|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | Multi950 |
| مقدار تولیدی: | ۱ عدد |
| قیمت: | depends on |
| شرایط پرداخت: | L/C، T/T |
| توانایی عرضه: | مجموعه 10 در هر ماه |
The ادغام فن آوری های PVD و PECVD در یک ماشین پوشش هیبریدی مزایای مختلفی را ارائه می دهد که می تواند منجر به بهبود کیفیت پوشش، قابلیت انعطاف پذیری، کنترل، کارایی، پس انداز هزینه شود.سفارشی سازی، و پایداری زیست محیطی.
Multi950 نقطه عطفی از سیستم های پوشش طراحی پیشرفته برای Royal Tech است. در اینجا، ما از دانش آموزان دانشگاه شانگهای و به ویژه فرآیند یگانگ چن تشکر می کنیم.خلاقيت و فداکاري خودخواهانه اش ارزش هاي نامحدود و الهام بخش تيم ماست.
در سال 2018، ما یک همکاری پروژه دیگر با فشار چین، مواد C-60 سپرده گذاری توسط
روش تبخير حرارتي تحريکي از قلب از آقاي ييمو يانگ و پروفسور چن براي راهنمايي و راهنمايي در هر پروژه نوآورانه اي تشکر مي کنيم
ویژگی های ماشین Multi950:
ردپای کامپکت
طراحی استاندارد ماژولار
انعطاف پذیر
قابل اعتماد
اتاق هشت گانه
ساختار دو درب برای دسترسی آسان
فرآیند PVD + PECVD
ویژگی های طراحی:
1انعطاف پذیری: قوس و کاتود های اسپوتر، فلنج های نصب منبع یون برای تبادل انعطاف پذیر استاندارد شده اند.
2• قابلیت استفاده از انواع مختلف فلزات ساده و آلیاژها؛ پوشش های نوری، پوشش های سخت، پوشش های نرم،فیلم های ترکیبی و فیلم های روان کننده جامد بر روی مواد فلزی و غیر فلزی.
3طراحی مستقیم جلو: ساختار دو درب، باز شدن جلو و عقب برای نگهداری آسان.
دستگاه Multi950 یک سیستم رسوب خلاء با چند عملکرد برای تحقیق و توسعه است.ما بالاخره طراحی و پیکربندی ها رو تایید کردیم تا بتونیم برنامه های R&Dشون رو برآورده کنیماین سیستم قادر است فیلم شفاف DLC را با فرآیند PECVD، پوشش های سخت بر روی ابزارها و فیلم نوری با کاتود اسپوتر قرار دهد. بر اساس این مفهوم طراحی ماشین آزمایشی،ما بعد از آن 3 سیستم پوشش دیگر را توسعه داده ایم:
1پوشش صفحه دوقطبی برای وسایل نقلیه الکتریکی سلول سوخت- FCEV1213،
2. سرامیک مستقیم مس DPC1215
3. سيستم اسپتر کردن انعطاف پذير - RTSP1215
این 4 مدل ماشین همگی با اتاق اوکتال هستند، عملکرد انعطاف پذیر و قابل اعتماد در کاربردهای مختلف به طور گسترده ای استفاده می شود.برای برآورده کردن فرایندهای پوشش نیاز به لایه های مختلف فلزی دارد.: آل، Cr، Cu، Au، Ag، Ni، Sn، SS و بسیاری دیگر از فلزات غیر فیری مغناطیسی؛
علاوه بر واحد منبع یون، به طور موثر چسبندگی فیلم ها را بر روی مواد مختلف زیربنایی با عملکرد حکاکی پلاسما و فرآیند PECVD برای سپرده گذاری برخی از لایه های کربن افزایش می دهد.
Multi950 - مشخصات فنی
| توضیحات | مولتی ۹۵۰ |
|
اتاق رسوب (ملی متر) عرض × عمق × ارتفاع |
1050 × 950 × 1350 |
|
منابع سپرده گذاری |
1 جفت کاتود اسپوتر MF |
| 1 جفت PECVD | |
| 8 مجموعه کاتود قوس | |
| منبع یون خطی | 1 مجموعه |
| منطقه ی یکسانی پلاسما (ملی متر) | φ650 x H750 |
| کاروسل | 6 × φ300 |
|
قدرت (KW) |
تعصب: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 × 36 | |
| قوس: 8 × 5 | |
| منبع یون: 1 x 5 | |
| سیستم کنترل گاز | MFC: 4 + 1 |
| سیستم گرمایش | 500°C، با کنترل PID زوج حرارتی |
| دریچه خلاء بالا | 2 |
| پمپ توربومولکولی | 2 × 2000L/S |
| پمپ ریشه | 1 × 300L/S |
| پمپ روتاری | 1 × 90 m3/h + 1 × 48 m3/h |
| اثر پا (L x W x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| کل قدرت (کیلو وات) | 150 |
خدمات و تیم های مهندسی رویال تک در محل پشتیبانی از مشتریان را ارائه می دهند، برای درخواست های خود با ما تماس بگیرید!
