|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RTSP |
| مقدار تولیدی: | ۱ عدد |
| توانایی عرضه: | مجموعه 10 در هر ماه |
دستگاه پوشش پلتینگ تانتالوم PVD، فیلم تانتالوم که توسط پلتینگ مقناطیسی DC سپوتری شده است، PVD تانتالوم
تانتالوم به دلیل مقاومت خوب خود در برابر فرسایش در صنعت الکترونیک و به عنوان پوشش محافظ در بسیاری از صنایع به طور گسترده ای استفاده می شود.
فیلم تانتالوم اسپتر شده به طور گسترده ای در
1صنعت میکروالکترونیک به عنوان فیلم می تواند به طور واکنش sputtered و در نتیجه مقاومت و ضریب دمای مقاومت می تواند کنترل شود؛
2ابزار پزشکی مانند ایمپلنت های بدن به خاطر قابلیت سازگار بودن زیست شناسی آن
3- پوشش بر روی قطعات مقاوم در برابر خوردگی، مانند بخشهای حرارتی، بدنه های شیرها و فانکشن ها
تانتالوم اسپتر شده همچنین می تواند به عنوان یک مانع مقاوم در برابر خوردگی موثر استفاده شود اگر پوشش مداوم، نقص و به بستر چسبنده باشد.
RTAS1000 مزیت های فنی
1. سیستم طراحی یکپارچه برای نصب سریع
2. سیمنز PLC،CPU؛ با عملکرد PC صنعتی و سخت افزار کنترل
3براي نظارت و تشخيص از راه دور در دسترس است.
4انعطاف پذیر، آماده ارتقاء
5چند کاتود برای سرعت سریع رسوب
مزاياي بيشتري از ماشين:
طراحی قوی، کیفیت پایدار، چرخه سریع، زمان چرخه سریع، سرعت رسوب بالا
| تنظیمات اصلی | |
| مدل | RTAS1000 |
| تکنولوژی | اسپتر کردن ماگنترون DC + پوشش قوس کاتودیک |
| مواد اتاق | فولاد ضد زنگ (S304) |
| اندازه اتاق | Φ1000*1000mm (H) |
| نوع اتاق | شکل D، اتاق استوانه ای |
| راک چرخش و سیستم JIG | سیستم هدایت ماهواره ای یا سیستم هدایت مرکزی |
| منبع برق | منبع برق SPUTTERING DC: 2 ~ 4 مجموعه Bias منبع برق: 1 مجموعه Arc منبع برق: 11 مجموعه |
| مواد سپرده گذاری | Ti/Cr/TiAl، Ta، Au، Ag، Cu و غیره |
| منبع سپرده گذاری |
کاتود های اسپوتینگ مسطح + کاتود های قوس دایره ای توجه: اسپاتر DC استیلری قابل استفاده است |
| کنترل | PLC ((کنترلر منطق قابل برنامه ریزی) + صفحه لمسی (مدل های کار دستی + خودکار + نیمه خودکار) |
| سیستم پمپ | پمپ فان روتاری: SV300B - 1 مجموعه (Leybold) |
| پمپ ریشه: WAU1001 - 1 مجموعه (Leybold) | |
| پمپ نگهدارنده: D60C - 1 مجموعه (Leybold) | |
| پمپ مولکولی معلق مغناطیسی: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| کنترل کننده جریان جرم گاز | 4 کانال، ساخته شده در چین، هفت ستاره (سری CS،)) مدل دیجیتال (Ar، N2، O2، C2H2) |
| اندازه گیری خلاء | مدل: ZDF-X-LE، ساخته شده در چین |
| سیستم ایمنی | تعداد زیادی از قفل های ایمنی برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات |
| گرمایش | بخاری: 20KW حداکثر دمای: 450°C |
| خنک کننده | کولر صنعتی (آب سرد) |
| "پاور مکس". | 100KW (تقریبا.) |
| مصرف متوسط برق | 45 KW (تقریباً) |
| وزن ناخالص | T (تقریباً) |
| اثر پا | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| برق برق | خط AC 380V/3 فاز/50HZ / 5 |
کاتودهای اسپوتری بالینی کاتود های اسپوتر تراز
لطفا برای اطلاعات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار می کند که راه حل های پوشش کامل را برای شما فراهم کند.
برای دانلود این بروشور، لطفا اینجا کلیک کنید:سیستم رسوب اسپتر کردن مغناطیس.pdf
استفاده از سيستم رسوب اسپتر کردن مغناطيس...
