![]() |
نام تجاری: | ROYAL |
شماره مدل: | RTAC1215-SP |
مقدار تولیدی: | ۱ عدد |
قیمت: | قابل مذاکره |
توانایی عرضه: | 6 مجموعه در هر ماه |
کارخانه پوشش دهی Ni PVD، سیستم متالیزاسیون خلاء کروم، تجهیزات آبکاری خلاء Sn / Ag، کارخانه آبکاری مس
ساختار تجهیزات:
دستگاه RTAC1215-SP از نوع octcal است که شامل پمپ های خلاء، محفظه خلاء با 8 کاتد قوس، 1 منبع یون خطی، 2 مجموعه کاتد کندوپاش DC و 1 جفت کاتد کندوپاش MF می باشد.منبع یونی، فلنجهای نصب شده بر روی کاتدهای کندوپاش ثابت شدهاند که میتوانند به صورت انعطافپذیر بر اساس تقاضای عمل پوششدهی تعویض شوند.
برنامه های کاربردی:
1. صنعت DPC برای قطعات آب بندی سرامیکی، فرآیند DPC، سیستم کندوپاش PVD مس، تراشه های سرامیکی LED با آبکاری کوپر، آل2O3، تخته های مدار سرامیکی AlN، صفحات Al2O3 روی LED، نیمه هادی
2. فیلم های فلزی نقره، نیکل، کروم، طلا، آلومینیوم، در، Sn و غیره و قلع، TiAlN، TiC، TiO، CrC، CrCN، CrN و غیره.
مزایای:
1. تولید مقرون به صرفه
2. انسانی سازی ایستگاه کاری (طراحی ارگونومیک ایستگاه کار، به حداقل رساندن فضا، صدا و خطر حادثه)
3. عملکرد با کیفیت بالا.
4. چسبندگی قوی با دستگاه گرمایش قدرتمند و تمیز کردن منبع پلاسما.
5. طراحی فشرده و با دسترسی آسان برای ارتقاء و تعمیر و نگهداری.
6. کاملاً اتوماسیون، PLC + صفحه لمسی، سیستم کنترل تک لمسی.
7. راندمان بالا با مصرف برق کمتر، حداکثر.50% صرفه جویی در هزینه تولید
مشخصات فنی:
1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 9.0 * 10-5Pa;
3. زمان پمپاژ پایین: از atm تا 1.0×10-3Pa≤15 دقیقه (دمای اتاق، اتاق خشک، تمیز و خالی)
4. منبع رسوب: کاتدهای کندوپاش مگنترون جنکوآ، کاتدهای قوس هدایت شده، منبع یون
5. مدل عامل: تمام اتوماتیک / نیمه خودکار / دستی
6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر.500 ℃،
9. منبع یون برای فرآیند PECVD و PA PVD.
دستگاه پوشش خلاء حاوی سیستم تکمیل شده کلیدی است که در زیر ذکر شده است:
1. محفظه خلاء
1.1 اندازه: قطر داخلی: 1200 میلی متر
ارتفاع داخلی: 1500 میلی متر
1.2 مواد: محفظه خلاء SUS304
درب و فلنج SUS304
ساختار تقویت محفظه: فولاد ملایم SS41، با عملیات سطح نهایی رنگ شده.
شاسی محفظه ای SS41 فولادی ملایم با عملیات سطح نهایی رنگ شده.
1.3 Chamber Shield: SUS304
1.4 مشاهده پنجره: 2 روی در
1.5 دریچه تهویه محفظه خلاء (شامل صدا خفه کن)
1.6 درب: مواد SUS304
2. سیستم پمپاژ خلاء خشن:
پمپ وکیوم پره ای دوار روغن + پمپ نگهدارنده
پمپ مولکولی معلق مغناطیسی - 2 مجموعه
4. سیستم کنترل و عملیات برق- سیستم عملکرد صفحه لمسی PLC+:
تامین کنندگان:
PLC: میتسوبیشی + صفحه نمایش لمسی (ساخت چین)
قطعات الکترونیکی: SCHNEIDER، OMRON.
سیستم حفاظتی ایمنی:اینترلاک های ایمنی متعدد برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات (آب، گاز فعلی، دما و غیره)
سیستم فرآیندهای پوشش: اتوماسیون و کنترل فرآیند.
4.1 مدار اصلی: کلید قطع کننده بدون فیوز، کلید الکترومغناطیسی، C/T در نوع سری
4.2 منبع تغذیه: قدرت کندوپاش DC/MF + برق قوس DC + منبع تغذیه بایاس
4.3 سیستم کنترل رسوب
4.4 سیستم عامل: صفحه لمسی + PLC، کنترل دستور العمل و ثبت اطلاعات، خاموش شدن خودکار، تخلیه خودکار، پوشش خودکار
4.5 سیستم اندازه گیری
فشار خلاء : وکیوم گیج : پیرانی + پنینگ گیج + گیج خلاء کامل -- برند اروپا
دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل کننده جریان انبوه (4 راه)،
4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده، جریان آب خنک کننده، عملکرد نادرست
4.7 نشانگر بار قدرت: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار
5.سیستم رسوب گذاری
5.1 منبع رسوب: کاتدهای کندوپاش + منابع قوس + منبع یون
5.2 مواد رسوب: مس، آلومینیوم، کروم، نقره، طلا، SS، تیتانیوم و غیره.
6.زیر سیستم
6.1 سیستم کنترل دریچه فشرده هوا
6.2 سیستم آب خنک کننده: لوله جریان آب و سیستم شیر سوئیچ
هوای فشرده: 5 تا 8 کیلوگرم بر سانتی متر مربع
آب خنک کننده: دمای آب: 20 تا 25 درجه سانتیگراد، 200 لیتر در دقیقه،
فشار آب: 2 تا 3 کیلوگرم بر سانتی متر مربع،
توان: 3 فاز 380 ولت 50 هرتز (60 هرتز)، 130 کیلو ولت آمپر، متوسط مصرف برق: 60 کیلو وات
منطقه نصب: (L*W*H)4400*3200*2950mm
اگزوز: دریچه برای پمپ های مکانیکی
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، فناوری رویال شما را با راه حل های پوشش کامل پشتیبانی می کند.