ورق آلومینیوم اکسید PVD، محصولات مس مسطح مستقیم، تجهیزات چند ساله تجهیزات خلاء خلاء

قطعات آلومینیومی دستگاه آبکاری مس PVD Plate Plating Plating Coping oncnc قطعات فرز آلومینیومی

واژه‌های کلیدی: محصولات آلومینیومی با روکش مستقیم ، فرایند PECVD ، فیلم DLC ، فیلم الماس مانند کربن ، فیلم نوری Sputtering ، کاتولوگ اسپلیت گنکوآ مگنترون ، منبع یون ، PA PVD

ویژگی های طراحی RTAC950-SP:

• انعطاف پذیری: قوس و پاشش منابع ، دستگاه های خطی یونی خط منبع نصب شده برای جابجایی انعطاف پذیر استاندارد هستند
• تطبیق پذیری: در دسترس برای انواع سپرده فلزات پایه و آلیاژها ، روکشهای نوری ، پوشش های نرم. فیلمهای ترکیبی و فیلمهای روان کننده جامد روی بسترهای فلزی و غیر فلزی
• طراحی مستقیم رو به جلو: ساختار دو درب ، جلو و عقب برای نگهداری آسان

مشخصات فنی

• کارایی

1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 8.0 * 10 ^{- 4} Pa؛

• فشار خلاء پایه: 3.0 * 10 ^{- 2} Pa

3. زمان پمپاژ: از اتمسفر تا 1.0 × 10 ^{- 3} دقیقه 15-15 (دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)

4- منبع انباشت: کاتد های لکه دار گنکوآ مگنترون ، کاتدهای قوس دار ، منبع یون

5. مدل عملیاتی: کامل به صورت خودکار / نیمه خودکار / دستی

6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 500 ℃ ،

9. منبع یون برای فرآیند PECVD و PA PVD.

• ساختار

دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلید است که در زیر ذکر شده است:

1. اتاق خلاء
1.1 اندازه: عمق داخلی 950 میلی متر

ارتفاع داخلی: 1350 میلی متر

1.2 مواد: اتاق خلاء SUS304

درب و فلنج SUS304

ساختار تقویت اتاق: فولاد خفیف SS41 ، با سطح تصفیه سطح رنگی.

شاسی اتاقک فولاد خفیف SS41 با سطح تصفیه سطح رنگی.

1.3 سپر اتاق: SUS304

1.4 نمایش پنجره: روی درهای اتاق -2

1.5 دریچه تهویه اتاق خلاء (از جمله صدا خفه کن)

1.6 درب: 2 مجموعه ، جلو و عقب ، مواد SUS304

2. سیستم پمپاژ خلاء خشن:
پمپ خلاء وان چرخشی روغن + پمپ نگهدارنده

3. سیستم پمپاژ خلاء بالا:

پمپ مولکولی توربو - 2 مجموعه

4. سیستم کنترل و عملکرد الکتریکی- PLC + سیستم لمسی ScreenOperation:

تهیه کنندگان:

PLC: میتسوبیشی ، مدل: سریال FX-IN60MR-001

قطعات الکترونیکی: SCHNEIDER ، OMRON.

سیستم محافظت از ایمنی: برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات (آب ، گاز فعلی ، دما و غیره) با هم قفل ایمنی بیشماری

سیستم فرآیندهای پوشش : اتوماسیون فرآیند و کنترل. به طور خودکار به مدت 3 ماه در حافظه ذخیره می شود. داده های دستور العمل های پوشش برجسته: جریان / ولتاژ عملکرد هدف ، جریان جرم ، فشار خلا ، دما ، زمان پوشش برای تجزیه و تحلیل برای افزایش کیفیت پوشش ذخیره می شود.

4.1 مدار اصلی: سوئیچ شکن بدون فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T در نوع سری

4.2 منبع تغذیه: منبع تغذیه MF + توان DC Arc + منبع تغذیه Bias

4.3 سیستم کنترل رسوب

سیستم عامل 4.4: صفحه لمسی + PLC ، کنترل دستور العمل و ورود به سیستم داده ها ، خاموش کردن خودکار ، تخلیه خودکار ، پوشش خودکار

4.5 سیستم اندازه گیری

فشار خلا: سنج خلا: پیرانی + سنج سنج + خلاء سنج کامل - برند اروپا

دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل کننده جریان گسترده (4 روش) ،

4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد اشتباه

4.7 شاخص بار توان: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار

5 سیستم انباشت

5.1 منبع انباشت: کاتدهای پراکنده + منابع قوس + منبع یون

5.2 مواد انباشت: ITO ، تیتانیوم ، کروم ، آلومینیوم ، فولاد ضد زنگ ، TiAl و غیره

6. زیر سیستم

6.1 سیستم کنترل فشار دریچه هوا

6.2 سیستم آب خنک کننده: سیستم لوله انتقال آب و شیر سوئیچ

7. محیط کار

هوای فشرده: 8 g 5kg / cm2

آب خنک کننده: دمای دمای آب: 25 20 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار در آب: 3 2 2 kg / cm2 ،

توان: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 130kVA ، متوسط ​​مصرف برق: 60KW

محل نصب: (L * W * H) 4400 * 3200 * 2950mm

اگزوز: برای پمپ های مکانیکی بخاری

لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، رویال فناوری مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.