دستگاه تخلیه خلاء هیبریدی PVD و PECVD-RT-Multi950

The ادغام فن آوری های PVD و PECVD در یک ماشین پوشش هیبریدی مزایای مختلفی را ارائه می دهد که می تواند منجر به بهبود کیفیت پوشش، قابلیت انعطاف پذیری، کنترل، کارایی، پس انداز هزینه شود.سفارشی سازی، و پایداری زیست محیطی.

Multi950 نقطه عطفی از سیستم های پوشش طراحی پیشرفته برای Royal Tech است. در اینجا، ما از دانش آموزان دانشگاه شانگهای و به ویژه فرآیند یگانگ چن تشکر می کنیم.خلاقيت و فداکاري خودخواهانه اش ارزش هاي نامحدود و الهام بخش تيم ماست.

در سال 2018، ما یک همکاری پروژه دیگر با فشار چین، مواد C-60 سپرده گذاری توسط
روش تبخير حرارتي تحريکي از قلب از آقاي ييمو يانگ و پروفسور چن براي راهنمايي و راهنمايي در هر پروژه نوآورانه اي تشکر مي کنيم

ویژگی های ماشین Multi950:

ردپای کامپکت
طراحی استاندارد ماژولار
انعطاف پذیر
قابل اعتماد
اتاق هشت گانه
ساختار دو درب برای دسترسی آسان
فرآیند PVD + PECVD

ویژگی های طراحی:

1انعطاف پذیری: قوس و کاتود های اسپوتر، فلنج های نصب منبع یون برای تبادل انعطاف پذیر استاندارد شده اند.
2• قابلیت استفاده از انواع مختلف فلزات ساده و آلیاژها؛ پوشش های نوری، پوشش های سخت، پوشش های نرم،فیلم های ترکیبی و فیلم های روان کننده جامد بر روی مواد فلزی و غیر فلزی.
3طراحی مستقیم جلو: ساختار دو درب، باز شدن جلو و عقب برای نگهداری آسان.

دستگاه Multi950 یک سیستم رسوب خلاء با چند عملکرد برای تحقیق و توسعه است.ما بالاخره طراحی و پیکربندی ها رو تایید کردیم تا بتونیم برنامه های R&Dشون رو برآورده کنیماین سیستم قادر است فیلم شفاف DLC را با فرآیند PECVD، پوشش های سخت بر روی ابزارها و فیلم نوری با کاتود اسپوتر قرار دهد. بر اساس این مفهوم طراحی ماشین آزمایشی،ما بعد از آن 3 سیستم پوشش دیگر را توسعه داده ایم:
1پوشش صفحه دوقطبی برای وسایل نقلیه الکتریکی سلول سوخت- FCEV1213،
2. سرامیک مستقیم مس DPC1215
3. سيستم اسپتر کردن انعطاف پذير - RTSP1215
این 4 مدل ماشین همگی با اتاق اوکتال هستند، عملکرد انعطاف پذیر و قابل اعتماد در کاربردهای مختلف به طور گسترده ای استفاده می شود.برای برآورده کردن فرایندهای پوشش نیاز به لایه های مختلف فلزی دارد.: آل، Cr، Cu، Au، Ag، Ni، Sn، SS و بسیاری دیگر از فلزات غیر فیری مغناطیسی؛
علاوه بر واحد منبع یون، به طور موثر چسبندگی فیلم ها را بر روی مواد مختلف زیربنایی با عملکرد حکاکی پلاسما و فرآیند PECVD برای سپرده گذاری برخی از لایه های کربن افزایش می دهد.

Multi950 - مشخصات فنی

خدمات و تیم های مهندسی رویال تک در محل پشتیبانی از مشتریان را ارائه می دهند، برای درخواست های خود با ما تماس بگیرید!