|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RTSP1200 |
| مقدار تولیدی: | ۱ عدد |
| قیمت: | قابل مذاکره |
| شرایط پرداخت: | L/C، D/A، D/P، T/T |
| توانایی عرضه: | 6 مجموعه در هر ماه |
مدل ماشین: RT1200-FCEV
تکنولوژی: با PECVD + PVD Magnetron Sputtering Depositing: Si، Cr، اهداف گرافیت، برای تولید میدان مغناطیسی بسته نامتعادل برای چگالی بالا،یکسانی بالا و مقاومت بسیار عالی در برابر خوردگی فیلم کربن.
اينRT۱۲۰۰-FCEVسيستم سپتر کردن ماگنترون با خلاء بالا مدل تاييد شده اي است که به مدل Multi950-R&D اشاره دارد که ما براي دانشگاه شانگهاي ساخته ايم.
آن را با اتاق Octal طراحی شده است، عملکرد انعطاف پذیر و قابل اعتماد به طور گسترده ای در برنامه های کاربردی مختلف استفاده می شود. آن را برآورده کردن فرایندهای پوشش نیاز به لایه های فلزی چند مختلف: Ta، Cr، Si،گرافیت، آل، Cr، Cu، Au، Ag، Ni، Sn، SS و بسیاری از فلزات غیر آهن مغناطیسی دیگر؛ به علاوه واحد منبع یون،
به طور کارآمد چسبندگی فیلم را بر روی مواد مختلف زیربنایی با عملکرد حکاکی پلاسما و فرآیند PECVD برای سپرده گذاری برخی از لایه های کربن افزایش می دهد.
ساختار تجهیزات:
جهت گیری عمودی، ساختار هشت گوشه ای، 2 درب باز (پیش و عقب) برای دسترسی آسان.
مشخصات تجهیزات:
سیستم سازگار با محیط زیست، بدون زباله های خطرناک
یکپارچگی بالا، طراحی ماژولار
تجاری و استاندارد برای تولید انبوه صنعتی
منبع یون بسیار کارآمد برای چسبندگی قوی و یونیزاسیون بالا
عملکرد آسان: صفحه لمسی + کنترل PLC، یک عملیات لمسی
با استفاده از نرم افزار Royal Technology، پارامترهای فرآیند را می توان برنامه ریزی، ذخیره و بازتولید کرد
طراحی ویژه سیستم کاروسل برای رسوب بسیار یکنواخت
بهره وری بالا و ثبات، کار 24/7 در هفته
انعطاف پذیر، متناسب با اندازه های مختلف صفحات، برای پوشش یک طرفه یا دو طرفه
عملکرد فیلم پوشش PVD و PECVD:
برای بهبود رسانایی سطح
مقاومت در برابر خوردگی بالا
مقاومت در برابر سایش بالا
سختی بالا
فیلم های ترکیب هیدروفوب و سایر فیلم های کاربردی
در دسترس برای پوشش های ترکیبی: فیلم های فلزی و غیر فلزی
دامنه ضخامت فیلم از 100nm تا 12μm، تحمل ضخامت ± 5٪ چسبندگی قوی
درمان سطح سخت کردن قطعات کم گرما
| مدل | RT۱۲۰۰-FCEV | |||||||||
| مواد | فولاد ضد زنگ (S304) | |||||||||
| اندازه اتاق | Φ1250*1350mm (H) | |||||||||
| نوع اتاق | ساختار دو درب جلو و عقب، عمودی | |||||||||
| بسته بندی پمپ واحد | پمپ خلاء پیستون چرخان | |||||||||
| پمپ خلاء ریشه | ||||||||||
| پمپ مولکولی معلق مغناطیسی | ||||||||||
| پمپ چرخ دار (پمپ نگهدارنده) | ||||||||||
| تکنولوژی | اسپتر کردن مغناطیس، منبع یون PECVD | |||||||||
| منبع برق | منبع برق اسپترینگ + منبع برق Bias + منبع یون | |||||||||
| منبع سپرده گذاری | 2 جفت کاتود های SPUTTER DC/RF + (2 جفت استفاده از اسپر) + منبع یون | |||||||||
| کنترل | PLC + صفحه لمسی | |||||||||
| گاز | اندازه گیری جریان جرم گاز (Ar، N2، C2H2، O2) آرگون، نیتروژن و اتین، اکسیژن | |||||||||
| سیستم ایمنی | قفل های امنیتی متعدد برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات | |||||||||
| خنک کننده | آب خنک کننده | |||||||||
| تمیز کردن | تخلیه درخشش/منبع یون | |||||||||
| "پاور مکس". | 150KW | |||||||||
| مصرف متوسط برق | 75KW | |||||||||
لطفا برای اطلاعات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار می کند که راه حل های پوشش کامل را برای شما فراهم کند.
