فیلم رنگارنگ سطح رنگارنگ Magnetron Sputtering Pvd دستگاه پوشش خلاء موزائیک

برنامه های کاربردی:

دستگاه RTSP1213 یک سیستم پاشش مدل دسته ای است ، می تواند انواع مختلفی از پوشش های سخت ، پوشش های نرم ، فیلمهای مرکب و فیلمهای روان کننده جامد را روی بسترهای فلزی و غیر فلزی قرار دهد. مورد استفاده در موزائیک ، صنایع خودروهای سوخت هیدروژن سلولی ، محصولات فوتونیک ، هوافضا و سایر صنایع انرژی جدید.

خواص:

برای بهبود رسانایی سطح؛

مقاومت در برابر خوردگی بالا؛

مقاومت در برابر سایش بالا؛

سختی بالا

فیلم ترکیبی آبگریز و فیلمهای کاربردی دیگر

برای پوشش های مرکب در دسترس است: فیلم های فلزی و غیر فلزی.

ضخامت فیلم از 100nm تا 12μm ، تحمل ضخامت 5 ±
چسبندگی شدید.

درمان سخت شدن سطح قطعات با درجه حرارت پایین.

نوع:

جهت یابی عمودی ، ساختار چند جداره ، دو درب (جلو و عقب)

امکانات:

• سیستم سازگار با محیط زیست ، عدم وجود پساب صنعتی ، آلودگی هوا و آلودگی به فاضلاب
• عملکرد آسان: صفحه نمایش لمسی + کنترل PLC و برنامه نرم افزاری منحصر به فرد برای یک عمل لمسی ، بیش از 80٪ زنگ خطر تیراندازی با مشکل است.
• ورود به سیستم و تهیه نسخه پشتیبان از 10 دستور العمل پردازش. تکرارپذیری بالا و تنوع.
• طراحی ویژه سیستم چرخ فلک برای یکنواختی بالای رسوب فیلم.
• بهره وری بالا و کیفیت بالا
• سیستم پایدار و مطمئن ، در حال اجرا 365 روز * 24 ساعته (زمان تعمیر و نگهداری و تعمیر)
• سیستم پمپاژ بهره وری: خطوط لوله کشی خلاء کوتاهتر برای حداکثر سرعت لوله کشی با پمپ های معروف مارک اروپا
• طراحی جمع و جور حداقل فضای نصب را اشغال می کند.

مشخصات فنی

• کارایی

1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 8.0 * 10 ^-5 Pa؛

• فشار خلاء پایه: 3.0 * 10 ^{- 4} Pa

3. زمان پمپاژ: از اتمسفر تا 1.0 × 10 ^{- 3} دقیقه 15≤ ((دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)

4- منبع انحلال: كاتدهای لكه‌دار متعادل / نامتوازن

5. مدل عملیاتی: کامل به صورت خودکار / نیمه خودکار / دستی

6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 450 ℃ ،

7. تمیز کردن پلاسما و رسوب پلاسما: منبع یون خطی آند

8. مغناطیسی بسته - حلقه ثبت شد. (کاتدهای عدم تعادل / تعادل)

9. منبع تغذیه بایاس برای تخلیه درخشش.

• ساختار

دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلید است که در زیر ذکر شده است:

1. اتاق خلاء
1.1 اندازه: قطر داخلی 1200 میلی متر

ارتفاع داخلی: 1300 میلی متر

1.2 مواد: اتاق خلاء SUS304

درب و فلنج SUS304

ساختار تقویت اتاق: فولاد خفیف SS41 ، با سطح تصفیه سطح رنگی.

شاسی اتاقک فولاد خفیف SS41 با سطح تصفیه سطح رنگی.

1.3 Sputtering Shield: SUS304

1.4 نمایش پنجره: روی درب محفظه - 4 مجموعه (2 در هر درب)

1.5 دریچه تهویه اتاق خلاء (از جمله صدا خفه کن)

1.6 درب: مواد SUS304

2. سیستم پمپاژ خلاء Rou ghing :

پمپ خلاء وان چرخشی روغن + پمپ ریشه + پمپ نگهدارنده (Leybold)

3. سیستم پمپاژ خلاء بالا :

پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی (Leybold)

• دریچه های دروازه - 2 مجموعه

4. سیستم کنترل و عملکرد الکتریکی - صفحه نمایش لمسی PLC +

4.1 مدار اصلی: سوئیچ شکن بدون فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T در نوع سری

4.2 منبع تغذیه لکنت + منبع تغذیه منبع یون + منبع تغذیه بایاس (انرژی پیشرفته)

4.3 سیستم کنترل رسوب پراکنده

سیستم عامل 4.4: صفحه لمسی + PLC ، کنترل دستور العمل و ورود به سیستم داده ها ، خاموش کردن خودکار ، تخلیه خودکار ، پوشش خودکار

4.5 سیستم اندازه گیری

فشار خلا: سنج خلا: پیرانی + سنج سنج + خلاء سنج کامل - برند اروپا

دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل کننده جریان گسترده (4 روش) ، حالت نمایش دیجیتال - برند اروپا

4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد اشتباه

4.7 شاخص بار توان: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار

5 سیستم انباشت

5.1 منبع انباشت: کاتدهای پراکنده ، منبع یون - مارک اروپا

5.2 مواد انباشت: هدف كربن

6. زیر سیستم

6.1 سیستم کنترل فشار دریچه هوا

6.2 سیستم آب خنک کننده: سیستم لوله انتقال آب و شیر سوئیچ

7. محیط کار

هوای فشرده: 8 g 5kg / cm2

آب خنک کننده: دمای دمای آب: 25 20 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار در آب: 3 2 2 kg / cm2 ،

توان: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 75kVA ، متوسط ​​مصرف برق: 40KW

محل نصب: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

اگزوز: برای پمپ های مکانیکی بخاری

لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، رویال فناوری مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.