سیستم رسوب اسپتر کردن مغناطیس

سیستم انباشت اسپیرون فوتونیک برای فیلم ترکیبی آبگریز و سایر فیلمهای کاربردی

برنامه های کاربردی:

دستگاه RTSP1213 یک سیستم پاشش مدل دسته ای است ، می تواند انواع مختلفی از پوشش های سخت ، پوشش های نرم ، فیلمهای مرکب و فیلمهای روان کننده جامد را روی بسترهای فلزی و غیر فلزی قرار دهد. در صنایع خودروهای سوخت هیدروژن ، محصولات فوتونیک ، هوافضا و سایر صنایع انرژی جدید کاربرد دارد.

خواص:

برای بهبود رسانایی سطح؛

مقاومت در برابر خوردگی بالا؛

مقاومت در برابر سایش بالا؛

سختی بالا

فیلم ترکیبی آبگریز و فیلمهای کاربردی دیگر

برای پوشش های مرکب موجود: فیلم های فلزی و غیر فلزی.

ضخامت فیلم از 100nm تا 12μm ، تحمل ضخامت 5 ±
چسبندگی شدید.

درمان سخت شدن سطح قطعات با درجه حرارت پایین.

نوع:

جهت گیری عمودی ، ساختار چند جداره ، دو درب (جلو و عقب)

امکانات:

• سیستم سازگار با محیط زیست ، عدم وجود پساب صنعتی ، آلودگی هوا و سر و صدا.
• عملیات آسان: صفحه نمایش لمسی + کنترل PLC و برنامه نرم افزاری منحصر به فرد برای یک عمل لمسی ، بیش از 80٪ زنگ خطر تیراندازی با مشکل است.
• ورود به سیستم و تهیه نسخه پشتیبان از 10 دستور العمل پردازش. تکرارپذیری بالا و تنوع.
• طراحی ویژه سیستم چرخ فلک برای یکنواختی بالای رسوب فیلم.
• بهره وری بالا و کیفیت بالا
• سیستم پایدار و قابل اعتماد ، در حال اجرا 365 روز * 24 ساعته (تعمیر و نگهداری و تعمیر زمان شکستن)
• سیستم پمپاژ بهره وری: خطوط لوله کشی خلاء کوتاهتر برای حداکثر سرعت لوله کشی با پمپ های مارک معروف اروپا
• طراحی جمع و جور حداقل فضای نصب را اشغال می کند.

مشخصات فنی

• کارایی

1. فشار خلاء نهایی: بهتر از 8.0 * 10 ^-5 Pa؛

• فشار خلاء پایه: 3.0 * 10 ^{- 4} Pa

3. زمان پمپاژ: از اتمسفر تا 1.0 × 10 ^{- 3} Pa≤15 دقیقه (دمای اتاق ، محفظه خشک ، تمیز و خالی)

4- منبع انحلال: كاتدهای لكه‌دار متعادل / نامتوازن

5. مدل عملیاتی: کامل به صورت خودکار / نیمه خودکار / دستی

6. گرمایش: از دمای اتاق تا حداکثر. 450 ℃ ،

7. تمیز کردن پلاسما و رسوب پلاسما: منبع یون خطی آند

8. مغناطیسی بسته - حلقه ثبت شد. (کاتدهای عدم تعادل / تعادل)

9. منبع تغذیه بایاس برای تخلیه درخشش.

• ساختار

دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم تکمیل شده کلید است که در زیر ذکر شده است:

1. اتاق خلاء
1.1 اندازه: قطر داخلی 1200 میلی متر

ارتفاع داخلی: 1300 میلی متر

1.2 مواد: اتاق خلاء SUS304

درب و فلنج SUS304

ساختار تقویت اتاق: فولاد خفیف SS41 ، با سطح تصفیه سطح رنگی.

شاسی اتاقک فولاد خفیف SS41 با سطح تصفیه سطح رنگ شده.

1.3 Sputtering Shield: SUS304

1.4 نمایش پنجره: روی درب محفظه - 4 مجموعه (2 در هر درب)

دریچه تهویه اتاق خلاء 1.5 (از جمله صدا خفه کن)

1.6 درب: مواد SUS304

2. سیستم پمپاژ خلاء Rou ghing :

پمپ خلاء وان چرخشی روغن + پمپ ریشه + پمپ نگهدارنده (Leybold)

3. سیستم پمپاژ خلاء بالا :

پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی (Leybold)

• دریچه های دروازه - 2 مجموعه

4. سیستم کنترل انرژی و بهره برداری - PLC + صفحه لمسی

4.1 مدار اصلی: سوئیچ شکن بدون فیوز ، سوئیچ الکترومغناطیسی ، C / T در نوع سری

4.2 منبع تغذیه لکنت + منبع تغذیه منبع یون + منبع تغذیه بایاس (انرژی پیشرفته)

4.3 سیستم کنترل رسوب پراکنده

سیستم عامل 4.4: صفحه لمسی + PLC ، کنترل دستور العمل و ورود به سیستم داده ها ، خاموش کردن خودکار ، تخلیه خودکار ، پوشش خودکار

سیستم اندازه گیری 4.5

فشار خلا: سنج خلا: پیرانی + سنج سنج + خلاء اندازه گیری کامل - برند اروپا

دستگاه اندازه گیری دما: ترموکوپل
MFC: کنترل کننده جریان گسترده (4 روش) ، حالت نمایش دیجیتال - برند اروپا

4.6 سیستم هشدار: فشار هوای فشرده ، جریان آب خنک کننده ، عملکرد اشتباه

4.7 شاخص بار توان: نشانگر ولتاژ و نشانگر جریان بار

5 سیستم انباشت

5.1 منبع انباشت: کاتدهای پراکنده ، منبع یون - مارک اروپا

5.2 مواد انباشت: هدف كربن

6. زیر سیستم

6.1 سیستم کنترل فشار دریچه هوا

6.2 سیستم آب خنک کننده: سیستم لوله انتقال آب و شیر سوئیچ

7. محیط کار

هوای فشرده: 8 g 5kg / cm2

آب خنک کننده: دمای دمای آب: 25 20 25 ℃ ، 200 لیتر در دقیقه ،
فشار در آب: 3 2 2 kg / cm2 ،

توان: 3 فاز 380V 50Hz (60Hz) ، 75kVA ، متوسط ​​مصرف برق: 40KW

محل نصب: (L * W * H) 3000 * 4000 * 3200mm

اگزوز: هوا برای پمپهای مکانیکی

چرا ما؟

1. ماشین آلات تولید پیشرفته (فرز ، جوشکاری ، برش ، آزمایش نشت خلاء) همراه با رویه های تولید استاندارد و تست های دقیق ، رویال فناوری را قادر می سازد سیستم های پوشش با کیفیت ، مطمئن و کم هزینه تولید کند.

2. کیفیت ، خدمات و تحویل به موقع اصول اصلی تجارت فناوری رویال است. یک استراتژی تأمین منابع باز به طور آزاد بر روی تولیدکننده های حرفه ای به ما این امکان را می دهد تا توجه خود را به بخش ها و مؤلفه های اصلی تحقیق و توسعه ، تولید معطوف کنیم.

3. سیاست های دقیق کنترل کیفیت و انتخاب دقیق تهیه کنندگان واجد شرایط اطمینان می دهد که مشتریان Royal Technology پیشرفته ترین و با کیفیت ترین تجهیزات را با مقرون به صرفه ترین قیمت دریافت می کنند.

لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید ، Royal Technology مفتخر است که راه حلهای پوشش کامل را به شما ارائه دهد.