|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RTSP1200 |
| مقدار تولیدی: | 1 ست |
| قیمت: | قابل مذاکره |
| شرایط پرداخت: | L/C، T/T |
| توانایی عرضه: | 8 مجموعه در هر ماه |
رسوب تانتالوم، طلا فلزات گرانبها با اسپتر کردن
اسپاترینگ به طور گسترده ای برای سپرده گذاری فلزات آتش شکن مانند تانتالوم، تیتانیوم، وولفستم استفاده می شود,نیوبیوم که نیاز به دمای بسیار بالا برای رسوب دارد, و فلزات گرانبها: طلا و نقره و همچنین برای سپرده گذاری فلزات با نقطه ذوب پایین مانند مس، آلومینیوم، نکل، کروم و غیره استفاده می شود.
تانتالوم بیشتر در الکترونیک استفاده می شود صنعتبه عنوان یک پوشش محافظ به دلیل مقاومت خوب در برابر فرسایش.
فیلم تانتالوم اسپتر شده به طور گسترده ای در
1صنعت میکروالکترونیک به عنوان فیلم می تواند به صورت واکنش sputtered و در نتیجه مقاومت و ضریب دمای مقاومت می تواند کنترل شود؛
2ابزار پزشکی مانند ایمپلنت های بدن به خاطر قابلیت سازگار بودن زیست شناسی آن
3- پوشش بر روی قطعات مقاوم در برابر خوردگی، مانند چاه های حرارتی، بدنه های شیرها و فانکشن ها
4.تانتالوم اسپتر شده همچنین می تواند به عنوان یک مانع مقاوم در برابر خوردگی موثر استفاده شود اگر پوشش مداوم، نقص و به بستر چسبنده باشد.
تکنولوژی سلطنتی️یک سیستم استانداردی برای سپتر کردن تانتالوم: مدل RTSP1000.
خواص فیلم اسپتر شده تانتالوم:
مقاومت پایین
پوشش های مقاوم در برابر خوردگی بالا و لباس در سطح که تحت فشار زیاد و محیط شیمیایی و فرسایش شدید قرار می گیرند.
ویژگی های طراحی:
طراحی قوی، کیفیت پایدار، چرخه سریع، سیستم دقیق بالا
|
تنظیمات اصلی |
|
|
مدل |
RTSP1000 |
|
تکنولوژی |
اسپتر کردن ماگنترون DC + پوشش قوس کاتودیک |
|
مواد اتاق |
فولاد ضد زنگ (S304) |
|
اندازه اتاق |
Φ1000*1600mm (H) |
|
نوع اتاق |
شکل D، اتاق استوانه ای |
|
راک چرخش و سیستم JIG |
سیستم هدایت ماهواره ای یا سیستم هدایت مرکزی |
|
منبع برق |
منبع برق اسپوتینگ DC: 2 ~ 4 مجموعه منبع یون: 1 مجموعه |
|
مواد سپرده گذاری |
Ti/Cr/TiAl، تا ، آو ، آگ ، کو و غیره |
|
منبع سپرده گذاری |
کاتود های اسپوتینگ صاف + کاتودهای قوس دایره ای |
|
کنترل |
PLC ((کنترلر منطق قابل برنامه ریزی) + صفحه لمسی |
|
سیستم پمپ |
پمپ فان روتاری: SV300B - 1 مجموعه (لیبولد) |
|
پمپ ریشه: WAU1001 - 1 مجموعه (Leybold) |
|
|
پمپ نگهدارنده: D60C - 1 مجموعه (Leybold) |
|
|
پمپ مولکولی معلق مغناطیسی: |
|
|
کنترل کننده جریان جرم گاز |
2کانال ها: Ar و N2 |
|
اندازه گیری خلاء |
Inficon یا Leybold |
|
سیستم ایمنی |
تعداد زیادی از قفل های ایمنی برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات |
|
گرمایش |
بخاری:20KW. حداکثر دمایی: 450°C |
|
خنک کننده |
کولر صنعتی (آب سرد) |
|
"پاور مکس". |
100KW (تقریبا.) |
|
مصرف متوسط برق |
45 KW (تقریباً) |
|
وزن ناخالص |
T (تقریباً) |
|
اثر پا |
(L*W*H) ۴۰۰۰*۴۰۰۰*۳۶۰۰ MM |
|
برق |
خط AC 380V/3 فاز/50HZ / 5 |
ساختار تجهیزات:
ساختار سیستم پوشش: جهت گیری عمودی، ساختار هشت گوشه ای، 2 درب برای دسترسی آسان.
سیستم سازگار با محیط زیست، بدون زباله های خطرناک.
ادغام کامل، طراحی ماژولار
تجاری و استاندارد برای تولید انبوه صنعتی
یک منبع یون بسیار کارآمد برای چسبندگی قوی و یونیزاسیون بالا
عملکرد آسان: صفحه لمسی + کنترل PLC، یک عملیات لمسی
طراحی ویژه سیستم کاروسل برای رسوب یکنواخت بالا.
بهره وری بالا و ثبات، 24 ساعت در هفته کار می کنند.
انعطاف پذیر، متناسب با اندازه های مختلف صفحات
اجزای کلیدی
منبع یون برای فرآیند سپرده گذاری کمک شده:
منبع یون برای فرآیند پلاسما:
دستگاه RT1200-FCEV یک سیستم اسپترینگ مدل دسته ای است که می تواند پوشش های مختلف سخت، پوشش های نرم،فیلم های ترکیبی و فیلم های روان کننده جامد بر روی مواد فلزی و غیر فلزیبه صنایع وسایل نقلیه سلول سوخت هیدروژن، محصولات فوتونیک، هوافضا و سایر صنایع انرژی جدید اعمال می شود.
عملکرد فیلم های سپرده گذاری:
برای بهبود رسانایی سطح؛
مقاومت بالای خوردگی
مقاومت بالای لباس؛
سختی بالا
فیلم های ترکیب هیدروفوب و سایر فیلم های کاربردی
در دسترس برای پوشش های ترکیبی: فیلم های فلزی و غیر فلزی.
دامنه ضخامت فیلم از 100nm تا 12μm، تحمل ضخامت ± 5٪
چسبيدن قوي
درمان سخت شدن سطح قطعات کم گرما.
نوع:
جهت گیری عمودی، ساختار هشتگانه، دو درب (پیش و عقب)
مزیت های طراحی:
براي اطلاعات بيشتري با ما تماس بگيريد. دانش.
