مجموعه 70KW / 1 | مجموعه 70KW / 1 |
| ردپایی | 40 ~ 60m² * H12m | 40 ~ 60m² * H11m | 40 ~ 60m² * H12m | 40 ~ 60m² * L20m | 40 ~ 60m² * L22m |
| منابع تغذیه | توان DC ، قدرت پالس (قدرت تعصب ، قدرت قوس) | ||||
| اتاق خلاء | عمودی ، مدل باز کردن بالا (افقی برای اختیاری) | مدل بازکن افقی | |||
| سیستم رک و جیگ | قاب سیاره ای ، انقلاب + چرخش | ||||
| منبع تغذیه نوع | منبع تغذیه قوس ، بایوس بمباران و منبع تغذیه | ||||
| فشار خلاء نهایی | 10-4pa ≤8، ، سرعت افزایش فشار 0.6.6pa در ساعت ، زمان پمپ (سرعت اگزوز): از اتم به 8x10-3 pa ≤ 20min | ||||
| سیستم پمپاژ وکیوم | پمپ انتشار روغن + پمپ مکانیکی + پمپ نگهداری + پمپ ریشه (تعداد پمپ ها طبق نیاز مشتری طراحی شده است) | ||||
| کنترل و بهره برداری | دستی / نیمه اتوماتیک ، عملکرد صفحه لمسی ، کنترل PLC | ||||
| سیستم خنک کننده | سیستم خنک کننده آب را بازیافت کنید | ||||
| منبع قوس کاتدیک | مگنترون قابل تنظیم ، خنک کننده غیر مستقیم آب | ||||
| اندازه هدف | Φ100 40 میلی متر | ||||
| محیط کار | فشار هوا 0.5-0.8MPa ، دمای آب 25- درجه سانتیگراد ، فشار آب ≥0.2MPa | ||||
| سیستم گرمایش | قابل کنترل و تنظیم از دمای اتاق تا 300 درجه سانتیگراد است | ||||
| ابزار اندازه گیری | فشار سنج ، جعبه کنتور ، کنترل جریان جرم ، جعبه کنترل الکتریکی ، جعبه کنترل ابزار گرم ، جعبه کنترل قوس الکتریکی | ||||
| ملاحظات | ابعاد محفظه خلاء ، مقدار منابع یون قوس ، بخاری و پمپ ها با توجه به نیاز مشتری می توانند طراحی و مجهز شوند. | ||||
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، رویال فناوری مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.
