چگالی بالا سیستم انباشت پراکنده مگنترون برای فیلم ترکیبی آبگریز ، دستگاه پاشش PECVD

فیلم ترکیبی هیدروفوبیک و دیگر فیلم های کاربردی سیستم رسوب اسپری

برنامه های کاربردی:

دستگاه RTSP1213 یک سیستم اسپکتروم مدل است، می تواند پوشش های مختلف سخت، پوشش های نرم، فیلم های ترکیبی و فیلم های روانکاری جامد بر روی مواد فلزی و مواد غیر فلزی قرار می دهد. کاربردی به صنایع هیدروژن سوخت سلول سوخت، محصولات فوتونیک، هوا فضا و دیگر صنایع انرژی جدید.

خواص:

برای بهبود رسانایی سطح؛

مقاومت در برابر خوردگی بالا؛

مقاومت در برابر سایش؛

سختی بالا

فیلم ترکیبی هیدروفوبیک و سایر فیلم های کاربردی

برای پوششهای ترکیبی موجود است: فیلمهای فلزی و غیر فلزی.

ضخامت فیلم از 100 نانومتر تا 12 میکرومتر، ضخامت ± 5٪
چسبندگی قوی

سطح سخت کننده سطح سخت کننده سطح.

نوع:

جهت عمودی، ساختار پلی یورتان، دو درب (جلو و عقب)

امکانات:

• سیستم زیست محیطی، بدون فاضلاب صنعتی، آلودگی هوا و سر و صدا؛
• عملیات آسان: صفحه نمایش لمسی + PLC کنترل و نرم افزار منحصر به فرد برای عملیات یک تماس، بیش از 80٪ زنگ خطر تیراندازی.
• تا 10 دستور العمل پردازش ورود و پشتیبان گیری؛ تکرارپذیری و تنوع بالا.
• طراحی ویژه سیستم چرخ فلک برای یکنواختی فیلم رسوب.
• بهره وری بالا و کیفیت بالا
• سیستم پایدار و قابل اعتماد، در حال اجرا 365 روز * 24 ساعت (تعمیر و نگهداری و تعمیر زمان شکستن)
• سیستم پمپاژ کارآیی: خطوط لوله خلاء کوتاهتر برای حداکثر سرعت پیوسته با پمپهای شناخته شده اروپایی
• طراحی فشرده دارای حداقل فضای نصب شده است.

مشخصات فنی

• کارایی

1. خلاء نهایی: بهتر از 8.0 * 10 ^-5 Pa؛

• پایه فشار خلاء: 3.0 * 10 ^{- 4} Pa

3. پمپاژ زمان: از atm به 1.0 × 10-3 Pa≤15 دقیقه (درجه حرارت اتاق، خشک، تمیز و خالی محفظه)

4. منبع رسوب: کاتد توفانی متعادل / نامتعادل

5. مدل عامل: تمام اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی

6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 450 ℃،

7. تمیز کردن پلاسما و پلاسما کمک رسوب: منبع یون خطی آند

8. Magnetic Closed - Loop filed. (توازن / تعادل کاتد)

9. تقصیر منبع تغذیه برای تخلیه درخشان.

• ساختار

ماشین آلات بسته بندی خلاء شامل کلید کامل سیستم ذکر شده در زیر است:

1. اتاق خلاء
1.1 ابعاد: قطر داخلی 1200 میلیمتر

ارتفاع داخلی: 1300 میلیمتر

1.2 ماده: اتاق خلاء SUS304

درب و فلنج SUS304

اتاق تقویت ساختار: SS41 فولاد ملایم، با رنگ پایان درمان سطح.

شاسی SS41 فولاد خفیف با رنگ آمیزی سطوح درمان.

1.3 سپر اسپری: SUS304

1.4 نمایش پنجره: در درب محفظه - 4 مجموعه (2 در هر درب)

1.5 لوله سوپاپ خلاء (از جمله صدا خفه کن)

1.6 درب: مواد SUS304

2. سیستم پمپ خلاء Rou ghing :

پمپ خلاء روغن زاویه دار + ریشه پمپ + پمپ نگهدارنده (Leybold)

3. سیستم پمپ خلاء بالا :

پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی (Leybold)

• دروازه دروازه - 2 مجموعه

4. سیستم کنترل و کنترل برق - PLC + صفحه لمسی

4.1 مدار اصلی: هیچ سوئیچ سوئیچ سوئیچ، سوئیچ الکترومغناطیسی، C / T در سری نوع

4.2 منبع تغذیه اشباع شده + منبع تغذیه منبع یون + منبع تغذیه (انرژی پیشرفته)

4.3 سیستم کنترل رسوب خورشید

4.4 سیستم عامل: صفحه لمسی + PLC، کنترل دستورالعمل و ثبت اطلاعات، خاموش شدن اتوماتیک، تخلیه اتوماتیک، پوشش اتوماتیک

4.5 سیستم اندازه گیری

فشار خلاء: خلاء سنج: Pirani + Penning سنج + کامل محدوده خلاء سنج - نام تجاری اروپا

دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل جریان جرم (4 راه)، حالت نمایشگر دیجیتال - مارک اروپا

4.6 سیستم هشدار: فشار هوا فشرده، جریان آب خنک کننده، عملیات غیرمستقیم

4.7 شاخص قدرت بار: شاخص ولتاژ و نشانگر جریان بار

5 سیستم رسوب

5.1 منبع رسوب: کاتد اسپاتری، منبع یون - نام تجاری اروپا

5.2 رسوب مواد: هدف کربن

6. زیر سیستم

6.1 سیستم کنترل فشرده هوای فشرده

6.2 سیستم خنک کننده آب: لوله جریان آب و سوپاپ سیستم

7. محیط کار

فشرده هوا: 5 ~ 8kg / cm2

آب خنک کننده: آب در دمای: 20 ~ 25 ℃، 200 لیتر / دقیقه،
فشار آب: 2 ~ 3 کیلوگرم / cm2

قدرت: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz)، 75kVA، متوسط ​​مصرف برق: 40KW

منطقه نصب: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

اگزوز: دریچه ای برای پمپ های مکانیکی

لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار دارد که به شما راه حل های پوشش کامل ارائه دهد.