رویال فناوری Multi950
——ماشین رسوب خلاء PVD + PECVD
ماشین Multi950 یک سیستم رسوب خلاء چند کاره سفارشی برای تحقیق و توسعه است.
پس از تبادلات شدید با تیم دانشگاه شانگهای به رهبری پروفسور چن، ما در نهایت طراحی و پیکربندی را برای اجرای برنامه های تحقیق و توسعه آنها تأیید کردیم.این سیستم قادر است فیلم DLC شفاف را با فرآیند PECVD، پوششهای سخت روی ابزارها و فیلم نوری با کاتد کندوپاش را رسوب دهد.بر اساس این مفهوم طراحی ماشین آزمایشی، ما 3 سیستم پوشش دیگر را پس از آن توسعه دادیم:
1. پوشش صفحه دوقطبی برای وسایل نقلیه الکتریکی سلول سوختی - FCEV1213
2. سرامیک مستقیم مس آبکاری- DPC1215
3. سیستم کندوپاش منعطف- سیستم آبکاری طلا PCB PC
این 3 دستگاه همگی دارای یک محفظه هشت ضلعی هستند که امکان عملکرد انعطاف پذیر و قابل اعتماد را در کاربردهای مختلف فراهم می کند.این فرآیندهای پوشش را برآورده می کند و به بسیاری از لایه های فلزی مختلف نیاز دارد: Al، Cr، Cu، Au، Ag، Ni، Sn، SS و بسیاری از فلزات غیر فرومغناطیسی دیگر.بعلاوه واحد منبع یون، چسبندگی فیلم ها را بر روی مواد زیرلایه مختلف با عملکرد اچ پلاسما و فرآیند PECVD برای رسوب برخی از لایه های مبتنی بر کربن به طور موثر افزایش می دهد.
Multi950 نقطه عطف سیستم های پوشش طراحی پیشرفته برای رویال فناوری است.با تشکر از دانشجویان دانشگاه شانگهای و پروفسور Yigang Chen که آنها را با فداکاری خلاقانه و فداکارانه خود رهبری کرد، آیا ما توانستیم اطلاعات ارزشمند او را به یک ماشین پیشرفته تبدیل کنیم.
در سال 2018 همکاری پروژه دیگری با پروفسور چن داشتیم.
رسوب مواد C-60 با روش تبخیر حرارتی القایی.
آقای ییمو یانگ و پروفسور چن برای این پروژه های نوآورانه اساسی بودند.
مزایای فنی
ویژگی های طراحی
1. انعطاف پذیری: کاتدهای قوس و کندوپاش، فلنج های نصب منبع یون برای تبادل انعطاف پذیر استاندارد شده اند.
2. تطبیق پذیری: می تواند انواع فلزات اساسی و آلیاژها را رسوب دهد.پوشش های نوری، پوشش های سخت، پوشش های نرم، فیلم های مرکب و فیلم های روان کننده جامد بر روی بسترهای مواد فلزی و غیرفلزی
3. طراحی مستقیم به جلو: ساختار 2 درب، باز کردن جلو و عقب برای تعمیر و نگهداری آسان
مشخصات فنی
مدل: Multi-950
محفظه رسوب گذاری (میلی متر)
قطر x ارتفاع: φ950 x 1350
منابع رسوب: 1 جفت کاتد کندوپاش MF
1 جفت PECVD
8 مجموعه کاتد قوس
1 مجموعه منبع یون خطی
ناحیه یکنواخت پلاسما (mm): φ650 x H750
چرخ فلک: 6 xφ300
بایاس توان (KW): 1 x 36
توان کندوپاش MF (KW): 1 x 36
PECVD (KW): 1 x 36
قوس (KW): 8 x 5
منبع یون (KW): 1 x 5
سیستم کنترل گاز MFC: 4 + 1
سیستم گرمایش: 18 کیلووات، تا 500 ℃، با کنترل PID زوج حرارتی
شیر دریچه خلاء بالا: 2
پمپ مولکولی توربو: 2 x 2000L/S
پمپ ریشه: 1 x 300L/S
پمپ پره های دوار: 1 x 90 m³/h + 1 x 48 m³/h
ردپای (طول x عرض x ارتفاع) میلیمتر: 3000 * 4000 * 3200
توان کل (KW): 150
چیدمان
زمان ساخت: 2015
مکان: دانشگاه شانگهای، چین