نام تجاری: | ROYAL |
شماره مدل: | RTAC / RTSP |
مقدار تولیدی: | 12 مجموعه |
قیمت: | قابل مذاکره |
شرایط پرداخت: | اعتبارات اسنادی، D/A، D/P T/T، وسترن یونیون، MoneyGram |
توانایی عرضه: | 6 مجموعه در هر ماه |
فیلم رنگارنگ سطح رنگارنگ Magnetron Sputtering Pvd دستگاه پوشش خلاء موزائیک
برنامه های کاربردی:
دستگاه RTSP1213 یک سیستم پاشش مدل دسته ای است ، می تواند انواع مختلفی از پوشش های سخت ، پوشش های نرم ، فیلمهای مرکب و فیلمهای روان کننده جامد را روی بسترهای فلزی و غیر فلزی قرار دهد. مورد استفاده در موزائیک ، صنایع خودروهای سوخت هیدروژن سلولی ، محصولات فوتونیک ، هوافضا و سایر صنایع انرژی جدید.
خواص:
برای بهبود رسانایی سطح؛
مقاومت در برابر خوردگی بالا؛
مقاومت در برابر سایش بالا؛
سختی بالا
فیلم ترکیبی آبگریز و فیلمهای کاربردی دیگر
برای پوشش های مرکب در دسترس است: فیلم های فلزی و غیر فلزی.
ضخامت فیلم از 100nm تا 12μm ، تحمل ضخامت 5 ±
چسبندگی شدید.
درمان سخت شدن سطح قطعات با درجه حرارت پایین.
نوع:
جهت یابی عمودی ، ساختار چند جداره ، دو درب (جلو و عقب)
امکانات:
مشخصات فنی
1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 8.0 * 10 -5 Pa؛
3. زمان پمپاژ: از اتمسفر تا 1.0 × 10 - 3 دقیقه 15≤ ((دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)
4- منبع انحلال: كاتدهای لكهدار متعادل / نامتوازن
5. مدل عملیاتی: کامل به صورت خودکار / نیمه خودکار / دستی
6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 450 ℃ ،
7. تمیز کردن پلاسما و رسوب پلاسما: منبع یون خطی آند
8. مغناطیسی بسته - حلقه ثبت شد. (کاتدهای عدم تعادل / تعادل)
9. منبع تغذیه بایاس برای تخلیه درخشش.
دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلید است که در زیر ذکر شده است:
1. اتاق خلاء
1.1 اندازه: قطر داخلی 1200 میلی متر
ارتفاع داخلی: 1300 میلی متر
1.2 مواد: اتاق خلاء SUS304
درب و فلنج SUS304
ساختار تقویت اتاق: فولاد خفیف SS41 ، با سطح تصفیه سطح رنگی.
شاسی اتاقک فولاد خفیف SS41 با سطح تصفیه سطح رنگی.
1.3 Sputtering Shield: SUS304
1.4 نمایش پنجره: روی درب محفظه - 4 مجموعه (2 در هر درب)
1.5 دریچه تهویه اتاق خلاء (از جمله صدا خفه کن)
1.6 درب: مواد SUS304
2. سیستم پمپاژ خلاء Rou ghing :
پمپ خلاء وان چرخشی روغن + پمپ ریشه + پمپ نگهدارنده (Leybold)
3. سیستم پمپاژ خلاء بالا :
پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی (Leybold)
4. سیستم کنترل و عملکرد الکتریکی - صفحه نمایش لمسی PLC +
4.1 مدار اصلی: سوئیچ شکن بدون فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T در نوع سری
4.2 منبع تغذیه لکنت + منبع تغذیه منبع یون + منبع تغذیه بایاس (انرژی پیشرفته)
4.3 سیستم کنترل رسوب پراکنده
سیستم عامل 4.4: صفحه لمسی + PLC ، کنترل دستور العمل و ورود به سیستم داده ها ، خاموش کردن خودکار ، تخلیه خودکار ، پوشش خودکار
4.5 سیستم اندازه گیری
فشار خلا: سنج خلا: پیرانی + سنج سنج + خلاء سنج کامل - برند اروپا
دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل کننده جریان گسترده (4 روش) ، حالت نمایش دیجیتال - برند اروپا
4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد اشتباه
4.7 شاخص بار توان: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار
5 سیستم انباشت
5.1 منبع انباشت: کاتدهای پراکنده ، منبع یون - مارک اروپا
5.2 مواد انباشت: هدف كربن
6. زیر سیستم
6.1 سیستم کنترل فشار دریچه هوا
6.2 سیستم آب خنک کننده: سیستم لوله انتقال آب و شیر سوئیچ
7. محیط کار
هوای فشرده: 8 g 5kg / cm2
آب خنک کننده: دمای دمای آب: 25 20 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار در آب: 3 2 2 kg / cm2 ،
توان: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 75kVA ، متوسط مصرف برق: 40KW
محل نصب: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm
اگزوز: برای پمپ های مکانیکی بخاری
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، رویال فناوری مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.