دستگاه پوشش خلاء PVD DPC

فرآیند DPC- Direct Plating Copper یک فناوری پوشش پیشرفته است که در صنایع LED / نیمه هادی / الکترونیک استفاده می شود.

رسوب فیلم رسانای کوپر بر روی Al2O3، AlN، Si، زیربناهای شیشه ای با تکنولوژی اسپتر کردن خلاء PVD، در مقایسه با روش های تولید سنتی: DBC LTCC HTCC، ویژگی ها:

1هزینه تولید خیلی پایین تر است.

2مدیریت حرارتی برجسته و عملکرد انتقال گرما

3. تراز دقیق و طراحی الگوی

4. چگالي محور بالا

5چسبندگی خوب و قابلیت جوش

تیم تکنولوژی سلطنتی به مشتری ما کمک کرد تا فرآیند DPC را با موفقیت با تکنولوژی PVD توسعه دهد.
به دلیل عملکرد پیشرفته آن، زیربناهای DPC به طور گسترده ای در کاربردهای مختلف استفاده می شود:

روشنایی بالا LED برای افزایش طول عمر طولانی به دلیل آن بالاتابش گرماعملکرد، تجهیزات نیمه هادی، ارتباطات بی سیم مایکروویو، الکترونیک نظامی، سوابق سنسورهای مختلف، هوافضا، حمل و نقل راه آهن، برق و غیره

تجهیزات RTAC1215-SP به طور انحصاری برای فرآیند DPC طراحی شده است که لایه کوپر را بر روی زیربناها قرار می دهد.با تکنیک های پوشش یون چند قوس و اسپتر کردن مغناطیس برای به دست آوردن فیلم ایده آل با چگالی بالا، مقاومت در برابر سایش بالا، سختی بالا و اتصال قوی در محیط خلاء بالا.

ویژگی های اصلی ماشین پوشش اسپوتینگ مس

1مجهز به 8 کاتود قوس هدایت و کاتودهای SPUTTER DC، کاتودهای SPUTTER MF، واحد منبع یون.

2پوشش چند لایه و هم پاشی در دسترس است

3. منبع یون برای پیش درمان تمیز کردن پلاسما و رسوب کمک شده توسط پرتوی یون برای افزایش چسبندگی فیلم

4- واحد گرم کردن سراسرهای سرامیکی/ Al2O3/AlN

5سیستم چرخش و انقلاب بستر، برای پوشش یک طرفه و پوشش دو طرفه.

مشخصات ماشین پوشش اسپوتینگ مس

عملکرد

1فشار خلاء نهایی: بهتر از 5.0×10^-6تور

2فشار خلاء کار: 1.0×10^-4تور

3زمان پمپاژ: از 1 اتم تا 1.0×10^-4Torr≤ 3 دقیقه (در دمای اتاق، اتاق خشک، تمیز و خالی)

4مواد فلزی (پست کردن + تبخیر قوس): Ni، Cu، Ag، Au، Ti، Zr، Cr و غیره

5مدل کار: کامل اتوماتیک / نیمه اتوماتیک / دستی

ساختار

دستگاه پوشش خلاء شامل سیستم کلیدی تکمیل شده است که در زیر ذکر شده است:

1اتاق خلاء

2. سیستم پمپاژ خلاء خروجی (پاکت پمپ پشتیبان)

3. سیستم پمپاژ با خلاء بالا (پمپ مولکولی معلق مغناطیسی)

4سیستم کنترل و کاربری الکتریکی

5سیستم امکانات کمکی (نظام فرعی)

6. سیستم سپرده گذاری

نمونه ها

لطفا برای اطلاعات بیشتر با ما تماس بگیرید، تکنولوژی سلطنتی افتخار می کند که راه حل های پوشش کامل را برای شما فراهم کند.