|
| نام تجاری: | ROYAL TECHNOLOGY |
| شماره مدل: | RT-R2R |
| مقدار تولیدی: | 1 |
| قیمت: | قابل مذاکره |
| شرایط پرداخت: | L/C، T/T |
| توانایی عرضه: | 4 sets/month |
یک سیستم اسپوتینگ خلاء رول به رول یک نوع تجهیزات تولیدی است که برای سپرده گذاری فیلم های نازک بر روی یک بستر انعطاف پذیر که به طور مداوم از یک رول به دیگری تغذیه می شود، استفاده می شود.این سیستم معمولا در صنایع مانند الکترونیک استفاده می شود.، نوری و بسته بندی برای کاربردهایی مانند پوشش، سلول های خورشیدی و الکترونیک انعطاف پذیر.
در این سیستم، یک اتاق خلاء برای قرار دادن فیلم های نازک بر روی یک شبکه متحرک از مواد استفاده می شود.اسپتر کردن فرآیندی است که در آن اتم ها یا مولکول ها از یک ماده هدف جامد به دلیل بمباران هدف توسط ذرات پر انرژی بیرون رانده می شونداین اتم ها یا مولکول های خارج شده سپس یک فیلم نازک بر روی بستر تشکیل می دهند.
سیستم اسپاترینگ خلاء رول تا رول به طور معمول شامل اجزای زیر است:
اتاق خلاء: این جایی است که فرآیند اسپوتینگ در شرایط خلاء کنترل شده انجام می شود.
سیستم دستکاری بستر: این سیستم حرکت بستر انعطاف پذیر را از طریق فرآیند اسپتر کردن کنترل می کند.
کاتود های اسپوتری با اهداف فلزی: این مواد هستند که از آنها اتم ها یا مولکول ها برای تشکیل فیلم نازک بر روی بستر اسپوتری می شوند.
منابع برق: این منابع انرژی لازم برای فرآیند اسپوتینگ را فراهم می کنند.
سیستم تامین گاز: این سیستم گاز های مورد نیاز را برای فرآیند اسپتر کردن تامین می کند.
سیستم کنترل: این کنترل پارامترهای فرآیند مانند نرخ رسوب، ضخامت فیلم و یکسانی است.
سیستم اسپاترینگ خلاء رول تا رول Web مزایای زیادی مانند سرعت بالا، مقیاس پذیری و توانایی پوشش مناطق بزرگ با فیلم های نازک را ارائه می دهد.برای تولید انبوه مواد فیلم نازک بر روی زیربناهای انعطاف پذیر مناسب است.
در یک سیستم اسپوتینگ خلاء رول تا رول، انواع مختلفی از اهداف اسپوتینگ می تواند بسته به خواص مورد نظر و کاربردهای فیلم های نازک که قرار می گیرند استفاده شود.برخی از انواع رایج هدف های اسپوتینگ عبارتند از::
هدف های فلزی: اینها از فلزات خالص یا آلیاژ های فلزی ساخته شده اند و معمولاً برای سپرده گذاری فیلم های نازک فلزی مورد استفاده قرار می گیرند. نمونه هایی از آنها آلومینیوم، مس، طلا، نقره، تیتانیوم،و اهداف فولاد ضد زنگ.
اهداف اکسید: این اهداف از اکسید های فلزی تشکیل شده و برای سپرده گذاری فیلم های نازک اکسید استفاده می شوند. نمونه هایی از آن ها عبارتند از اهداف اکسید قلعین ایندیوم (ITO) ، اکسید روی (ZnO) و اکسید تانتالوم (Ta2O5).
اهداف نیترید: این اهداف برای سپرده گذاری فیلم های نازک نیترید استفاده می شود. نمونه هایی از آنها شامل اهداف نیترید تیتانیوم (TiN) و نیترید آلومینیوم (AlN) است.
اهداف سیلیسید: این اهداف از سیلیسید های فلزی تشکیل شده و برای سپرده گذاری فیلم های نازک سیلیسید استفاده می شوند. نمونه هایی از آنها سیلیسید تیتانیوم (TiSi2) و سیلیسید وولفستم (WSix) هستند.
اهداف سولفید: این اهداف برای سپرده گذاری فیلم های نازک سولفید استفاده می شود. نمونه هایی از آنها هدف های دی سولفید مولیبدنوم (MoS2) و سولفید روی (ZnS) است.
اهداف کامپوزیت: این اهداف از مواد متعدد تشکیل شده و برای سپرده گذاری فیلم های نازک با خواص خاص استفاده می شوند.هدف می تواند ترکیبی از مواد فلزی و سرامیکی برای ترکیب فیلم های منحصر به فرد باشد..
اهداف آلیاژ: این اهداف از ترکیبات آلیاژ ساخته شده اند و برای سپرده گذاری فیلم های نازک آلیاژ با خواص خاص استفاده می شوند. نمونه هایی از آنها نیکل کرومیوم (NiCr) ، نیکل تیتانیوم (NiTi) ،هدف های آلیاژ کبالت و کرومیوم (CoCr).
انتخاب هدف اسپترینگ بستگی به عواملی مانند ترکیب فیلم مورد نظر، ضخامت، ساختار و خواص دارد.با استفاده از انواع مختلفی از اهداف اسپوتری در سیستم اسپوتری واکوم رول تا رول، طیف گسترده ای از مواد فیلم نازک می تواند برای کاربردهای مختلف در صنایع مانند الکترونیک، نوری، انرژی و موارد دیگر قرار گیرد.
کاربردها:
کاغذ الکترونیک، مدارهای انعطاف پذیر، فتوولتائیک، نوارهای پزشکی، RFID (شناختی فرکانس رادیویی) و فیلم کم E، پوشش فیلم نازک ITO
فرآیند سپوتری رول-تا-رول (R2R) یک روش متنوع و مقیاس پذیر برای سپوت کردن فیلم های نازک بر روی زیربناهای انعطاف پذیر به طور مداوم ارائه می دهد.
این فناوری به دلیل توانایی خود در پوشش دادن مناطق بزرگ با سرعت بالا با فیلم های نازک از مواد مختلف، طیف گسترده ای از کاربردهای مختلف را پیدا می کند.
برخی از کاربردهای رایج سپوتینگ وب R2R عبارتند از:
الکترونیک انعطاف پذیر: R2R web sputtering به طور گسترده ای در تولید دستگاه های الکترونیکی انعطاف پذیر مانند صفحه نمایش انعطاف پذیر، برچسب های RFID، کارت های هوشمند و الکترونیک پوشیدنی استفاده می شود.این امکان را می دهد تا ترانزیستورهای فیلم نازک، الکترود های رسانا و لایه های مانع بر روی زیربناهای انعطاف پذیر.
سلول های خورشیدی: سلول های خورشیدی دارای فیلم نازک از اسپتر کردن شبکه R2R برای سپرده گذاری لایه های نیمه هادی یا جذب کننده مانند سیلیکون بی شکل، تلوورید کادمیوم و
سیلینید اندیوم گالیوم مس (CIGS) بر روی زیربناهای انعطاف پذیر. این فناوری امکان تولید مقرون به صرفه و با بهره وری بالا از دستگاه های فتوولتائیک فیلم نازک را فراهم می کند.
فیلم های موانع: Sputtering R2R استفاده می شود تا فیلم های موانع با خواص موانع گاز عالی را بر روی زیربناهای انعطاف پذیر قرار دهد تا مواد حساس را از رطوبت، اکسیژن،و سایر عوامل محیطیاین فیلم های مانع کاربرد در بسته بندی، الکترونیک و نمایشگاه ها را پیدا می کنند.
پوشش های تزئینی: رسوب اسپتر R2R در تولید پوشش های تزئینی بر روی بستر های انعطاف پذیر برای کاربردهای خودرو، الکترونیک مصرفی،و شیشه های معماریمواد مانند لایه های فلزی، پوشش های اکسید و پوشش های تداخل چند لایه ای را می توان با استفاده از این تکنیک اعمال کرد.
سنسورهای انعطاف پذیر: اسپتر کردن وب R2R امکان قرار دادن عناصر سنسور فیلم نازک را بر روی بستر های انعطاف پذیر برای برنامه های کاربردی در سنسورهای پوشیدنی، دستگاه های بهداشتی و برنامه های IoT را فراهم می کند.سنسورها مانند سنسورهای دمایی، حسگرهای رطوبت و حسگرهای گاز می توانند با استفاده از این فناوری ساخته شوند.
فیلم های نوری: اسپتر کردن R2R برای قرار دادن پوشش های نوری بر روی بستر های انعطاف پذیر برای کاربردهای ضد انعکاس، پوشش های انعکاس، فیلترهای نوری،و فیلترهای رنگی که در صفحه نمایش استفاده می شوند، لنزها و دستگاه های نوری.
ادغام الکترونیک چاپی: Sputtering R2R می تواند با فرآیندهای الکترونیک چاپی ادغام شود تا دستگاه های ترکیبی با هر دو قطعات چاپی و اسپتر شده ایجاد شود.
این ادغام امکان تولید دستگاه های الکترونیکی مقرون به صرفه و کاربردی را بر روی زیربناهای انعطاف پذیر فراهم می کند.
به طور کلی، تنوع و مقیاس پذیری تکنولوژی سپوتینگ R2R، آن را برای طیف گسترده ای از کاربردهای صنعتی مانند الکترونیک، انرژی، بسته بندی، نوری،و سنسورها، که در آن فیلم های نازک بر روی زیربناهای انعطاف پذیر مورد نیاز است.
طرح دستگاه R2R
| MultiWeb Coater ویژگی های کلیدی زیر را ارائه می دهد: | ||||||||
| A. یک اتاق که به مناطق چند فشار تقسیم شده است تا منابع مختلف رسوب را در خود جای دهد. | ||||||||
| ب. قابلیت های جمع آوری همزمان چند منبع در یک پاس وب، برای پوشش چند لایه ای. | ||||||||
| ج. جهت پیچ و خم قابل برگشت، امکان قرار دادن لایه های نامحدود را بدون شکستن خلاء فراهم می کند. | ||||||||
| D. مکانیسم های دقیق دستکاری تار با راهنمای لبه ای برای اجازه عبور متعدد بدون از دست دادن تراز (اختیاری) | ||||||||
| E. AC Invert Web Drive system برای کنترل دقیق سرعت های متعدد وب. | ||||||||
| F. سیستم های نظارت بر ضخامت نوری و/یا مقاومت در خط، برای کنترل ضخامت و یکنواختی دقیق رسوب (اختیاری) | ||||||||
| G. اتاق ساخته شده از SUS304L استنلس با قطعات گاز پایین برای اطمینان از خلاء عمیق تر. | ||||||||
| H. پمپاژ خلاء با ترکیبی از پمپ توربو مولکولی و کرایوجنیک دمای پایین، برای ارائه خلاء تمیز بدون رطوبت یا آلودگی روغن. | ||||||||
| فیلم های سپرده گذاری | ||||||||
| 1مواد زیربنایی: PET، PEN، PES، PI، PC، PA، TAC... | ||||||||
| 2ضخامت بستر: 15 ~ 300μm | ||||||||
| 3روش های رسوب: AC Reactive برای SiO2 ((Dielectric) ؛ DC پالس برای ITO (Metal & Conductor) | ||||||||
| 4. TCO رسانای اکسید: ITO، AZO، IZO... | ||||||||
| 5هدايت کننده فلزي: آل، کو، مو، آگ... | ||||||||
| 6فیلم نوری: Ta2O5، Nb2O5، SiO2، TiO2... | ||||||||
| 7نیمه هادی: ZnO، InGaZnO... | ||||||||
| 8عایق: SiO2، SiNx، AlOx، AlNx... | ||||||||
| 9یکسانی: ±5٪ در سراسر شبکه | ||||||||
| مشخصات عمومی | ||||||||
| بدن اتاق خلاء: مناطق چند فشاری با یک اتاق | ||||||||
| واگن های متحرک: واگن های چوبی | ||||||||
| منطقه ی پاشش: 2 × منطقه ی پاشش (اختیاری: منطقه ی پاشش 3) | ||||||||
| منبع اسپتر کردن: 2 X منبع اسپتر کاتود دوگانه (اختیاری: 3 منبع اسپتر کاتود دوگانه) | ||||||||
| قبل از درمان بستر: منبع یون خطی | ||||||||
| عرض شبکه: 1300mm | ||||||||
| قطر پیچ و تاب: Φ600mm Max | ||||||||
| جهت پیچاندن: دو جهت | ||||||||
| ضخامت بستر: 15 ~ 300μm | ||||||||
| سرعت خط وب:0.5~10M/min | ||||||||
| تنش شبکه: 5.0PLI حداکثر 0.5PLI دقیقه | ||||||||
| تراز شبکه: ±3mm (یک گذر) | ||||||||
| پمپ خلاء بالا: پمپ توربو | ||||||||
| پمپ خلاء خام: پمپ خشک و ترکیب تنفس | ||||||||
| پمپ رطوبت: پلی کولد کریوجنیک | ||||||||
| کنترل ضخامت رسوب: نظارت (اختیاری) | ||||||||
| الف: انتقال نوری، ب: مقاومت جریان ادی | ||||||||
| عملکرد سیستم: عملکرد سیستم کامپیوتری مبتنی بر PLC | ||||||||
| اتاق خلاء | ||||||||
| اتاق خلاء به عنوان یک جعبه افقی ساخته شده از فولاد ضد زنگ SUS304L ساخته شده است، با باز شدن یک پایان.بخش پایین منطقه تقسیم شده حاوی منبع رسوب با لوازم جانبی خواهد بود، در حالی که بخش بالایی برای حمل و نقل شبکه قرار خواهد گرفت. | ||||||||
| ساخت اتاق: جعبه افقی با یک سوراخ فلنج | ||||||||
| ساختار اتاق: منطقه چند فشاری یک اتاق | ||||||||
| قاب اتاق: SS41 فولاد نرم، رنگ آمیزی | ||||||||
| مواد اتاق: SUS304L فولاد ضد زنگ پولیش شده | ||||||||
| تقسیم کننده منطقه فشار: صفحه آلومینیومی | ||||||||
| مواد بندر را ببینید: پلی کربنات | ||||||||
| مناطق فشار خلاء: 4 (منطقه ی پیچ و تاب 1، منطقه ی پاشی 2، منطقه ی بافر 1) |
توزیع کاتود های اسپتر
تیم ما از تکنسین های باتجربه پشتیبانی فنی و خدمات برتر را برای ماشین پوشش رول به رول ما فراهم می کند.
ما در دسترس هستیم تا به هر سوالی که در مورد ماشین و عملیات آن دارید پاسخ دهیم. تکنسین های ما در تمام جنبه های عملیات و نگهداری ماشین آگاه هستند.و می تواند مشاوره تخصصی را برای اطمینان از بهترین عملکرد ماشین ارائه دهد.
ما همچنین مراقبت های پیشگیرانه و خدمات اورژانسی را برای ماشین پوشش رول به رول شما ارائه می دهیم.تکنسین های ما به آخرین تکنولوژی ها و آموزش دسترسی دارند تا اطمینان حاصل کنند که ماشین شما به بهترین شکل کار می کندما همچنین آموزش و پشتیبانی فنی در محل برای ماشین و همچنین قطعات معدنی و لوازم جانبی را ارائه می دهیم.
ما تلاش می کنیم تا بالاترین سطح خدمات و رضایت مشتری را ارائه دهیم، و ما متعهد به اطمینان از اینکه ماشین پوشش رول به رول شما هر بار بالاترین کیفیت محصول را ارائه می دهد.اگر سوالی دارید، لطفاً از تماس با ما دریغ نکنید.
