|
| نام تجاری: | ROYAL |
| شماره مدل: | RTSP1000 |
| مقدار تولیدی: | ۱ عدد |
| توانایی عرضه: | مجموعه 10 در هر ماه |
سیستم رسوب کندوپاش مگنترون نامتعادل میدان بسته، آبکاری یونی کندوپاش مگنترون نامتعادل
فرآیندهای مگنترون میدان بسته نامتعادل، تمام مزایای مگنترون مسطح را دارند.مزایا و معایب اضافی عبارتند از:
کندوپاش مگنترون نامتعادل و میدان بسته خواص قابل دستیابی با فرآیندهای کندوپاش مگنترون را متحول کرد.همانطور که این فناوری با بهبود لایه نازک تریبولوژیکی، مقاومت در برابر خوردگی و خواص نوری موفق بود، پیشرفت در فناوری مگنترون تازه آغاز شده بود.وبلاگ بعدی به فرآیندهای مگنترون دوار و استوانه ای و کاربردهای لایه نازک حاصل می پردازیم.
--- بالاتر از Artical ازپیت آر مارتین
فناوری سلطنتی کاتدهای کندوپاش با بازده بالا و استفاده از هدف بالا را توسعه داد، به ویژه برای کندوپاش کردن فلزات کمیاب و گران قیمت: رسوب فیلم‌های فلزی نقره طلا، تانتالم، نقره.سیستم رسوب فیلم با یکنواختی بالا به چندین صنعت مانند قطعات الکترونیک، قطعات ابزار پزشکی که نیاز به یکنواختی فیلم بالا، رسوب چند لایه دارند، خدمات رسانی می کند.
ماشین RTSP1000 یک ماشین استاندارد است که توسط فناوری رویال توسعه یافته است.کاربرد گسترده ای با ابزارهای برش / شکل دهی، قالب ها، ابزار پزشکی، قطعات الکترونیکی، صنایع خودروسازی.
| RTSP1000 تنظیمات اصلی و پارامترهای فنی | ||||||||
| مدل | RTSP1000 | |||||||
| فن آوری | کندوپاش مگنترون MF + تمیز کردن منبع یون پلاسما | |||||||
| مواد محفظه | فولاد ضد زنگ (S304) | |||||||
| اندازه اتاق | Φ1000*800mm (H) | |||||||
| نوع اتاقک | شکل D | |||||||
| سیستم قفسه چرخشی و جیگ | حداکثر 6 ماهوارهوزن: 500 کیلوگرم | |||||||
| منابع تغذیه |
تعداداز کندوپاش: 2*24 کیلووات بایاس منبع تغذیه: منبع تغذیه 1*20W یون منبع تغذیه 1*5KW |
|||||||
| مواد رسوبی | Ti/Cr/TiAl/Ta/Cu/Au/Carbon و غیره | |||||||
| منبع رسوب | 2 جفت (4 قطعه) کاتدهای کندوپاش مسطح + 1 منبع یون خطی سطح یکنواخت: ± 10 ~ 15٪ |
|||||||
| کنترل | PLC (کنترل کننده منطقی قابل برنامه ریزی) + صفحه لمسی (مدل های عملکرد دستی + خودکار + نیمه خودکار) | |||||||
| سیستم پمپ | پمپ پره دوار: SV300B - 1 مجموعه (Leybold) | |||||||
| پمپ ریشه: WAU1001- 1 مجموعه (Leybold) | ||||||||
| پمپ نگهدارنده: D60C- 1 مجموعه (Leybold) | ||||||||
| پمپ مولکولی تعلیق مغناطیسی - 1 مجموعه (Leybold) | ||||||||
| کنترل کننده جریان جرم گاز | 4 کانال، ساخت چین، مدل دیجیتال Seven Star (سری CS، ). | |||||||
| گیج خلاء | مدل: ZDF-X-LE، ساخت چین: ZDF-X-LE | |||||||
| منبع یون خطی | 1 قطعه پیش درمان، تمیز کردن پلاسما + رسوب کمکی | |||||||
| سیستم ایمنی | اینترلاک های ایمنی متعدد برای محافظت از اپراتورها و تجهیزات | |||||||
| گرمایش | بخاری: 30 کیلو وات.حداکثردما: 450 ℃ | |||||||
| خنک کننده | چیلر صنعتی (آب سرد) | |||||||
| حداکثر توان | 100 کیلو وات (تقریبا) | |||||||
| میانگین مصرف برق | 45 کیلو وات (تقریبا) | |||||||
| وزن ناخالص | T (تقریبا) | |||||||
| چاپ پا | (L*W*H) 4000*4000 *3200 میلی‌متر | |||||||
| برق برق | AC 380 ولت / 3 فاز / 50 هرتز / 5 خط | |||||||
استفاده از هدف بالا رسوب کندوپاش مسطح: لطفااینجا کلیک کنیدبرای تماشای ویدیو
تمیز کردن پلاسما منبع یون خطی و رسوب کمکی: لطفااینجا کلیک کنیدبرای تماشای ویدیو
لطفا برای مشخصات بیشتر با ما تماس بگیرید، رویال فناوری مفتخر است که راه حل های پوشش کامل را به شما ارائه دهد.
