|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RTAC1800 |
| مقدار تولیدی: | 18 مجموعه |
| قیمت: | قابل مذاکره |
| شرایط پرداخت: | L / C ، D / A ، D / P ، T / T |
| توانایی عرضه: | 22 مجموعه در ماه |
مشخصات تجهیزات پوشش PVD سرامیکی:
1. اتاق خلاء عمودی یک درب باز است ، 304 فولاد ضد زنگ ساخته شده ، قطر داخلی اتاق خلاء از φ1400mm-Φ2000mm؛
2- سیستم خلاء با پمپ چرخ دار، پمپ ریشه و پمپ های پخش روغن یا پمپ مولکولی
3. سیستم پوشش استفاده می کند 1-2 فرکانس متوسط مغناطیسی برای کنترل منبع قدرت اسپتر کردن، 1-2 جفت از مغناطیسی غیر متعادل برای کنترل هدف، و دارای 14-40 منبع قوس است.
4. منبع برق با کارایی بالا
5. سیستم گاز رسانی استفاده می کند تولید شده در داخل کشور و یا واردات جریان سنج جرم گازی، کنترل مقدار جریان گاز (نمایش) متر
6. سیستم کنترل الکتریکی تاسیس مدار الکتریکی بیش از حد بار، آب را قطع می کند، دستگاه هشدار صوتی نوری می میرد؛
7سیستم کنترل (اسکرین لمسی +PLC) ، نمایش زمان واقعی پارامتر دقیق، کنترل کاملا خودکار کل فرآیند تولید، و پارامتر تکنولوژیکی حافظه خودکار.
تجهیزات پوشش PVD - مشخصات RTAC1618
| مدل | RTAC1618 | ||
| مواد | فولاد ضد زنگ (S304) | ||
| اندازه اتاق | Φ1600*1800mm (H) | ||
| سیستم پمپ | پمپ خلاء پیستون چرخشی (مکانیکی) | ||
| پمپ خلاء روتاری (حفاظت) | |||
| پمپ خلاء ریشه | |||
| پمپ پخش | |||
| تکنولوژی | پوشش یون (چشمه های چند قوس) | ||
| اهداف معمول | کروم، تیتانیوم، زیرکونیوم، تیآل | ||
| گاز | اندازه گیری جریان جرم گاز (Ar، N2) آرگون، نیتروژن | ||
| کنترل | PLC ((کنترلر منطق قابل برنامه ریزی) | ||
| سیستم ایمنی | قفل های امنیتی متعدد برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات | ||
| خنک کننده | بازیافت آب خنک کننده | ||
| گرمایش | بخاری تا 300 درجه سانتیگراد | ||
| "پاور مکس". | 150KW (تقریبا.) | ||
| مصرف متوسط برق | 70KW (تقریبا.) | ||
تجهیزات پوشش PVD سرامیکیاز تکنولوژی پوشش یون برای تبخیر فلزات جامد مانند تیتانیوم استفاده می کند،کروم توسط منبع قوس کاتودیک و غلظت فلزات یونیزه شده در سطح محصول برای تولید فیلم نازک نانو در محیط خلاء بالابا گاز واکنش پذیر مانند نیتروژن برای تولید رنگ های مختلف.
اندازه های ماشین های سفارشی دیگر بر اساس ابعاد محصول مشخص شده و تقاضای ظرفیت در دسترس هستند.
مدل | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| اندازه داخل اتاق | 1000x800 میلی متر | 1000x1200 میلی متر | 1200x1500 میلی متر | 1400x1600 میلی متر | 1600x1600 میلی متر | ||||||
| نوع منبع برق | منبع برق قوس، منبع برق رشته، منبع برق انحراف پالس | ||||||||||
| ساختار اتاق خلاء | ساختار عمودی درب جلویی، سیستم خروجی هوای عقب و اتاق خنک کننده آب دو لایه ای | ||||||||||
| مواد اتاق خلاء | فولاد ضد زنگ 304/316L | ||||||||||
| خلاء نهایی | 6.0x10-4Pa (اتاق تخلیه، تمیز کردن، خشک کردن) | ||||||||||
| سرعت پمپاژ خلاء | از اتمسفر تا 8.0*10-3Pa ≤15 دقیقه | ||||||||||
| سیستم پمپاژ خلاء | پمپ پخش یا پمپ مولکولی + پمپ ریشه + پمپ مکانیکی + پمپ نگهدارنده (مدل خاص را می توان بر اساس نیازهای مشتری انتخاب کرد) | ||||||||||
| منبع قوس | 6 واحد یا 8 واحد | 8 واحد یا 10 واحد | 10 واحد یا 12 واحد | 14 واحد یا 16 واحد | 16 واحد یا 18 واحد | ||||||
| منبع برق بیاس | 20KW/ مجموعه | 20KW/ مجموعه | 30KW/ مجموعه | ۴۰ کیلو وات در مجموعه | 50KW/ مجموعه | ||||||
| مدل رانندگی | چرخش و چرخش سیاره، تنظیم سرعت فرکانس متغیر (کنترل و تنظیم) | ||||||||||
| سیستم گرمایش | قابل کنترل و تنظیم از دمای اتاق تا 450 درجه سانتیگراد (کنترل دمای PID) | ||||||||||
| MFC | سیستم کنترل و نمایش جریان گاز فرآیند سه مسیر یا چهار مسیر، سیستم گاز گیری خودکار انتخابی | ||||||||||
| سیستم خنک کننده | حالت خنک کننده گردش آب، برج آب خنک کننده یا خنک کننده آب صنعتی یا سیستم خنک کننده عمیق (به وسیله مشتریان ارائه شده است) | ||||||||||
| حالت کنترل | حالت ادغام دستی/خودکار، عملکرد صفحه لمسی، کنترل PLC یا کامپیوتر | ||||||||||
| کل قدرت | 30KW | ۳۵ کیلو وات | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| هشدار و حفاظت | کمبود آب هشدار، بیش از حد در حال حاضر و ولتاژ بالا، مدار باز و سایر شرایط غیر طبیعی پمپ ها، اهداف و غیره و اجرای اقدامات حفاظت مربوطه و عملکرد برقی interlock | ||||||||||
| منطقه تجهیزات | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
| سایر پارامترهای فنی | فشار آب ≥0.2MPa، دمای آب ≤25°C، فشار هوا 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| ملاحظات | پیکربندی خاص تجهیزات پوشش می تواند با توجه به الزامات فرآیند محصولات پوشش طراحی شود | ||||||||||
فایل های سرامیکی نمونه های پوشش PVD
لطفا برای اطلاعات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار می کند که راه حل های پوشش کامل را برای شما فراهم کند.
