سفارشی سازی برای برآوردن تقاضای ویژه شما
استانداردسازی برای کاهش هزینه تولید شما
- بیشتر روی برنامه ها تمرکز می کنیم
 
2-MultiTech- DLC IPG black film coatings.pdfلطفا برای اطلاعات بیشتر بروشور را از اینجا دانلود کنید
 

MF Sputtering چیست؟

در مقایسه با کندوپاش DC و RF، کندوپاش با فرکانس میانی به یک تکنیک اصلی کندوپاش لایه نازک برای تولید انبوه پوشش تبدیل شده است، به ویژه برای رسوب فیلم پوشش های دی الکتریک و فیلم غیر رسانا بر روی سطوحی مانند پوشش های نوری، پانل های خورشیدی، چند لایه. ، فیلم مواد کامپوزیت و غیره
به دلیل کارکرد آن با kHz به جای مگاهرتز برای سرعت رسوب بسیار سریعتر، جایگزین کندوپاش RF می شود و همچنین می تواند از مسمومیت هدف در طول رسوب لایه نازک ترکیبی مانند DC جلوگیری کند.

اهداف کندوپاش MF همیشه با دو مجموعه وجود داشت.دو کاتد با یک جریان AC که بین آنها سوئیچ می شود استفاده می شود که سطح هدف را با هر معکوس تمیز می کند تا تجمع بار روی دی الکتریک ها را کاهش دهد که منجر به ایجاد قوس می شود که می تواند قطرات را به داخل پلاسما پرتاب کند و از رشد یکنواخت لایه نازک جلوگیری کند--- که ما آن را مسمومیت هدف می نامیم.
 

منابع رسوب گذاری
منابع قوس دایره ای هدایت شده برای تبخیر هدف فلزی جامد.
2/4/6 جفت کاتدهای کندوپاش سیلندر MF برای رسوب لایه لایه نازک گرافیت.
منبع تغذیه بایاس برای بمباران یونی برای تشکیل ناحیه پلاسما برای پیش تصفیه.
واحد منبع یون خطی آند (برای پردازش اختیاری) PACVD و PECVD.
Cryopump (Polycold) برای تراکم مولکولی آب (به صورت اختیاری)

ماژول های دیگر
1. محفظه خلاء
2. سیستم پمپاژ خلاء Rouhging (بسته پمپ پشتیبان)
3. سیستم پمپاژ خلاء بالا (پمپ مولکولی معلق مغناطیسی)
4. سیستم کنترل و عملیات برق
5. سیستم تسهیلات کمکی (سیستم فرعی)
6. سیستم رسوب گذاری: کاتد کندوپاش MF، منبع تغذیه MF، منبع تغذیه بایاس منبع یون برای اختیاری

عملکرد دستگاه پوشش

1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 5.0×10-6تور
2. فشار خلاء عملیاتی: 1.0×10-4تور
3. Pumpingdown Time: از 1 atm تا 1.0×10-4Torr≤ 3 دقیقه (دمای اتاق، اتاق خشک، تمیز و خالی)
4. مواد فلزی (کندوپاش + تبخیر قوس): Ni، Cu، Ag، Au، Ti، Zr، Cr، TiN، TiC، TiAlN، CrN، CrC و غیره.
5. مدل عامل: تمام اتوماتیک / نیمه خودکار / دستی

 
این پیکربندی‌ها استاندارد هستند، برای یک بازار در حال توسعه خاص و پوشش‌های ویژه جدید، پیکربندی‌ها و تغییرات سفارشی در صورت درخواست در دسترس هستند.
 
 
 
راه اندازی برنامه نصب سیستم خلاء
 

 
 
 
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.