![]() |
نام تجاری: | ROYAL |
شماره مدل: | RTAS1250 |
مقدار تولیدی: | ۱ عدد |
قیمت: | قابل مذاکره |
شرایط پرداخت: | اعتبارات اسنادی، D/A، D/P T/T |
توانایی عرضه: | 2 مجموعه در هر ماه |
دستگاه پوشش DC و MF Magnetron Sputtering، محلول های پوشش PVD سیاه عمیق
پوشش کندوپاش مغناطیسی
پوشش پلاسما
کندوپاش مگنترون یک فرآیند پوشش پلاسما است که در آن مواد کندوپاش به دلیل بمباران یونها به سطح هدف به بیرون پرتاب میشوند.محفظه خلاء دستگاه پوشش PVD با یک گاز بی اثر مانند آرگون پر شده است.با اعمال یک ولتاژ بالا، تخلیه درخششی ایجاد می شود که در نتیجه شتاب یون ها به سطح هدف و پوشش پلاسما ایجاد می شود.یونهای آرگون، مواد کندوپاش را از سطح هدف بیرون میکنند (پرتاب کردن)، و در نتیجه یک لایه پوششی پراکنده روی محصولات جلوی هدف ایجاد میشود. فناوری کندوپاش مگنترون با موارد زیر مشخص می شود:
مدل | RTAC1250-SPMF | ||||||
فن آوری | کندوپاش مغناطیسی MF + آبکاری یونی | ||||||
مواد | فولاد ضد زنگ (S304) | ||||||
اندازه اتاق | Φ1250 * H1250mm | ||||||
نوع اتاقک | سیلندر عمودی 1 در | ||||||
سیستم کندوپاش | طراحی منحصر به فرد برای رسوب فیلم سیاه نازک | ||||||
مواد رسوبی | آلومینیوم، نقره، مس، کروم، فولاد ضد زنگ، نیکل |
||||||
منبع رسوب | 2 مجموعه MF اهداف کندوپاش استوانه ای + 8 منبع قوس کاتدی هدایت شده + منبع یون برای اختیاری | ||||||
گاز | MFC- 4 راه، Ar، N2، O2، C2H2 | ||||||
کنترل | PLC (کنترل کننده منطقی قابل برنامه ریزی) + | ||||||
سیستم پمپ | SV300B - 1 مجموعه (Leybold) | ||||||
WAU1001 - 1 ست (Leybold) | |||||||
D60T- 1 مجموعه (Leybold) | |||||||
پمپ های مولکولی توربو: 2* F-400/3500 | |||||||
پیش فرآوری | منبع تغذیه بایاس: 1*36 کیلووات | ||||||
سیستم ایمنی | اینترلاک های ایمنی متعدد برای محافظت از اپراتورها | ||||||
خنک کننده | آب سرد | ||||||
برق برق | 480V/3 فاز/60HZ (مطابق با ایالات متحده) | ||||||
460V/3 فاز/50HZ (مطابق با آسیا) | |||||||
380 ولت / 3 فاز / 50 هرتز (مطابق با EU-CE) | |||||||
رد پا | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
وزن مجموع | 7.0 T | ||||||
رد پا | ( L*W*H) 5000*4000 *4000 میلیمتر | ||||||
زمان چرخه | 30 تا 40 دقیقه (بسته به مواد بستر، هندسه بستر و شرایط محیطی) |
||||||
حداکثر توان.. | 155 کیلو وات | ||||||
توان متوسط مصرف (تقریبا) |
75 کیلو وات |
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.