تجهیزات انباشت پاشش طلا طلا ، دستگاه انباشت پیلو / طلا PVD ، رسانای سیستم پخش کننده PVD فیلم هادی
خلاصه: فرآیند DPC- مستقیم آبکاری مس یک فناوری پیشرفته پوشش است که با صنایع LED / نیمه هادی / الکترونیکی کاربرد دارد. یک کاربرد معمولی بستر تابشی سرامیکی است. کوپن رسوب فیلم رسانا بر روی اکسید آلومینیوم (Al2O3) ، بسترهای AlN با استفاده از فن آوری پاشش خلاء PVD ، در مقایسه با تولید سنتی
روش ها: DBC LTCC HTCC ، هزینه تولید بسیار پایین تر ویژگی برجسته آن است.
تیم فناوری سلطنتی به مشتری ما کمک کرد تا فرآیند DPC را با موفقیت و با استفاده از فن آوری پاشش PVD توسعه دهد.
واژههای کلیدی: قطعات مهر و موم سرامیکی ، فرآیند DPC ، سیستم پاشش مس PVD مس ، تراشه های سرامیکی LED با آبکاری کوپر ، Al 2 O 3 ، تخته های مدار سرامیکی AlN ، صفحات Al2O3 روی LED ، نیمه هادی
برنامه های کاربردی DPC:
· HBLED
· بسترهای سلولهای متمرکز كننده خورشیدی
بسته بندی نیمه هادی قدرت از جمله کنترل موتور خودرو
· الکترونیک مدیریت انرژی هیبریدی و برقی
· بسته های RF
دستگاههای مایکروویو
عملکرد فناوری DPC
مواد مختلف بستر: سرامیک (Al3O2 ، AlN) ، شیشه و Si
امکانات:
مشخصات فنی
1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 9.0 * 10 - 5 Pa؛
3. زمان پمپاژ: از اتمسفر تا 1.0 × 10 - 3 دقیقه 15≤ ((دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)
4- منبع انباشت: کاتد های لکه دار گنکوآ مگنترون ، کاتدهای هدایت قوس ، منبع یون
5. مدل عملیاتی: کامل به صورت خودکار / نیمه خودکار / دستی
6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 500 ℃ ،
9. منبع یون برای فرآیند PECVD و PA PVD.
دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلید است که در زیر ذکر شده است:
1. اتاق خلاء
1.1 اندازه: قطر داخلی: 1200 میلی متر
ارتفاع داخلی: 1500 میلی متر
1.2 مواد: اتاق خلاء SUS304
درب و فلنج SUS304
ساختار تقویت اتاق: فولاد خفیف SS41 ، با سطح تصفیه سطح رنگی.
شاسی اتاقک فولاد خفیف SS41 با سطح تصفیه سطح رنگ شده.
1.3 سپر اتاق: SUS304
1.4 نمایش پنجره: 2 در درب
دریچه تهویه اتاق خلاء 1.5 (از جمله صدا خفه کن)
1.6 درب: مواد SUS304
2. سیستم پمپاژ خلاء Rou ghing :
پمپ خلاء وان چرخشی روغن + پمپ نگهدارنده
3. سیستم پمپاژ خلاء بالا : پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی - 2 مجموعه
4. سیستم کنترل و بهره برداری الکتریکی- PLC + سیستم عامل صفحه نمایش لمسی:
تهیه کنندگان:
PLC: صفحه نمایش لمسی میتسوبیشی + (ساخته شده در چین)
قطعات الکترونیکی: SCHNEIDER ، OMRON.
سیستم محافظت از ایمنی: برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات (آب ، گاز فعلی ، دما و غیره) ، به هم پیوسته ایمنی بی شماری
سیستم فرآیندهای پوشش : اتوماسیون فرآیند و کنترل.
4.1 مدار اصلی: سوئیچ شکن بدون فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T در نوع سری
4.2 منبع تغذیه: منبع تغذیه DC / MF + توان قوس DC + منبع تغذیه بایاس
4.3 سیستم کنترل رسوب
سیستم عامل 4.4: صفحه لمسی + PLC ، کنترل دستور العمل و ورود به سیستم داده ها ، خاموش کردن خودکار ، تخلیه خودکار ، پوشش خودکار
سیستم اندازه گیری 4.5
فشار خلا: سنج خلا: پیرانی + سنج سنج + خلاء اندازه گیری کامل - برند اروپا
دستگاه اندازه گیری دما: ترمو زوج
MFC: کنترل کننده جریان گسترده (4 روش) ،
4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد اشتباه
4.7 شاخص بار توان: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار
5 سیستم انباشت
5.1 منبع انباشت: کاتدهای پراکنده + منابع قوس + منبع یون
5.2 مواد انباشت: مس ، آلومینیوم ، کروم ، نقره ، طلا ، SS ، تیتانیوم و غیره
6. زیر سیستم
6.1 سیستم کنترل فشار دریچه هوا
6.2 سیستم آب خنک کننده: سیستم لوله انتقال آب و شیر سوئیچ
7. محیط کار
هوای فشرده: 8 g 5kg / cm2
آب خنک کننده: درجه حرارت آب: 20 20 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار در آب: 3 2 2 kg / cm2 ،
توان: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 130kVA ، متوسط مصرف برق: 60KW
محل نصب: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm
اگزوز: برای پمپ های مکانیکی بخاری
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، Royal Technology مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.