|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RTRS |
| مقدار تولیدی: | 1 ست |
| قیمت: | قابل مذاکره |
| شرایط پرداخت: | L / C ، T / T |
| توانایی عرضه: | 6 مجموعه در هر ماه |
سری RTAS یک دستگاه چندمنظوره رسوب گذاری چندگانه به گرافیت عمومی ، رنگهای مشکی ، آبی ، مسی و برنز بر روی قطعات فلزی ، اشیاء فولادی ضد زنگ است.به ویژه برای قطعات لوکس درجه یک استفاده می شود.
استاندارد کاربرد
جواهرات ، بند ساعت و بدنه ، ورزش از جنس استنلس استیل ، ابزار نوشتاری
لوازم الکترونیکی مصرفی: تلفن همراه ، لپ تاپ ، دوربین ، هواپیماهای بدون سرنشین
ماشین های RTAS مجهز به قوس دایره ای و منابع ته نشینی سیلندر هستند.ترکیبات متعددی از پاشش DC ، پاشش MF ، تبخیر قوس و منبع یون و غیره. همه در یک دستگاه واحد در دسترس هستند ، برای انعطاف پذیری بالایی در پیکربندی برای برآوردن برنامه های مختلف.مخصوصاً برای اجزای کوچک ، روکش های زیبایی: مشکی ، مسی ، برنجی و کروم.
MF Sputtering چیست؟
در مقایسه با پاشش DC و RF ، پاشش میان فرکانسی به یک روش اصلی پخش کننده فیلم نازک برای تولید انبوه پوشش تبدیل شده است ، به ویژه برای رسوب فیلم از پوشش های دی الکتریک و فیلم های غیر رسانا روی سطوحی مانند پوشش های نوری ، پنل های خورشیدی ، لایه های متعدد. ، فیلم مواد کامپوزیت و غیره
این دستگاه جایگزین پاشش RF می شود زیرا با سرعت KHz بیشتر از MHz کار می کند تا سرعت رسوب بسیار بیشتری داشته باشد و همچنین می تواند از مسمومیت Target در هنگام رسوب فیلم نازک مرکب مانند DC جلوگیری کند.
اهداف پاشش MF همیشه با دو مجموعه وجود داشت.دو کاتد با جریان متناوب متناوب بین آنها به جلو و عقب استفاده می شود که سطح هدف را با هر وارونه تمیز می کند تا بار اضافی دی الکتریک را کاهش دهد که منجر به قوس گیری می شود که می تواند قطرات را به داخل پلاسما پرتاب کرده و از رشد یکنواخت فیلم نازک جلوگیری کند. چیزی که ما آن را مسمومیت هدف می نامیم.
مشخصات فنی
| خیر | نام |
| 1 | سیستم پمپ خلاء: پمپ مولکولی توربو + پمپ ریشه + پمپ مکانیکی + پمپ نگهدارنده |
| 2 | سیستم اندازه گیری خلاء: Pirani + Penning Gauges |
| 3 | سیستم گرمایش: بخاری برای بسترهایی که برای بهبود چسبندگی گرم می شوند |
| 4 | سیستم توزیع آب/هوای فشرده: طراحی مدولار و ساختگی |
| 5 | کاتدهای سیلندر Sputtering: 2/4/6/8 جفت اهداف دوقلو برای گزینه |
| 6 | شیر دروازه خلاء (به عنوان گزینه) |
| 7 | محفظه برق (استاندارد CE) |
| 8 | اتاق خلاء (SS304/316L در صورت درخواست) |
| 9 | منبع قوس کاتدی (کاتدهای قوس معمولی) |
| 10 | View Port (2 عدد بر روی درب جهت بازرسی در داخل محفظه رسوب توزیع شده است) |
| 11 | پردازش سیستم توزیع گاز (کنترل کننده جریان متر برای 4 کانال) |
| 12 | سیستم رانندگی رک (مدل رانندگی سیاره ای) |
| 13 | چرخ فلک |
| شرح | RTAS1250 | RTAS1612 |
| اتاق رسوب (میلی متر) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
رانندگی سیاره ای سطح پوشش موثر (میلی متر) |
8: φ270*H850 10: φ230*H850 |
10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
| کاتد قوس دایره ای (مجموعه) | 7 | 12 |
| کاتدهای پاشش سیلندر (جفت) | 3/4 | 4/6 |
|
قدرت سوگیری پالس (کیلو وات) |
36 | 48 |
| DC / MF Sputtering Power (KW) | 36 | 36*4 |
| قدرت قوس (KW) | 7*5 | 12*5 |
| پمپ های خلاء |
2* پمپ های مولکولی توربو 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
3* پمپ های مولکولی توربو 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
| حداکثرمصرف برق (کیلو وات) | 200 | 245 |
| میانگین مصرف برق (کیلو وات) | <75 | <100 |
| فضای عملیات (L*W*H) میلی متر | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
تنظیمات انعطاف پذیر: دستگاه با توجه به فرآیندهای پوشش و نیازهای مشتریان تنظیم می شود
داخل کردن
